Table des Matières
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5.4
Replace the valve-body and
pad 'O' rings
Refer to
Figure 7
for item numbers shown in brackets.
1. Dismantle the valve as described in
2. Remove the valve-body 'O' ring (10) from the valve-
body and discard.
3. Inspect the 'O' ring groove and contact surfaces.
Refinish any surfaces which are damaged.
4. Fit the new valve-body 'O' ring (10) to the valve-
body.
5. Remove the bellows/pole-piece assembly (7).
6. Remove and discard the valve-pad 'O' ring (12) from
the bellows/pole-piece assembly.
7. Inspect the 'O' ring groove and contact surfaces.
Refinish any surfaces which are damaged.
8. Fit the new valve-pad 'O' ring to the bellows/pole-
piece assembly; apply a light wipe of high vacuum
grease to ease the fit.
9. Refit the bellows/pole-piece assembly and
reassemble the valve as described in
© Edwards Limited 2007. All rights reserved.
Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
5.4
Austausch der O-Ringe von
Ventilkörper und Ventilteller
Siehe
Abbildung 7
angegebenen Teilenummern.
Section
5.2.
1. Das Ventil wie in
zerlegen.
2. Den O-Ring des Ventilkörpers (10) vom Ventilkörper
abnehmen und entsorgen.
3. Die Paßrille für den O-Rings sowie die
Kontaktflächen prüfen. Beschädigte Oberflächen
neu bearbeiten.
4. Den neuen O-Ring des Ventilkörpers (10) am
Ventilkörper anbringen.
5. Die Faltenbalg-/Polstückgruppe (7) herausnehmen.
6. Den O-Ring des Ventiltellers (12) aus der Faltenbalg-
/Polstückgruppe herausnehmen und entsorgen.
7. Die Paßrille für den O-Rings sowie die
Kontaktflächen prüfen. Beschädigte Oberflächen
neu bearbeiten.
8. Den neuen O-Ring des Ventiltellers an der
Faltenbalg-/Polstückgruppe anbringen; zur
Section
5.2.
leichteren Passung mit einer dünnen Schicht
Hochvakuumfett schmieren.
9. Die Faltenbalg-/Polstückgruppe einbauen und das
Ventil, wie in
zusammenbauen.
bezüglich der in Klammern
Abschnitt 5.2
beschrieben
Abschnitt 5.2
beschrieben, wieder
C411-02-885 Issue H/Ausgabe H/Version H
5.4
Replacement des joints
toriques du corps et du bloc
de la vanne
Les chiffres entre parenthèses correspondent aux
numéros de repères de la
Figure
7.
1. Démontez la vanne, comme indiqué au
2. Déposez puis mettez au rebut le joint torique (10)
du corps de la vanne.
3. Examinez la gorge de centrage du joint torique et
les surfaces de contact. Retouchez les surfaces qui
sont endommagées.
4. Mettez en place un joint torique neuf (10) sur le
corps de la vanne.
5. Déposez l'ensemble soufflet/pôle mobile (7).
6. Retirez de l'ensemble soufflet/pôle mobile le joint
torique du bloc de la vanne (12) puis mettez ce joint
au rebut.
7. Examinez la gorge de centrage du joint torique et
les surfaces de contact. Retouchez les surfaces qui
sont endommagées.
8. Mettez en position un joint torique neuf de bloc de
vanne sur l'ensemble soufflet/pôle mobile. Enduisez
légèrement ces composants de graisse pour vide
poussé pour faciliter cette opération.
9. Remettez en place l'ensemble soufflet/pôle mobile
puis remontez la vanne, comme indiqué au
Section
5.2.
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Section
5.2.
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