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Modèle de protocole de test de vide
H y goc la v e 9 0
D e v i c e d a t a
Ty pe
Hy goc la v e 9 0
R E F
6 0 4 6 -0 1
S N
H3 4 5 4 4 4 0 2 5
Firm wa re
3 . 1 . 0 . 1 0 8 6 0
G UI
3 . 1 . 0 . 4 6 2 9
P r o g r a m a n d b a t c h d a t a
Progra m
Va c uum te s t
LOT
1 6 1 9
D a te
1 5 Jul 2 0 2 0
Autom a tic proc e s s
Te s t s uc c e s s ful
e v a lua tion
S u c c e s s f u l
Va c uum te s t
S ta rte d
1 9 : 2 3 : 0 1
Finis he d
1 9 : 4 1 : 1 2
D ura tion
1 8 : 1 1
C ha m be r te m pe ra ture
3 3 . 6 ° C
Te s t pre s s ure
1 1 . 5 k Pa
Te s t pe riod 1
0 5 : 0 0 m in
Te s t pe riod 2
1 0 : 0 0 m in
Pre s s ure inc re a s e 1
0 . 0 k Pa
( p2 -p1 )
Pre s s ure inc re a s e 2
0 . 0 k Pa
( p3 -p2 )
A i r l e a k a g e r a t e
0 . 0 0 k Pa /m in
A d d i t i o n a l d a t a
C y c l e d i a g r a m
6046100064L03 2007V003
Va c uum te s t 1 5 Jul 2 0 2 0
1 6 1 9
C y c l e l o g
XX
XX
+ 0 . 4 ° C / + 0 . 0 ° C
-0 . 4 k Pa / -0 . 4 k Pa
XX
XX
T i m e
P r e s s u r e Te m p
[ m m : s s ]
[ k P a ]
[ ° C ]
1
0 0 : 0 0
5 0 . 4
3 2 .6
2
0 0 : 3 5
9 7 . 9
3 4 . 3
3
0 3 : 1 1
1 1 . 1
3 3 . 6
4
0 8 : 1 1
1 1 . 1
3 4 . 0
5
1 8 : 1 1
1 1 . 1
3 3 . 9
6
1 8 : 1 1
1 1 . 1
3 3 .9
Utilisation
I D
S TART
LE AKT E S T. P0
LE AKT E S T. P1
LE AKT E S T. P2
LE AKT E S T. P3
E ND
47
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