Edwards AIM-S-NW25 Mode D'emploi page 6

Jauge active magnétron inverse
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D146-41-885 Issue H/Ausgabe H/Version H
5
Maintenance ..........................23
5.1
Introduction ....................................23
5.2
Replace the body tube ........................24
5.2.1
vacuum system .................................24
5.2.2
Fit the new body tube ........................24
5.2.3
system ...........................................25
5.3
5.4
housing ..........................................27
5.5
5.6
Fault finding ....................................29
6
Storage and disposal ................31
6.1
Storage ..........................................31
6.2
Disposal ..........................................31
7
Spares and accessories ..............33
7.1
Introduction ....................................33
7.2
Spares ............................................34
7.3
Accessories ......................................35
For return of equipment, complete the HS Forms at the
end of this manual.
Page/Seite/Page ii
5
Wartung ............................... 23
5.1
Einleitung ....................................... 23
5.2
5.2.1
Vakuumsystem ................................. 24
5.2.2
5.2.3
Vakuumsystem ................................. 25
5.3
5.4
Magnetgehäuses ............................... 27
5.5
5.6
Fehlersuche .................................... 29
6
6.1
Lagerung ........................................ 31
6.2
Entsorgung ...................................... 31
7
Ersatzteile und Zubehör ............ 33
7.1
Einleitung ....................................... 33
7.2
Ersatzteile ...................................... 34
7.3
Zubehör ......................................... 35
Für die Rücksendung von Geräten sind die HS-Formulare
am Ende dieser Betriebsanleitung zu verwenden.
5
Entretien ..............................23
5.1
Introduction .................................... 23
5.2
Remplacement du tube ....................... 24
5.2.1
à vide ............................................ 24
5.2.2
Mise en place d'un tube neuf ............... 24
5.2.3
système à vide ................................. 25
5.3
5.4
logement de l'aimant ......................... 27
5.5
5.6
6
6.1
Stockage ........................................ 31
6.2
Mise au rebut ................................... 31
7
7.1
Introduction .................................... 33
7.2
Pièces détachées .............................. 34
7.3
Accessoires ..................................... 35
Pour le retour d'appareil, veuillez remplir les
formulaires HS figurant à la fin de ce manuel.
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