Table des Matières
Publicité
D146-41-885 Issue H/Ausgabe H/Version H
In accordance with the recommendations of EN61010,
the following warning symbol also appears on the
product:
From August 2005, Edwards will offer
European customers a recycling service.
1.2
Description
The AIM Gauge, shown in
Figure
1, is an inverted
magnetron gauge head and gauge controller in a single
compact unit. The gauge operates as a cold cathode
ionisation gauge, in which the pressure is measured
indirectly as a function of the current which flows in a
Townsend discharge maintained in the body tube.
Four versions of AIM Gauge are available; the 'S', 'SL',
'X' and 'XL' gauges. The 'X' and 'XL' gauges have an
extended measurement range (see below) and a linear
output characteristic. The 'SL' and 'XL' gauges have a
very low external magnetic field and are suitable for use
with sensitive analytical instrumentation.
The measurement range of the AIM-S and AIM-SL gauges
-8
-2
is 1 x 10
to 1 x 10
mbar. The measurement range of
-9
the AIM-X and AIM-XL gauges is 1 x 10
The AIM gauge vacuum connection is an NW25 flange.
Page/Seite/Page 2
Gemäß den EN61010-Empfehlungen ist an dem Produkt
das folgende Warnsymbol angebracht:
Ab August 2005 bietet Edwards seinen
europäischen Kunden einen
Wiederaufbereitungsservice an.
1.2
Beschreibung
Die in
Abbildung 1
invertierter Magnetronmeßkopf und integrierte
Meßelektronik in einem einzigen kompakten Gerät. Sie
arbeitet als Kaltkathoden-Ionisierungsmeßgerät mit
indirekter Druckmessung als Funktion des Stromes, der
in einer im Röhrenkörper aufrechterhaltenen Townsend
Entladung fließt.
Die AIM-Meßröhre ist in vier Ausführungen erhältlich: den
Modellen „S", „SL", „X" und „XL". Die Meßröhren „X"
und „XL" haben einen erweiterten Meßbereich (siehe
unten) und eine lineare Ausgangskennlinie. Die
Meßröhren „S" und „SL" haben ein sehr niedriges
externes Magnetfeld und eignen sich für den Einsatz mit
empfindlichen Analyseinstrumenten.
Der Meßbereich der Meßröhren AIM-S und AIM-SL beträgt
-2
-8
-2
to 1 x 10
mbar.
1x10
bis 1x10
AIM-X und AIM-XL beträgt 1x10
AIM-Meßröhre hat einen NW25 Vakuumanschlußflansch.
dargestellte AIM Meßröhre ist ein
mbar. Der Meßbereich der Meßröhren
-9
-2
bis 1x10
mbar. Die
Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
Conformément aux recommandations de la norme
EN61010, le symbole d'avertissement suivant figure
également sur le produit :
A partir d'août 2005, Edwards proposera un
service de recyclage à ses clients
européens.
1.2
Description
La jauge AIM qui est illustrée à la
Figure 1
de jauge Magnétron inversée associée à un contrôleur de
jauge, et le tout est implanté dans un groupe compact.
Cette jauge fonctionne suivant le principe de l'ionisation
cathodique à froid, c'est-à-dire que la pression est
mesurée indirectement, en fonction du courant qui
circule dans une décharge Townsend maintenue à
l'intérieur du tube du corps.
Quatre versions de la jauge AIM sont disponibles ; Les
versions « S », « SL », « X » et « XL ». Les versions « X »
et « XL » ont une plage de mesure étendue (voir ci-
dessous) et une caractéristique de sortie linéaire. Les
jauges « SL » et « XL » ont un champ magnétique
externe très faible et sont adaptées pour une
instrumentation analytique sensible.
La plage de mesure de la jauge AIM-S et AIM-SL est
-8
-2
comprise entre 1 x 10
à 1 x 10
mbar. La plage de
mesure des jauges AIM-X et AIM-XL s'étend de 1 x 10
-2
1 x 10
mbar. La liaison à vide des jauges AIM s'effectue
par une bride NW25.
© Edwards Limited 2012. All rights reserved.
est une tête
-9
à
Publicité
Table des Matières
