Manuels Connexes pour Edwards AIM-S-NW25
Sommaire des Matières pour Edwards AIM-S-NW25
- Page 1 D14641883 Issue L Mode d'emploi Jauge active magnétron inverse Description Numéro de référence AIM-S-NW25 D14641000 AIM-SL-NW25 D14644000 AIM-X-NW25 D14642000 AIM-XL-NW25 D14645000 Traduction des instructions d’origine...
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Page 2: Déclaration De Conformité
Déclaration de conformité Edwards Limited, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, Royaume-Uni Le ou les produits suivants AIM-S-NW25 D14641000 AIM-SL-NW25 D14644000 AIM-X-NW25 D14642000 AIM-XL-NW25 D14645000 Sont conformes aux prescriptions applicables de la législation européenne (CE) : 2014/30/UE Directive sur la compatibilité électromagnétique (CEM) 2012/19/UE Directive relative aux déchets d'équipements électriques et électroniques (DEEE) -
Page 3: Table Des Matières
Installation de la jauge AIM sur le système de vide ..............9 Raccordements électriques .................... 9 3.3.1 Brancher aux contrôleurs Edwards ou à l'afficheur AGD ............9 3.3.2 Brancher à votre alimentation et à votre équipement de commande ......... 10 Fonctionnement ................ -
Page 4: Informations Sur Les Marques
Caractéristiques de pression et de tension pour l'azote et l'air sec : Jauges AIM-S et AIM-SL ....14 Informations sur les marques Edwards et le logo Edwards sont des marques déposées d'Edwards Limited, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, R.-U. -
Page 5: Introduction
Ce manuel présente les instructions de montage, d'utilisation et d'entretien de la jauge active magnétron inverse (AIM) d'Edwards. Il convient d'utiliser la jauge AIM comme indiqué dans ce manuel. Lisez ce manuel avant d'installer et d'utiliser la jauge AIM. Les informations de sécurité importantes sont mises en évidence dans des encadrés intitulés AVERTISSEMENT et ATTENTION. -
Page 6: Dépendance Vis-À-Vis Du Gaz
à laquelle la sortie de point de consigne s'active : consultez la Section 4.4. Notez que si vous utilisez un contrôleur AGC ou un afficheur AGD d'Edwards, le signal de point de consigne de la jauge AIM n' est pas utilisé. Dépendance vis-à-vis du gaz L'ionisation du gaz dans le système de vide dépend à... - Page 7 2. Bride de vide 3. Tube 4. Boîtier aimant 5. Fiche de connexion de câble 6. Potentiomètre du point de consigne (à l'extrémité de l'élément 1) 7. Prise de connexion de la jauge AIM © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. Page 3...
- Page 8 D14641883 Issue L Cette page est délibérément laissée vierge. Page 4 © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés.
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Page 9: Caractéristiques Techniques
10 bars absolus (9 bars relatifs) Plage de mesures de pression AIM-S/SL-NW25 1 x 10 à 1 x 10 mbar AIM-X/XL-NW25 1 x 10 à 1 x 10 mbar Niveau de pollution © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. Page 5... - Page 10 D14641883 Issue L Figure 2 – Dimensions (mm) 1. Dégagement nécessaire pour le câble électrique Page 6 © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés.
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Page 11: Caractéristiques Électriques
La sortie du point de consigne est mise hors tension : pendant 0,5 seconde lors du démarrage de la jauge lorsque la tension du signal de sortie de pression est < 1,8 V. © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. Page 7... -
Page 12: Matériaux Exposés Au Vide
D14641883 Issue L Matériaux exposés au vide Acier inoxydable (AISI 304 et 306). Fluoroélastomère. Verre à chaux sodée. Page 8 © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. -
Page 13: Installation
(voir la Section 7.3). 3.3.1 Brancher aux contrôleurs Edwards ou à l'afficheur AGD Branchez la jauge AIM au contrôleur ou à l'afficheur à l'aide d'un câble muni de connecteurs adaptés. Des câbles adéquats sont disponibles auprès d'Edwards (voir la Section ©... -
Page 14: Brancher À Votre Alimentation Et À Votre Équipement De Commande
Les broches de la prise de raccordement électrique de la jauge AIM sont utilisées comme le montre le Tableau 1. Les caractéristiques de l'alimentation électrique, du relais c.c. et de la diode de suppression de contre-FEM sont fournies dans la Section Page 10 © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. - Page 15 4. Voltmètre (signal de pression) 5. Relais c.c. (en option) 6. Diode de suppression de contre-FEM (en option) 7. Commutateur d'activation de la jauge 8. Voltmètre (niveau de déclenchement du point de consigne) © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. Page 11...
- Page 16 4.2). Si vous souhaitez mesurer le signal d'identification de la jauge (qui identifie la jauge AIM), mesurez la résistance entre les broches 4 et 5. Cette page est délibérément laissée vierge. Page 12 © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés.
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Page 17: Fonctionnement
(mettre hors tension) la jauge AIM, déconnectez la broche 7 de la broche 2 (ou de la masse). Mesure de pression Si vous avez connecté la jauge AIM à un contrôleur AGC ou à un afficheur AGD d'Edwards, la pression mesurée par la jauge AIM est présentée sur l'afficheur. -
Page 18: Point De Consigne
> 10 V et le signal de sortie du point de consigne pourra ne pas se désactiver en cas d'augmentation de la pression. Le signal de sortie du point de consigne se désactivera uniquement si la jauge est éteinte (c'est-à-dire désactivée). Page 14 © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. -
Page 19: Entretien
Replacez la jauge AIM sur le système de vide, comme décrit dans la Section 3.2, puis rebranchez la fiche du connecteur du câble sur la prise de la jauge AIM (Figure 1, élément 6). © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. Page 15... - Page 20 D14641883 Issue L Figure 4 – Vue éclatée de la jauge AIM 1. Boîtier aimant 2. Collier 3. Ensemble anode 4. Joint torique 5. Tube 6. Plaque cathode 7. Tube cathodique 8. Circlip Page 16 © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés.
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Page 21: Remplacer L'ensemble Électrode
7. Rincez les composants dans du méthanol pour retirer toute l'eau, puis séchez soigneusement les composants. 8. Réinstallez les composants dans le boîtier aimant, comme décrit dans les étapes 5 à 8 de la Section 5.3. © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. Page 17... -
Page 22: Identification Des Pannes
Si la jauge AIM ne fonctionne pas correctement, vérifiez que les raccordements électriques sonts corrects (consultez Section 3) et que votre alimentation électrique est adaptée à la jauge AIM (consultez la Section Page 18 © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés. -
Page 23: Stockage Et Mise Au Rebut
La directive européenne relative aux déchets d'équipements électriques et électroniques s'applique au produit, aux câbles associés et aux jauges ioniques. Edwards propose à ses clients européens un service de recyclage du produit/des câbles/des têtes de jauge associées en fin de vie. Consultez Edwards pour plus d'informations sur le retour du produit/des câbles/des jauges ioniques à... - Page 24 D14641883 Issue L Cette page est délibérément laissée vierge. Page 20 © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés.
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Page 25: Pièces Détachées Et Accessoires
établissements Edwards. Commandez les pièces détachées et les accessoires en vous adressant à la société ou au distributeur Edwards le plus proche. Lors de la commande, indiquez pour chaque composant requis les éléments suivants : le numéro de modèle et le numéro de référence de votre équipement ;... - Page 26 D14641883 Issue L Cette page est délibérément laissée vierge. Page 22 © Edwards Limited 2020. Tous droits réservés.