Table des Matières
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Introduction
1.1
Portée et définitions
Ce manuel présente les instructions de montage, d'utilisation et d'entretien de la jauge active magnétron inverse
(AIM) d'Edwards. Il convient d'utiliser la jauge AIM comme indiqué dans ce manuel.
Lisez ce manuel avant d'installer et d'utiliser la jauge AIM. Les informations de sécurité importantes sont mises en
évidence dans des encadrés intitulés AVERTISSEMENT et ATTENTION. Vous devez en respecter les consignes.
L'utilisation des messages AVERTISSEMENT et ATTENTION est définie ci-dessous.
Un message Avertissement est prévu chaque fois que le non-respect d'une consigne risque
d'entraîner mort ou blessure.
Un message Attention est prévu chaque fois que le non-respect d'une consigne risque d'endommager
l'équipement, le matériel et le processus.
Les unités utilisées dans l'ensemble de ce manuel sont conformes au système international SI d'unités de mesure.
Le symbole d'avertissement suivant figure également sur le produit :
Edwards offrira un service de recyclage à ses clients européens.
1.2
Description
La jauge AIM, illustrée dans la
une seule unité compacte. Elle fonctionne comme une jauge à ionisation à cathode froide, dans laquelle la pression
est mesurée indirectement comme fonction du courant passant dans une décharge de Townsend maintenue dans
le tube.
La jauge AIM est disponible en quatre versions : les jauges « S », « SL », « X » et « XL ». Les jauges « X » et « XL »
disposent d'une plage de mesure étendue (voir ci-dessous) et d'une caractéristique de sortie linéaire. Les jauges
« SL » et «XL » ont un champ magnétique externe très faible et peuvent être utilisées avec des instruments
d'analyse sensibles.
La plage de mesure des jauges AIM-S et AIM-SL est de 1 x 10
-9
et AIM-XL est de 1 x 10
La jauge AIM nécessite une alimentation électrique de 13,5 à 36 V c.c. : elle est pourvue d'une sortie analogique de
2 à 10 V c.c. couplée à la pression. La jauge AIM est compatible avec tous les contrôleurs de jauges actives (AGC)
Edwards et avec les modèles appropriés d'afficheurs pour jauges actives (AGD).
Il est également possible d'utiliser une alimentation électrique indépendante pour la jauge AIM et de lire son signal
de sortie à l'aide d'un voltmètre ou d'un convertisseur analogique-numérique.
Nous vous recommandons de ne pas utiliser la jauge AIM si la pression dans le système de vide n'est pas inférieure ou
-2
égale à 1 x 10
mbar. Un signal d'activation de jauge permet de contrôler le fonctionnement de la jauge AIM.
Consultez la
Section 4.2
pour plus d'informations.
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AVERTISSEMENT
ATTENTION
Figure
1, réunit une tête de jauge magnétron inverse et un contrôleur de jauge dans
-2
à 1 x 10
mbar. La connexion à vide de la jauge AIM s'effectue par une bride NW25.
-8
-2
à 1 x 10
mbar. La plage de mesure des jauges AIM-X
D14641883 Issue L
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