Table des Matières
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Entretien
5.1
Introduction
Ne débranchez pas le boîtier aimant et électronique du tube, lorsque celui-ci est branché au
système de vide. En cas de décharge de plasma dans le système de vide près du tube, celui-ci peut
devenir chargé électriquement.
Débranchez le câble de la jauge AIM avant de retirer la jauge AIM du système de vide. De hautes
tensions sont engendrées à l'intérieur de la jauge AIM.
Les composants internes de la jauge AIM sont illustrés à la
facilement nettoyer ces composants ou utiliser les pièces détachées répertoriées dans la
ces composants. Reportez-vous aux sections ci-après pour plus de détails sur les procédures d'entretien nécessaires.
5.2
Remplacer le tube
Reportez-vous à la
Figure 4
5.2.1
Retirer la jauge AIM du système de vide
1. Coupez l'alimentation électrique de la jauge AIM et assurez-vous que le système de vide est à la
pression atmosphérique.
2. Débranchez la fiche de connexion de câble
5.2.2
Installer le nouveau tube
1. Maintenez le boîtier aimant (1) et tournez le tube (5) dans le sens inverse des aiguilles d'une montre (quand
vous le regardez depuis la bride de vide) pour déverrouiller le raccord à baïonnette. Retirez le tube du
boîtier aimant.
2. Faites glisser le nouveau tube dans le boîtier aimant (1) (comme l'indique la flèche B).
3. Maintenez le boîtier aimant (1) et tournez le tube (5) dans le sens des aiguilles d'une montre (quand vous le
regardez depuis la bride de vide) pour verrouiller le raccord à baïonnette (comme l'indique la flèche C).
5.2.3
Réinstaller la jauge AIM sur le système de vide
Replacez la jauge AIM sur le système de vide, comme décrit dans la
connecteur du câble sur la prise de la jauge AIM
© Edwards Limited 2020. Tous droits réservés.
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT
et respectez les procédures suivantes pour remplacer le tube :
(Figure
(Figure
Figure
4. La jauge AIM est conçue de sorte que vous puissiez
1, élément 5) et retirez la jauge AIM du système de vide.
Section
3.2, puis rebranchez la fiche du
1, élément 6).
D14641883 Issue L
Section 7
pour remplacer
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