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C371-02-885
Issue C/Ausgabe C/Version C
Instruction Manual/Betriebsanleitung/Mode d'emploi
LV10K Fine Control Leak Valve/LV10K Feinregel-Nadelventil/Vanne d'étanchéité à contrôle précis LV10K
Description
Item Number
Beschreibung
Bestellnummer
Description
Numéro de Référence
LV10K
C371-02-000

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Table des Matières
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Sommaire des Matières pour Edwards LV10K

  • Page 1 C371-02-885 Issue C/Ausgabe C/Version C Instruction Manual/Betriebsanleitung/Mode d’emploi LV10K Fine Control Leak Valve/LV10K Feinregel-Nadelventil/Vanne d’étanchéité à contrôle précis LV10K Description Item Number Beschreibung Bestellnummer Description Numéro de Référence LV10K C371-02-000...
  • Page 2 This page has been intentionally left blank/Diese Seite ist absichtlich leer/Cette page est délibérément laissée blanche...
  • Page 3: Table Des Matières

    Lagerung ........21 Entsorgung ........21 Stockage ........21 SERVICE, SPARES AND Mise au rebut ........21 SERVICE, PIECES DETACHEES ET © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Page/Seite/Page i Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 4 Einleitung ........23 Spares ..........24 Pièces détachées ......24 Kundendienst ........23 Accessories ........24 Accessoires ........24 Ersatzteile ........24 Zubehör ......... 24 Page/Seite/Page ii © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 5 Checklist of components ....... 9 Prüfliste der Teile .......9 Maintenance plan ......18 Wartungsplan ........18 Liste de contrôle des composants ....9 Plan d’entretien ....... 18 © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Page/Seite/Page iii Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 6 C371-02-885 Issue C/Ausgabe C/Version C This page has been intentionally left blank/Leerseite/Cette page est délibérément laissée blanche. Page/Seite/Page iv © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 7: Introduction

    Les unités utilisées tout au long de ce manuel sont conformes au système international SI d’unités de Die in diesem Handbuch durchgehend verwendeten mesure. Maßeinheiten entsprechen dem internationalen Maßeinheitensystem SI. © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Page/Seite/Page 1 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 8: Description

    à vide. Das LV10K Ventil eignet sich für den Einlaß von Gas bis The LV10K valve is suitable for the admission of gas down hinunter zu einem Druck von1x10 mbar (1 x 10 Pa).
  • Page 9: Construction

    Beschädigung von Nadel oder Ventilsitz verhindert. saletés dans cet ensemble et qui évite tout endommagement de l'aiguille ou du siège de la vanne. © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Page/Seite/Page 3 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 10 C371-02-885 Issue C/Ausgabe C/Version C This page has been intentionally left blank/Diese Seite ist absichtlich leer/Cette page est délibérément laissée blanche Page/Seite/Page 4 © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 11: Technical Data

    Martensit­stahl EN56AM Needle Martensitic stainless steel Aiguille Acier inoxydable martensitique Filter Messing BS249 EN56AM acier EN56AM Filters Brass BS249 Filtres Laiton BS249 © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Page/Seite/Page 5 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 12 Figure 1 – Courbe typique de flux : comparaison entre le nombre de tours du dispositif de réglage (N) et le débit (ls-1) Page/Seite/Page 6 © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 13 Figure 2 – Dimensions (mm) A. Panel mounting dimensions A. Abmessungen für die Konsolenmontage A. Dimensions pour un montage sur panneau Page/Seite/Page 7 © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 14 C371-02-885 Issue C/Ausgabe C/Version C This page has been intentionally left blank/Diese Seite ist absichtlich leer/Cette page est délibérément laissée blanche Page/Seite/Page 8 © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 15: Installation

    Einbau Installation Unpack and inspect Auspacken und Prüfen Déballer et Vérification Remove all the packing materials and check the LV10K Sämtliches Verpackungsmaterial entfernen; dann das Retirez l’emballage et vérifiez votre vanne LV10K. valve. LV10K Ventil prüfen. En cas d’endommagement, vous devez prévenir votre If the valve is damaged, notify your supplier and the Wenn eine Beschädigung des Ventils festgestellt wird, so...
  • Page 16: Fit The Valve To A Panel (Optional)

    8. Die Kappe (21) wieder am Ventil anbringen. de retenue et la rondelle (20 et 19). 8. Remettez en place l’obturateur (21) sur la vanne. Page/Seite/Page 10 © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 17 20. Vis 21. Cap 21. Kappe 21. Obturateur 22. Panel mounting hole 22. Montageloch der Konsole 22. Orifice de montage sur panneau © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Page/Seite/Page 11 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 18 C371-02-885 Issue C/Ausgabe C/Version C Figure 3 – Exploded view of the valve Abbildung 3 – Explosionszeichnung Figure 3 – Vue éclatée de la vanne © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Page/Seite/Page 12 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 19: Connect The Valve Port(S)

    Orientierung wieder an -wie in den Schritten 7 en procédant comme indiqué aux bis 9 in Abschnitt 3.2 beschrieben. opérations7à9de l’alinéa 3.2. © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Page/Seite/Page 13 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 20 C371-02-885 Issue C/Ausgabe C/Version C This page has been intentionally left blank/Diese Seite ist absichtlich leer/Cette page est délibérément laissée blanche Page/Seite/Page 14 © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 21: Operation

    : consultez la Section 5 pour examiner cette vanne ou renvoyez cette dernière à votre fournisseur ou à la société Edwards. © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Page/Seite/Page 15 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 22 C371-02-885 Issue C/Ausgabe C/Version C This page has been intentionally left blank/Diese Seite ist absichtlich leer/Cette page est délibérément laissée blanche Page/Seite/Page 16 © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 23: Maintenance

    Sicherheitsmaßnahmen einhalten, um den joints d’étanchéité et les joints toriques. Kontakt mit den Dichtungen und O-Ringen zu verhindern © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Page/Seite/Page 17 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 24: Maintenance Plan

    5. Das Ventil wieder an Ihr Vakuumsystem und an Ihre Gaszuleitung anschließen. 5. Rebranchez le système de vide et l’alimentation en gaz sur votre vanne. Page/Seite/Page 18 © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 25: Clean The Valve

    Ablagerungen vanne. handelt, müssen Sie das Ventil austauschen. © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Page/Seite/Page 19 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 26 16. Remontez le filtre (2) et l’écrou du filtre (1) dans l’orifice de la vanne. 17. Rebranchez le système de vide et l’alimentation en gaz sur votre vanne. Page/Seite/Page 20 © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 27: Storage And Disposal

    été retirés, en respectant nationalen Sicherheits-und Umweltvorschriften sicher toutes les réglementations locales et nationales en entsorgen. matière de sécurité et de protection de l’environnement. © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Page/Seite/Page 21 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 28 C371-02-885 Issue C/Ausgabe C/Version C This page has been intentionally left blank/Diese Seite ist absichtlich leer/Cette page est délibérément laissée blanche Page/Seite/Page 22 © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 29: Service, Spares And

    Kundendienstzentrum bietet Ihnen ein breites warranty. Serviceangebot. Dazu zählt: die Les produits Edwards bénéficient de l’assistance du réseau mondial des Centres de service Edwards. Chaque © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Page/Seite/Page 23 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 30: Spares

    NW10 Zentrierring mit O-Ring C105-11-397 Bague de serrage NW10 C105-12-401 NW10 Riffeldüse C105-11-645 Bague de centrage NW10 C105-11-397 Buse rayée NW10 C105-11-645 Page/Seite/Page 24 © Edwards Limited 2009. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

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