Edwards AIM-S-NW25 Mode D'emploi
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Edwards AIM-S-NW25 Mode D'emploi

Jauge active magnétron inverse
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Instruction Manual/Betriebsanleitung/Mode d'emploi
Active Inverted Magnetron Gauge/Aktiv-Penning-Meßröhren/Jauge active Magnétron inverse
Description
Beschreibung
Description
AIM-S-NW25
AIM-SL-NW25
AIM-X-NW25
AIM-XL-NW25
Item Number
Bestellnummer
Numéro de Référence
D146-41-000
D146-44-000
D146-42-000
D146-45-000
D146-41-885
Issue H/Ausgabe H/Version H

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Manuels Connexes pour Edwards AIM-S-NW25

Sommaire des Matières pour Edwards AIM-S-NW25

  • Page 1 D146-41-885 Issue H/Ausgabe H/Version H Instruction Manual/Betriebsanleitung/Mode d’emploi Active Inverted Magnetron Gauge/Aktiv-Penning-Meßröhren/Jauge active Magnétron inverse Description Item Number Beschreibung Bestellnummer Description Numéro de Référence AIM-S-NW25 D146-41-000 AIM-SL-NW25 D146-44-000 AIM-X-NW25 D146-42-000 AIM-XL-NW25 D146-45-000...

  • Page 3: Konformitätserklärung

    Konformitätserklärung Wir, Edwards, Manor Royal, Crawley, West Sussex RH10 9LW, UK erklären in alleiniger Verantwortung, dass das Produkt bzw. die Produkte AIM-S-NW25 D146-41-000 AIM-SL-NW25 D146-44-000 AIM-X-NW25 D146-42-000 AIM-XL-NW25 D146-45-000 auf das bzw. die sich die vorliegende Erklärung bezieht, folgenden Normen oder sonstigen normativen Dokumenten: EN61010-1: 2001 Sicherheitsbestimmungen für elektrische Mess-, Steuer-, Regel- und Laborgeräte.

  • Page 4: Déclaration De Conformité

    Déclaration de conformité Nous, la société Edwards, Manor Royal, Crawley, West Sussex RH10 9LW, UK déclarons sous notre entière responsabilité que le ou les produit(s) suivant(s) AIM-S-NW25 D146-41-000 AIM-SL-NW25 D146-44-000 AIM-X-NW25 D146-42-000 AIM-XL-NW25 D146-45-000 au(x) quel(s) cette déclaration se réfère est ou sont conforme(s) à la ou aux norme(s) suivante(s) ou à un ou plusieurs autre(s) document(s) normatif(s) EN61010-1: 2001 Règles de sécurité...

  • Page 5: Table Des Matières

    AIM ........18 Set-point ........21 Druckmessung ........19 Mesures de pression ......19 Sollwert ......... 21 Point de consigne ......21 © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Page/Seite/Page i Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 6 Für die Rücksendung von Geräten sind die HS-Formulare end of this manual. formulaires HS figurant à la fin de ce manuel. am Ende dieser Betriebsanleitung zu verwenden. Page/Seite/Page ii © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 7 Stickstoff und trockene Luft ....20 Caractéristiques de pression et de tension AIM-SL Gauges ........20 pour l’air sec et pour l’azote ....20 © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Page/Seite/Page iii Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 8 D146-41-885 Issue H/Ausgabe H/Version H This page has been intentionally left blank/Leerseite/Cette page est délibérément laissée blanche. Page/Seite/Page iv © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 9: Introduction

    Les unités utilisées tout au long de ce manuel sont Die in diesem Handbuch durchgehend verwendeten conformes au système international SI d’unités de Maßeinheiten entsprechen dem internationalen mesure. Maßeinheitensystem SI. © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Page/Seite/Page 1 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 10: Description

    AIM-X et AIM-XL s’étend de 1 x 10 à 1 x 10 mbar. La liaison à vide des jauges AIM s’effectue par une bride NW25. Page/Seite/Page 2 © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 11 Sollwertsignal handelt es sich um einen FET-Transistor- champ) activé lorsque la pression mesurée par la jauge that, if you use a Edwards AGC Controller or AGD Display, ausgang, der eingeschaltet wird, wenn der von der est inférieure à la pression pré-réglée. Vous pouvez the AIM Gauge set-point output signal is not used.
  • Page 12 5. Prise de raccordement du câble 6. Potentiomètre de point de consigne (sur l’extrémité de l’élément 1) 7. Prise de raccordement de la jauge AIM Page/Seite/Page 4 © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 13: Gas Dependency

    Verfügung; bitte setzen Sie sich mit Ihrem Händler l’hélium et le gaz carbonique ; veuillez contacter votre oder Edwards direkt in Verbindung. fournisseur ou la société Edwards. © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Page/Seite/Page 5 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 14 D146-41-885 Issue H/Ausgabe H/Version H This page has been intentionally left blank/Diese Seite ist absichtlich leer/Cette page est délibérément laissée blanche Page/Seite/Page 6 © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 15: Technical Data

    1 x 10 à 1 x 10 mbar Verschmutzungsgrad AIM-X/XL-NW25 1 x 10 à 1 x 10 mbar Degré de pollution © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Page/Seite/Page 7 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 16 Figure 2 – Dimensions (mm) 1. Clearance required for electrical cable 1. Freiraum für elektrisches Kabel 1. Espace requis pour le passage du câble électrique Page/Seite/Page 8 © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 17: Electrical Data

    Niveau de déclenchement du point de consigne Minimale Lastimpedanz 200 kΩ Plage 1,8 à 10,0 V Hysterese 500 mV Charge minimum impédance 200 kΩ Hystérésis 500 mV © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Page/Seite/Page 9 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 18: Error Monitoring

    Acier inoxydable (AISI 304 and 306).   Soda lime glass.  Fluoroelastomer. Fluoroélastomère.   Kalknatronglas. Verre de chaux sodique.   Page/Seite/Page 10 © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 19: Installation

    Co-Seal et un collier de serrage pour raccorder la Vakuumsystem an. bride NW25 de la jauge AIM à une bride correspondante de votre système à vide. © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Page/Seite/Page 11 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 20: Electrical Connections

    Pour les câbles de plus de 30 m, la pleine conformité à la norme EN61326 exige la présence d’un dispositif de protection contre les surtensions (se reporter à la Section 7.3). Page/Seite/Page 12 © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 21: Connect To Edwards Controllers Or Agd Display

    Les caractéristiques de l’alimentation électrique, du relais CC et de la diode de suppression de contre-FEM sont données à la Section © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Page/Seite/Page 13 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 22 6. Diode de suppression de contre-FEM (enoption) 7. Contacteur d’activation de la jauge 8. Voltmètre (niveau de déclenchement du point de consigne) Page/Seite/Page 14 © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 23 Sie den Widerstand zwischen Pin 4 und 5. d’identification de la jauge (pour identifier le type de jauge AIM), mesurez la résistance entre les broches 4 et 5. © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Page/Seite/Page 15 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 24 D146-41-885 Issue H/Ausgabe H/Version H This page has been intentionally left blank/Diese Seite ist absichtlich leer/Cette page est délibérément laissée blanche Page/Seite/Page 16 © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 25: Operation

    (Pacemakers), ordinateurs, cartes de machern, Computern, Kreditkarten und crédit et autres dispositifs sensibles aux anderen magnetisch empfindlichen interférences électromagnétiques. Geräten bringen. © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Page/Seite/Page 17 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 26: Enable And Disable The Aim Gauge

    7 à la broche 2 (ou à la masse). Pour désactiver (mettre hors circuit) cette jauge, supprimez le raccordement entre la broche 7 et la broche 2 (ou la masse). Page/Seite/Page 18 © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 27: Pressure Measurement

    Pressure measurement Druckmessung Mesures de pression If you connected the AIM Gauge to a Edwards AGC Ist die AIM-Meßröhre an einen Edwards-AGC-Controller Si vous raccordez la jauge AIM à une électronique de controller or AGD display, the pressure measured by the oder ein AGD-Anzeigegerät angeschlossen, erscheint der...
  • Page 28 5.6 x 10 6.20 4.2 x 10 3.6 x 10 9.90 2.7 x 10 1.0 x 10 10.00 7.5 x 10 Page/Seite/Page 20 © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 29: Set-Point

    (d.h. der Potentiometer wird vollständig gegen den consigne désactivé en permanence. Uhrzeigersinn gedreht). Dadurch wird gewährleistet, daß das Sollwertausgangssignal ständig ausgeschaltet ist. © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Page/Seite/Page 21 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 30 (c’est- à-dire invalidée). Page/Seite/Page 22 © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 31: Maintenance

    Wartungs- verfahren, die nur nach Bedarf auszuführen d’entretien que vous devrez réaliser aux intervalles sind. prévus. © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Page/Seite/Page 23 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 32: Replace The Body Tube

    Bajonettverschluß zu schließen (wie durch Pfeil C afin de bloquer le raccord à baïonnette (comme gezeigt). indiqué par la flèche C). Page/Seite/Page 24 © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 33: Refit The Aim Gauge To The Vacuum System

    6. Mettez en place le joint torique (4) neuf et l’ensemble anode (3) neuf dans le tube (5). Assurez- vous que l’orientation de l’ensemble anode est correcte. © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Page/Seite/Page 25 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 34 1. Logement de l’aimant 2. Collier 3. Ensemble anode 4. Joint torique 5. Tube 6. Plaque cathodique 7. Tube cathodique 8. Circlip Page/Seite/Page 26 © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 35: Replace The Electronics And Magnet Housing

    2 et 3 de l’alinéa 5.2.2. Remontez la jauge AIM sur le système à vide, comme indiqué à la Section 5.2.3. © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Page/Seite/Page 27 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 36: Clean The Internal Components

    8. Remontez les composants dans le logement de einbauen. l’aimant, comme indiqué aux opérations 5 à 8 de la Section 5.3. Page/Seite/Page 28 © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 37: Fault Finding

    Meßröhre geeignet ist (siehe Abschnitt Section 3) et assurez-vous que votre tension d’alimentation convient bien à la jauge AIM (voir la Section © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Page/Seite/Page 29 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 38 D146-41-885 Issue H/Ausgabe H/Version H This page has been intentionally left blank/Diese Seite ist absichtlich leer/Cette page est délibérément laissée blanche Page/Seite/Page 30 © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 39: Storage And Disposal

    Consultez Edwards pour plus d'informations sur le retour Wiederaufbereitung bestimmten Produkte, Kabel und du produit/des câbles/des jauges ioniques à des fins de Ionisations-Messröhren beachten müssen. recyclage. © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Page/Seite/Page 31 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 40 D146-41-885 Issue H/Ausgabe H/Version H This page has been intentionally left blank/Diese Seite ist absichtlich leer/Cette page est délibérément laissée blanche Page/Seite/Page 32 © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 41: Spares And Accessories

    Bestellnummer und Bezeichnung des Teiles  équipement le numéro de série (le cas échéant)  le numéro de code et désignation de la pièce  © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Page/Seite/Page 33 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 42: Spares

    Ring, Anodengruppe, Kragen, Flachschlüssel. composants suivants : plaque cathodique, tube cathodique, circlip, joint torique, ensemble anode, collier, clé plate. Page/Seite/Page 34 © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

  • Page 43: Accessories

    325 feet D400-01-999 100 m D400-01-999 100 m D400-01-999 Surge Suppressor D400-06-000 Überspannungsschutz-einrichtung D400-06-000 Dispositif de protection contre les D400-06-000 surtensions © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Page/Seite/Page 35 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
  • Page 44 D146-41-885 Issue H/Ausgabe H/Version H This page has been intentionally left blank/Diese Seite ist absichtlich leer/Cette page est délibérément laissée blanche Page/Seite/Page 36 © Edwards Limited 2012. All rights reserved. Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.

Ce manuel est également adapté pour:

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