Table des Matières
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4.3
Pressure measurement
If you connected the AIM Gauge to a Edwards AGC
controller or AGD display, the pressure measured by the
AIM Gauge is shown on the display.
If you connected the signal output of the AIM Gauge to a
voltmeter, convert the measured voltage to the
corresponding pressure value: for AIM-S and AIM-SL
gauges, refer to
Table
2; for AIM-X and AIM-XL gauges,
use the equation:
7
(
/
V - 10.75)
8
P = 10
where P is the pressure in mbar, and V is the measured
voltage.
If necessary, adjust the pressure reading to compensate
for the RMM of the gas in your vacuum system (refer to
Section
1.3).
© Edwards Limited 2012. All rights reserved.
Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
4.3
Druckmessung
Ist die AIM-Meßröhre an einen Edwards-AGC-Controller
oder ein AGD-Anzeigegerät angeschlossen, erscheint der
gemessene Druck auf der Anzeige.
Wenn das Ausgangssignal der AIM-Meßröhre an ein
Voltmeter angeschlossen ist, muß die gemessene
Spannung in den entsprechenden Druckwert
umgerechnet werden: bei AIM-S- und AIM-SL-Meßröhren
siehe
Tabelle
2; bei AIM-X- und AIM-XL-Meßröhren wird
die Gleichung:
7
(
/
V - 10,75)
8
P = 10
verwendet, wobei P für den Druck in mbar und V für die
gemessene Spannung steht.
Falls erforderlich, muß der Meßwert entsprechend der
Gasart korrigiert werden (siehe
Abschnitt
D146-41-885 Issue H/Ausgabe H/Version H
4.3
Mesures de pression
Si vous raccordez la jauge AIM à une électronique de
contrôle (AGC) ou à un coffret d'affichage (AGD)
Edwards, la pression mesurée par cette jauge AIM est
indiquée sur l'affichage.
Après avoir branché la sortie du signal de la jauge AIM à
un voltmètre, convertissez la tension mesurée en une
valeur de pression correspondante ; pour les jauges AIM-
S et AIM-SL, se reporter au
AIM-X et AIM-XL, utiliser l'équation suivante :
7
(
/
V - 10,75)
8
P = 10
où P est la pression exprimée en mbar et V la tension
mesurée.
Si nécessaire, réglez l'affichage de la pression afin de
1.3).
compenser la masse moléculaire relative du gaz se
trouvant dans votre système à vide (voir la
Tableau 2
; pour les jauges
Section
1.3).
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