Table des Matières
Publicité
5
Maintenance
5.1
Introduction
WARNING
Do not disconnect the electronics and
magnet housing from the body tube when
the body tube is connected to the
vacuum system. If there is a plasma
discharge in the vacuum system near the
body tube, the body tube can become
electrically charged.
WARNING
Disconnect the cable from the AIM Gauge
before you remove the AIM Gauge from
the vacuum system. High voltages are
generated inside the AIM Gauge.
The internal components of the AIM Gauge are shown in
Figure
4. The AIM Gauge is designed so that you can
easily clean these components, or use the spares listed
in
Section 7
to replace these components. Refer to the
following sections for details of the maintenance
procedures, which you should do when necessary.
© Edwards Limited 2012. All rights reserved.
Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
5
Wartung
5.1
Einleitung
WARNUNG
WARNUNG
Die Meßelektronik und das
Magnetgehäuse nicht vom
Meßröhrenkörper trennen, wenn die
Meßröhre am Vakuumsystem
angeschlossen ist. Bei einer Plasma-
Entladung im Vakuumsystem in der Nähe
des Meßröhrenkörpers kann sich dieser
elektrisch aufladen.
WARNUNG
WARNUNG
Vor Ausbau des AIM-Meßröhre aus dem
Vakuumsystem das Kabel von der AIM-
Meßröhre trennen. Im Inneren der AIM-
Meßröhre wird Hochspannung erzeugt.
Die inneren Komponenten der AIM-Meßröhre werden in
Abbildung 4
dargestellt. Die AIM- Meßröhre ist so
konstruiert, daß die Komponenten leicht gereinigt bzw.
unter Verwendung der in
Abschnitt 7
aufgeführten
Ersatzteile ausgetauscht werden können. Nachstehende
Abschnitte enthalten eine ausführliche Beschreibung der
Wartungs- verfahren, die nur nach Bedarf auszuführen
sind.
D146-41-885 Issue H/Ausgabe H/Version H
5
Entretien
5.1
Introduction
AVERTISSEMENT
Ne débranchez jamais l'électronique et
le logement de l'aimant au niveau du
tube lorsque ce dernier est raccordé au
système à vide. En effet, s'il y a une
décharge plasmatique dans ce système, à
proximité du tube, ce dernier risque
d'être chargé sur le plan électrique.
AVERTISSEMENT
Débranchez le câble de la jauge AIM
avant de déposer cette jauge du système
à vide. Des tensions élevées sont
générées à l'intérieur de cette jauge.
Les composants internes de la jauge AIM sont illustrés à
la
Figure
4. Cette jauge est conçue pour un nettoyage
très facile de ces différents composants. Cette
conception permet également d'utiliser très aisément
les pièces de rechange énumérées à la
de remplacer ces composants. Consultez la Section
suivante qui présente des détails sur les procédures
d'entretien que vous devrez réaliser aux intervalles
prévus.
Page/Seite/Page 23
Section 7
en vue
Publicité
Table des Matières
