Table des Matières
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1.3
Gas dependency
The ionisation of the gas in the vacuum system is
dependent on both the pressure and the physical
properties of the gas. Therefore, the output signal of the
AIM Gauge is gas dependent.
The output signal voltage to pressure conversions in
Table 2
apply for nitrogen and dry air.
Calibration graphs for use with argon, neon, krypton,
helium and carbon dioxide are available on request;
contact your supplier or Edwards.
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Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited.
1.3
Gasart-Abhängigkeit
Die Ionisierung des Gases im Vakuumsystem richtet sich
sowohl nach dem Gasdruck als auch nach den
physikalischen Eigenschaften des Gases. Deshalb ist auch
das Ausgangssignal der AIM-Meßröhre gasartabhängig.
Die Umrechnung der Ausgangssignalspannung in Druck (in
Tabelle
2) gilt für Stickstoff und trockene Luft.
Kalibrierungskurven zur Verwendung mit Argon, Neon,
Krypton, Helium und Kohlendioxid stehen auf Wunsch
zur Verfügung; bitte setzen Sie sich mit Ihrem Händler
oder Edwards direkt in Verbindung.
D146-41-885 Issue H/Ausgabe H/Version H
1.3
Dépendance par rapport au gaz
L'ionisation du gaz dans le système à vide dépend de la
pression et des caractéristiques physiques du gaz. Le
signal de sortie de la jauge AIM est donc lui aussi
dépendant du gaz.
Le
Tableau 2
de conversion tension/pression du signal de
sortie s'applique à l'azote et à l'air sec.
Des courbes d'étalonnage sont disponibles sur demande,
pour utilisation avec l'argon, le néon, le krypton,
l'hélium et le gaz carbonique ; veuillez contacter votre
fournisseur ou la société Edwards.
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