Agilent IDP-3 Mode D'emploi

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IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump

Agilent

User Manual

Sommaire des Matières pour Agilent IDP-3

Page 1 IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump Agilent User Manual...
Page 2 A WARNING notice denotes a hazard. Should Agilent and the user have a It calls attention to an operating Agilent Technologies Italia S.p.A. separate written agreement with procedure, practice, or the like that, if...
Page 3 Linee guida per la sicurezza delle pompe per vuoto Dry Scroll Descrizione del prodotto Trasporto e immagazzinamento Installazione Preparazione per l’installazione Disimballaggio e ispezione Avvio e funzionamento della pompa per vuoto IDP-3 Dry Scroll Procedura di avvio Procedura di arresto Utilizzo Manutenzione Pulizia...
Page 4 Definitionen und Terminologie Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis Warning Symbols Sicherheit Sachgemäße Verwendung Unsachgemäße Verwendung Schutzausrüstung Sicherheitsrichtlinien für Trockenlauf-Vakuumpumpen Produktbeschreibung Transport und Aufbewahrung Einbau Montagevorbereitungen Auspacken und Inspektion Inbetriebnahme und Betrieb der Dry Trockenlauf-Vakuumpumpe IDP-3 Inbetriebnahmeverfahren Ausschaltvorgang Inbetriebnahme Wartung...
Page 5 Consignes de sécurité relatives aux pompes à vide à spirales à sec Information du produit Transport et entreposage Installation Préparation pour l’installation Déballage et inspection Démarrage et exploitation de la pompe à vide à spirales à sec IDP-3 Procédure de démarrage Procédure d’arrêt Utilisation...
Page 6 Equipo de protección Pautas de seguridad para bombas de vacío de desplazamiento en seco Descripción del producto Transporte y Almacenamiento Instalación Preparación para la instalación Desembalaje e inspección Puesta en marcha y funcionamiento de la bomba de desplazamiento en seco IDP-3...
Page 7 Contents Procedimiento de puesta en marcha Procedimiento de apagado Mantenimiento Limpieza Exterior Eliminación Servicio Condiciones ambientales, observancia y requisitos de utilidad Condiciones ambientales 使用说明关于本手册有效性定义与术语小心、警告和注意的定义警告符号安全性正确使用不当使用防护设备干式涡旋真空泵的安全指南产品说明运输与储存安装安装准备...
Page 8 Contents 开箱验货 IDP-3 干式涡旋真空泵的启动和运行启动程序关闭程序使用维护清洁外部处置服务环境条件、合规性和公用事业要求环境条件...
Page 9 Contents 取扱説明書この説明書について有効期定義と用語警告・注意・注の定義警告の記号安全性適切な使用不適切な使用保護用装備ドライスクロール真空ポンプ用安全のガイドライン製品説明輸送＆保管設置設置の準備開梱と検品 IDP-3 ドライスクロール真空ポンプの起動と操作について起動時の手順停止の手順使用メンテナンスクリーニング外面処分サービス環境条件、コンプライアンス、およびユーティリティ要件環境条件...
Page 10 Protective equipment Safety guideline for Dry Scroll Vacuum Pumps Product Description Transport & Storage Installation Preparation for Installation Unpacking and Inspection Start-up and Operation of the IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump Startup Procedure Shutdown Procedure Maintenance Cleaning Exterior Disposal Service...
Page 11 Contents Technical Information Description of the IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump Technical Specifications IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump Outline Drawing IPD-3 Principal Items Electrical Connections Power Cord Power Cord (24 VDC) Grounding Instructions Grounding Instructions (DC version) Extension Cords Run Currents...
Page 12 Contents...
Page 13 Linee guida per la sicurezza delle pompe per vuoto Dry Scroll Descrizione del prodotto Trasporto e immagazzinamento Installazione Preparazione per l’installazione Disimballaggio e ispezione Avvio e funzionamento della pompa per vuoto IDP-3 Dry Scroll Procedura di avvio Procedura di arresto Utilizzo Manutenzione Pulizia...
Page 14 Istruzioni per l’uso Informazioni su questo manuale Validità Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti della IDP-3, con particolare riferimento alle nozioni relative a sicurezza, funzionamento e manutenzione di primo livello, limitatamente alle operazioni di manutenzione di cui l’utente è...
Page 15 Istruzioni per l’uso Definizioni e terminologia Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota Alcuni riferimenti importanti di questo manuale sono evidenziati e incorniciati in colori contrastanti. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura. I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una AVVERTENZA procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,...
Page 16 Simboli di avvertenza Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli avvisi della IDP-3. Viene mostrato anche il pericolo che descrivono. Un simbolo triangolare indica un’avvertenza. I significati dei simboli che possono apparire accanto alle avvertenze nella documentazione o sullo strumento stesso...
Page 17 Istruzioni per l’uso Il seguente simbolo può essere usato sulle etichette di avvertenza attaccate allo strumento. Quando viene visualizzato questo simbolo, consultare il relativo manuale operativo o di servizio per la procedura corretta a cui fa riferimento tale etichetta di avvertenza. I seguenti simboli appaiono sullo strumento per vostra informazione.
Page 18 Agilent Technologies declina ogni responsabilità per danni alla macchina o per la sicurezza fisica dell'operatore o di terzi, derivanti dal mancato rispetto delle norme di sicurezza indicate nella documentazione tecnica.
Page 19 (LEL) ufficialmente pubblicati per i gas in qualsiasi condizione di guasto del sistema o della pompa per vuoto. Uso improprio Agilent Technologies declina ogni responsabilità derivante dall'uso improprio della pompa IDP-3. L'uso improprio comporta la perdita di tutti i diritti a reclami per responsabilità e garanzie.
Page 20 Istruzioni per l’uso Attrezzatura di protezione L’attrezzatura di protezione degli operatori che stanno operando o eseguendo la manutenzione della pompa deve essere sempre adeguata al tipo di operazione da eseguire. Inoltre, deve soddisfare i requisiti di sicurezza della legislazione in vigore nel paese in cui viene utilizzata la macchina.
Page 21 Istruzioni per l’uso CAUTION Rischio di lesioni a causa di spigoli vivi • Prima di riparare la pompa o prima di qualsiasi azione di montaggio/smontaggio della pompa del sistema, attendere l’arresto completo della pompa. • Se necessario, indossare guanti protettivi secondo la EN 420. Linee guida per la sicurezza delle pompe per vuoto Dry Scroll Per evitare danni alle apparecchiature e per prevenire lesioni al personale AVVERTENZA...
Page 22 IDP-3 è una pompa per vuoto a secco ermetica a spirale, che può essere utilizzata per pompare aria o gas inerti. La pompa non può essere usata per pompare gas corrosivi, esplosivi o che formano particelle.
Page 23 Il peso totale dell'imballaggio, pompa IDP-3 inclusa, è di circa 10,5 kg (23 lbs). Quando si disimballa la pompa, assicurarsi di non farla cadere ed evitare AVVERTENZA qualsiasi tipo di impatto improvviso o vibrazione d'urto.
Page 24 Se si installa la pompa IDP-3 in un armadio, lasciare sempre uno spazio sufficiente per garantire la libera circolazione del flusso di aria in ingresso e di scarico.
Page 25 Istruzioni per l’uso Non rimuovere o modificare alcun dispositivo di sicurezza o di isolamento dalla pompa. Ciò potrebbe creare gravi rischi per la sicurezza e invalidare la garanzia. • Questa pompa è in grado di pompare e scaricare solo aria e gas inerti. AVVERTENZA Questa pompa non è...
Page 26 Istruzioni per l’uso Avvio e funzionamento della pompa per vuoto IDP-3 Dry Scroll Procedura di avvio Controllare che il filtro di aspirazione sia installato prima di iniziare il funzionamento. Non inserire oggetti estranei attraverso le bocchette di raffreddamento AVVERTENZA poiché il contatto con le pale della ventola può causare gravi lesioni personali.
Page 27 Istruzioni per l’uso Figura 1 Interruttore di alimentazione ON/OFF Accendere la pompa premendo l'interruttore di alimentazione (per i modelli CA). La pompa a 24 VDC si accende al momento in cui si collega l'alimentazione a 24 VDC alla pompa e si accende la pompa. Procedura di arresto Per arrestare la pompa: Spengere la pompa per i modelli CA.
Page 28 Istruzioni per l’uso Utilizzo Per ottenere un livello di vuoto ottimale, è necessario lasciare la pompa in funzione per almeno un'ora con il lato ingresso chiuso. L'avvio della pompa non richiede il rispetto di istruzioni specifiche, poiché può essere semplicemente accesa tramite l'apposito tasto di accensione. La pompa è...
Page 29 Fino a quando non si è acquisita esperienza nel proprio processo specifico, ripetere la procedura e programmare le tempistiche in base alle condizioni specifiche. Esterno Le superfici esterne della pompa IDP-3 devono essere pulite solo con alcol o detergenti neutri.
Page 30 Istruzioni per l’uso Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Page 31 Nel caso in cui un cliente necessiti di un servizio di sostituzione o riparazione avanzato, si prega di contattare il distributore locale o scrivere direttamente a: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com È necessario completare il modulo “Request for Return” per restituire il prodotto ad Agilent per l'assistenza (fornito alla fine di questo manuale).
Page 32 Istruzioni per l’uso Condizioni ambientali, conformità e requisiti di utilità Condizioni ambientali Questa apparecchiatura è conforme alle seguenti classificazioni IEC: Grado di inquinamento 2 (vedere la nota)  Categoria di installazione II (vedere la nota)  Classe di equipaggiamento 1 ...
Page 33 Warning Symbols Sicherheit Sachgemäße Verwendung Unsachgemäße Verwendung Schutzausrüstung Sicherheitsrichtlinien für Trockenlauf-Vakuumpumpen Produktbeschreibung Transport und Aufbewahrung Einbau Montagevorbereitungen Auspacken und Inspektion Inbetriebnahme und Betrieb der Dry Trockenlauf-Vakuumpumpe IDP-3 Inbetriebnahmeverfahren Ausschaltvorgang Inbetriebnahme Wartung Reinigung Außenflächen Entsorgung Service Raumbedingungen, Konformität und Anforderungen der Versorgungsbetriebe...
Page 34 Informationen über diese Betriebsanleitung Gültigkeit Diese Betriebsanleitung enthält die Anweisungen für die Benutzer der IDP-3 mit besonderer Bezugnahme auf die Begriffe für Sicherheit, Betrieb und Wartung auf der ersten Ebene, auf die Wartungsarbeiten beschränkt, für die der Benutzer verantwortlich ist.
Page 35 Betriebsanleitung Definitionen und Terminologie Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis Einige wichtige Bezüge dieser Betriebsanleitung werden durch Kontrastfarben hervorgehoben und eingerahmt. Die Vorsichtshinweise werden vor Verfahren angezeigt, die Schäden am Gerät VORSICHT verursachen könnten, wenn sie nicht beachtet werden. Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf ein WARNUNG Verfahren oder einen spezifischen Vorgang, der schwere Verletzungen von Personen zur Folge haben könnte, wenn er nicht korrekt ausgeführt wird.
Page 36 Warning Symbols Das Folgende ist eine Liste von Symbolen, die in Verbindung mit den Warnungen auf dem IDP-3 angezeigt werden. Die von ihnen beschriebene Gefahr wird ebenfalls angezeigt. Ein dreieckiges Symbol weist auf eine Warnung hin. Die Bedeutung der Symbole, die neben Warnhinweisen in der Dokumentation oder auf dem Gerät selbst erscheinen...
Page 37 Betriebsanleitung Das folgende Symbol kann auf am Gerät angebrachten Warnschildern verwendet werden. Wenn Sie dieses Symbol sehen, finden Sie in der jeweiligen Betriebs- oder Wartungsanleitung das richtige Verfahren, auf das sich dieses Warnschild bezieht. Die folgenden Symbole werden zu Ihrer Information auf dem Instrument angezeigt. CE-Zertifizierung CSA-Zertifizierung China RoHS-Zertifizierung...
Page 38 Sicherheitsbedingungen ineffizient machen und Unfälle bei den Bedienern der Maschine verursachen. Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung für Schäden an der Maschine oder für die physische Sicherheit des Bedieners oder Dritter ab, die sich aus der Nichtbeachtung der in den technischen Unterlagen angegebenen Sicherheitsregeln ergeben.
Page 39 Explosionsgrenzwerte (UEG) unter jeglichen Anlagen- oder Vakuumpumpen- Störungsbedingungen beibehalten werden. Unsachgemäße Verwendung Agilent Technologies übernimmt keine Haftung für Schäden, die durch unsachgemäßen Gebrauch des IDP-3 entstanden sind. Unsachgemäßer Gebrauch führt zum Verlust aller Haftungs- und Gewährleistungsansprüche. Das für den Betrieb und die Wartung der Pumpe zuständige Personal muss gut ausgebildet sein und mit den Unfallverhütungsvorschriften vertraut sein.
Page 40 Betriebsanleitung Schutzausrüstung Die Schutzausrüstung der Bediener, die das Pumpensystem bedienen oder warten, muss immer für die Art des auszuführenden Vorgangs geeignet sein. Darüber hinaus muss es den Sicherheitsanforderungen der in dem Land, in dem die Maschine verwendet wird, geltenden Rechtsvorschriften entsprechen. Gesundheitsgefahr durch gefährliche Stoffe bei Wartung oder Installation.
Page 41 Betriebsanleitung VORSICHT Verletzungsgefahr durch scharfe Kante • Warten Sie vor der Wartung der Pumpe oder vor dem Ein- und Ausbau der Pumpe vom System bis zum vollständigen Stillstand der Pumpe. • Gegebenenfalls Schutzhandschuhe nach EN 420 tragen. Sicherheitsrichtlinien für Trockenlauf-Vakuumpumpen Zur Vermeidung von Geräteschäden und Verletzungen des Bedienpersonals WARNUNG sind die Installationshinweise in dieser Anleitung strikt zu befolgen!
Page 42 Der Benutzer muss diese Bedienungsanleitung und alle anderen von Agilent bereitgestellten zusätzlichen Informationen lesen, bevor er das Gerät in Betrieb nimmt. Agilent haftet nicht für Ereignisse, die auf die Nichteinhaltung dieser Anweisungen, die unsachgemäße Verwendung durch nicht unterwiesene Personen, nicht genehmigte Eingriffe in die Geräte oder auf Handlungen zurückzuführen sind, die im Widerspruch zu spezifischen landesweiten Normen stehen.
Page 43 Beschädigungen aufweisen sollte, die während des Transports entstanden sein könnten, wenden Sie sich an Ihr örtliches Vertriebsbüro. Das Gesamtgewicht der Pumpe IDP-3 beläuft sich einschließlich Verpackung auf ca. 10,5 kg (23 lbs). Achten Sie beim Auspacken darauf, die Pumpe nicht fallen zu lassen und WARNUNG vermeiden Sie plötzliche Stöße oder Erschütterungen der Pumpe.
Page 44 Gasen, ausgesetzt ist oder wo Explosionsgefahr oder erhöhte Brandgefahr besteht. Wird die IDP-3 Pumpe in einem geschlossenen Gehäuse betrieben, so ist darauf zu achten, dass vor dem vorderen und dem hinteren Luftanschluss der Pumpe genügend Freiraum für die Luftzufuhr zur Verfügung steht.
Page 45 Betriebsanleitung Keine Sicherheits- oder Isoliervorrichtungen an der Pumpe entfernen oder verändern. Zuwiderhandlung kann ein ernsthaftes Sicherheitsrisiko darstellen und zu Garantieverlust führen. • Diese Pumpe ist nur zur Förderung und Absaugung von Luft und inerten Gasen WARNUNG geeignet. Diese Pumpe ist nicht für das Pumpen von korrosiven, pyrophoren, partikelbildenden Gasen oder Gasgemischen in deren entzündlichem und/oder brennbarem Spektrum bestimmt.
Page 46 Betriebsanleitung Inbetriebnahme und Betrieb der Dry Trockenlauf-Vakuumpumpe IDP-3 Inbetriebnahmeverfahren Vergewissern Sie sich, dass das Ansauggitter installiert ist, bevor Sie den Betrieb aufnehmen. WARNUNG Führen Sie keine Fremdkörper durch die Kühlöffnungen ein, da der Kontakt mit den Lüfterflügeln zu schweren Verletzungen führen kann.
Page 47 Betriebsanleitung Abbildung 3 EIN/AUS (ON/OFF)-Schalters Bei AC-Versionen schalten Sie die Pumpe mit dem "ON/OFF"-Schalter ein ("ON"). Die 24 VDC-Pumpe schaltet sich ein, wenn die Pumpe an die 24 VDC- Stromversorgung angeschlossen ist und diese aktiviert wird. Ausschaltvorgang Zum Ausschalten der Pumpe: Bei AC-Versionen schalten Sie die Pumpe aus ("OFF").
Page 48 Betriebsanleitung Inbetriebnahme Für die Erreichung des maximalen Vakuums ist es erforderlich, die Pumpe bei hermetisch verschlossenem Einlass ca. eine Stunde lang laufen zu lassen. Für das Einschalten der Pumpe gelten keine besonderen Anweisungen, es ist lediglich der ON/OFF Schalters zu betätigen. Die Pumpe ist für den Betrieb mit neutralen und nicht korrosiven Fluiden WARNUNG konzipiert.
Page 49 Bis Sie Erfahrungen mit Ihrem spezifischen Prozess gesammelt haben, spülen Sie die Pumpe regelmäßig und passen Sie diesen Zeitplan an Ihre spezifischen Bedingungen an. Außenflächen Die äußeren Oberflächen der IDP-3 dürfen nur mit Alkohol oder milden Reinigungsmitteln gereinigt werden.
Page 50 Betriebsanleitung Entsorgung Bedeutung des „WEEE“ Logos auf den Schildern. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EG-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt NICHT zusammen mit Haushalts- oder Industriemüll entsorgt werden darf, sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Page 51 Sollte ein Kunde einen erweiterten Austausch- oder Reparaturservice benötigen, wenden Sie sich bitte an den örtlichen Händler oder direkt an die Email-Adresse: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Das Ausfüllen des "Request for Return" formulars ist erforderlich, um das Produkt zur Wartung an Agilent zurückzusenden (am Ende dieses Handbuchs angegeben).
Page 52 Betriebsanleitung Raumbedingungen, Konformität und Anforderungen der Versorgungsbetriebe Raumbedingungen Dieses Gerät erfüllt die folgenden IEC-Klassifizierungen: Verschmutzungsgrad 2 (s. Hinweis)  Einbauklasse II (s. Hinweis)  Geräteklasse 1  Der Verunreinigungsgrad beschreibt den Haftungsgrad eines festen, flüssigen oder HINWEIS gasförmigen Stoffes, der die dielektrische Festigkeit beeinträchtigt. Grad 2 gilt für eine normale Innenraumluft.
Page 53 Consignes de sécurité relatives aux pompes à vide à spirales à sec Information du produit Transport et entreposage Installation Préparation pour l’installation Déballage et inspection Démarrage et exploitation de la pompe à vide à spirales à sec IDP-3 Procédure de démarrage Procédure d’arrêt Utilisation Entretien Nettoyage Extérieur...
Page 54 À propos de ce manuel Validité Le présent manuel contient les instructions destinées aux utilisateurs de la IDP-3, notamment celles relatives à la sécurité, au fonctionnement et à la maintenance de premier niveau, dans la limite des activités de maintenance incombant à...
Page 55 Mode d’emploi Définitions et terminologie Signification des messages d’attention, d’avertissement et des notes Dans ce manuel, certaines informations importantes sont surlignées et encadrées avec des couleurs voyantes. Les messages d’attention sont affichés au début de procédures qui, si elles ne ATTENTION sont pas respectées, peuvent entraîner des dommages aux équipements.
Page 56 Symboles d'avertissement Voici une liste de symboles qui apparaissent en conjonction avec les avertissements sur la IDP-3. Le danger qu’ils décrivent est également illustré. Le symbole triangulaire indique un avertissement. Les significations des symboles qui peuvent apparaître à côté des avertissements dans la documentation ou sur l’appareil lui-même sont les suivantes.
Page 57 Mode d’emploi Le symbole suivant peut être utilisé sur les étiquettes d’avertissement apposées sur l’appareil. Lorsque vous voyez ce symbole, reportez-vous au manuel d’utilisation ou d’entretien correspondant pour connaître la procédure correcte visée par cette étiquette d’avertissement. Les symboles suivants apparaissent sur l’appareil pour votre information. Certification CE Certification CSA Certification RoHS Chine...
Page 58 à ceux qui utilisent la machine. Agilent Technologies décline toute responsabilité pour les dommages causés à la machine ou pour la sécurité physique de l’opérateur ou des tiers résultant du non- respect des règles de sécurité...
Page 59 Utilisation incorrecte Agilent Technologies décline toute responsabilité liée à une utilisation incorrecte de l’IDP-3. Une utilisation incorrecte provoquera une annulation de la garantie et des droits de recours en responsabilité. Le personnel responsable de l’exploitation et de l’entretien de la pompe doit avoir été...
Page 60 Mode d’emploi Équipements de protection Les équipements de protection individuelle des opérateurs qui utilisent ou entretiennent le système de pompage doivent toujours être appropriés au type d’opération à effectuer. De plus, ils doivent satisfaire aux exigences de sécurité de la réglementation en vigueur dans le pays d’utilisation de l'appareil. Danger pour la santé...
Page 61 Mode d’emploi ATTENTION Risques de blessures par des arêtes vives ou tranchantes • Avant de réparer la pompe et avant toute opération de montage/démontage de la pompe du système, attendez qu’elle soit complètement arrêtée. • Si nécessaire, portez des gants de protection conformes à la directive EN 420. Consignes de sécurité...
Page 62 à ce qui est énoncé par les normes nationales spécifiques. Le modèle IDP-3 est une pompe à vide sèche, hermétique à spirales. Cette pompe est adaptée au pompage d’air ou de gaz inertes. Cette pompe n’est pas conçue pour pomper des gaz corrosifs, explosifs ou générateurs de particules.
Page 63 Le poids total de l’emballage, pompe IDP-3 incluse, est d’environ 10,5 kg (23 lbs). Lors du déballage de la pompe, veillez à ce qu’elle ne tombe pas et AVERTISSEMENT évitez de l’exposer à...
Page 64 (pluie, neige, glace) à la poussière, aux gaz agressifs ou à des environnements agressifs ou dont le risque d'incendie est très élevé. Si vous placez la pompe IDP-3 dans un endroit fermé, laissez assez de place pour que l'air ambiant circule entre les admissions d'air avant et arrière de la pompe.
Page 65 Mode d’emploi Il est interdit de déposer/modifier les équipements de sécurité ou d’isolation de la pompe. Le non-respect de cette consigne risque de créer de graves risques en matière de sécurité et de rendre la garantie caduque. • Cette pompe est en mesure de pomper et d’évacuer uniquement de l’air AVERTISSEMENT et des gaz inertes.
Page 66 Mode d’emploi Démarrage et exploitation de la pompe à vide à spirales à sec IDP-3 Procédure de démarrage Vérifiez que la crépine est montée avant toute utilisation. N'insérez aucun corps étranger dans les orifices de refroidissement AVERTISSEMENT car le contact avec les pales du ventilateur peut entraîner des blessures graves ou endommager la pompe.
Page 67 Mode d’emploi Figure 5 Interrupteur d’alimentation ON/OFF Allumer la pompe en utilisant l'interrupteur ON/OFF pour les versions c.a. La pompe 24 VDC s'allume une fois que le courant de 24 VDC est branché sur la pompe et qu'il est allumé. Procédure d’arrêt Pour arrêter la pompe : Éteindre la pompe pour les versions c.a.
Page 68 Mode d’emploi Utilisation Lors de la première installation ou après une longue période de non-utilisation, afin d'atteindre des performances de vide maximales, la pompe doit fonctionner pendant environ une heure avec l'entrée scellée en supposant qu'il n'y a pas de fuite.
Page 69 Extérieur Les surfaces externes du modèle IDP-3 doivent être nettoyées uniquement à l’alcool ou à l’aide de détergents doux.
Page 70 Mode d’emploi Élimination Signification du logo « DEEE » présent sur les étiquettes. Le symbole représenté ci-dessous est apposé conformément à la directive CE dite « DEEE ». Ce symbole (valable uniquement pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est apposé NE DOIT PAS être éliminé avec des déchets ménagers o industriels communs mais qu’il doit être confié...
Page 71 Si vous avez besoin d’un service d’échange ou de réparation avancé, veuillez contacter le distributeur local ou écrire directement à : vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Vous devez remplir le formulaire de “Request for Return” pour retourner le produit à Agilent pour l’entretien (fourni à la fin du présent manuel).
Page 72 Mode d’emploi Conditions environnementales, conformité et exigences liées aux applications pratiques Conditions environnementales Cet équipement est conforme aux classifications IEC suivantes : Degré de pollution 2 (voir Note)  Catégorie d’installation II (voir Note)  Classe d’équipement 1  Le niveau de pollution décrit le degré auquel correspond un solide, un liquide ou un NOTE gaz qui détériore la rigidité...
Page 73 Descripción del producto Transporte y Almacenamiento Instalación Preparación para la instalación Desembalaje e inspección Puesta en marcha y funcionamiento de la bomba de desplazamiento en seco IDP-3 Procedimiento de puesta en marcha Procedimiento de apagado Mantenimiento Limpieza Exterior Eliminación...
Page 74 Acerca del manual Validez Este manual enumera las instrucciones para los usuarios de la bomba IDP-3, con particular referencia a la información relacionada con la seguridad, la operación y el mantenimiento de primer nivel que está limitado a las operaciones de mantenimiento que son responsabilidad del usuario.
Page 75 Instrucciones de uso Definiciones y terminología Definición de Precaución, Advertencia y Nota Algunas referencias importantes de este manual están resaltadas y enmarcadas en color contrastante. Los mensajes de precaución se muestran antes de los procedimientos que, si PRECAUCIÓN no se respetan, pueden causar daños al equipo. Los mensajes de advertencia llaman la atención del operador sobre un ADVERTENCIA procedimiento o práctica específica que, si no se realiza correctamente,...
Page 76 Símbolos de advertencia La siguiente es una lista de los símbolos que aparecen en conjunto con las advertencias en la bomba IDP-3. También se muestra el peligro que describen. Un símbolo triangular indica una advertencia. Los significados de los símbolos que pueden aparecer junto a las advertencias en la documentación son los siguientes:...
Page 77 Instrucciones de uso El siguiente símbolo podría utilizarle en las etiquetas de advertencia fijadas al instrumento. Cuando vea este símbolo, consulte la operación relevante o el manual de servicio para el procedimiento referido por dicha etiqueta de advertencia. Los siguientes símbolos aparecen en el instrumento para su información. Certificación CE Certificación CSA Certificación China RoHS...
Page 78 Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad por daños a la máquina o la seguridad física del operario o terceras partes derivados del incumplimiento de las reglas de seguridad indicadas en la documentación técnica.
Page 79 (LEL) publicados de los gases en cualquier condición de falla del sistema o de la bomba de vacío. Uso incorrecto Agilent Technologies declina toda responsabilidad derivada del uso indebido de IDP-3. El uso inapropiado hará que se pierdan todas las reclamaciones de responsabilidad y garantías.
Page 80 Instrucciones de uso Equipo de protección El equipo de protección de los operadores que usan la bomba o realizan su mantenimiento siempre debe ser adecuado para el tipo de operación que realizan. Además, debe cumplir con los requisitos de seguridad de la legislación vigente en el país en donde se utiliza el equipo.
Page 81 Instrucciones de uso PRECAUCIÓN Riesgo de lesiones debido a la presencia de cantos vivos • Antes de realizar el servicio técnico o antes del montaje/desmontaje de la bomba del sistema, espere a que la bomba se detenga por completo. • Si es necesario, use guantes de protección que cumplan con la norma EN 420. Pautas de seguridad para bombas de vacío de desplazamiento en seco Para evitar daños al equipo y prevenir lesiones al personal operativo, se ADVERTENCIA...
Page 82 La IDP-3 es una bomba de vacío hermética seca de volutas espiral. Esta bomba es adecuada para bombear aire o gases inertes. En cambio, no ha sido diseñada para bombear gases corrosivos, explosivos o que formen partículas.
Page 83 El peso total del paquete, incluida la bomba IDP-3, es de aproximadamente 10,5 kg (23 libras). Al desembalar la bomba, asegúrese de no dejarla caer y evite cualquier ADVERTENCIA tipo de impacto repentino o vibración de choque.
Page 84 Si coloca la bomba IDP-3 dentro de un gabinete cerrado, contemple que haya amplio espacio para suministrar aire ambiental a las entradas de aire de la bomba situadas en la parte frontal y la parte posterior.
Page 85 Instrucciones de uso No quite ni modifique ningún dispositivo de seguridad o aislamiento de la bomba. Esto podría crear un peligro grave para la seguridad y anular la garantía. • Esta bomba solo es capaz de bombear y descargar aire y gases inertes. ADVERTENCIA Esta bomba no ha sido diseñada para bombear gases corrosivos, pirofóricos, formadores de partículas o mezclas de gases en su rango...
Page 86 Instrucciones de uso Puesta en marcha y funcionamiento de la bomba de desplazamiento en seco IDP-3 Procedimiento de puesta en marcha Verifique que la pantalla de entrada esté instalada antes de comenzar la operación. No inserte ningún objeto extraño a través de las rejillas de ventilación, ya...
Page 87 Instrucciones de uso Figura 7 Interruptor ON/OFF Encienda la bomba utilizando el interruptor ON/OFF para las versiones AC. La bomba de 24 VDC se enciende una vez que se conecta y enciende la alimentación de 24 VDC a la bomba. Procedimiento de apagado Para apagar la bomba: Para las versiones AC, apague la bomba.
Page 88 Instrucciones de uso Cuando se instala por primera vez o después de un largo período de inactividad, para alcanzar el máximo rendimiento de vacío, la bomba debe dejarse funcionando durante aproximadamente una hora con la entrada sellada, suponiendo que no haya fugas.
Page 89 Limpieza Durante el funcionamiento prolongado en aplicaciones de bajo caudal, se pueden acumular polvo y residuos en la bomba. Para obtener el mejor rendimiento, Agilent recomienda hacer funcionar periódicamente la bomba en la atmósfera durante uno o dos minutos para eliminar la humedad residual. Hasta que haya adquirido experiencia en su proceso específico, repita el procedimiento y programe los...
Page 90 Instrucciones de uso Eliminación Significado del logo “WEEE” que se encuentra en las etiquetas. El siguiente símbolo se aplica de acuerdo con la Directiva WEEE (Residuos de Aparatos Eléctricos y Electrónicos, por sus siglas en inglés) de la CE. Este símbolo (válido solo en los países de la Comunidad Europea) indica que el producto en el que se aplica NO debe desecharse con la basura doméstica o industrial común, sino que debe enviarse a un sistema de recolección diferenciada.
Page 91 Si un cliente necesita un servicio de intercambio avanzado o reparación, contacte con un distribuidor local o escriba un correo electrónico directamente a: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Es obligatorio completar la “Request for Return” para devolver el producto a Agilent para mantenimiento (proporcionada al final del presente manual).
Page 92 Instrucciones de uso Condiciones ambientales, observancia y requisitos de utilidad Condiciones ambientales Este equipo cumple con las siguientes clasificaciones IEC: Grado de Contaminación 2 (Ver Nota)  Categoría de instalación II (ver nota)  Equipo Clase 1  El nivel de contaminación describe el grado en que se adhiere un sólido, líquido o NOTA gas que deteriora la rigidez dieléctrica.
Page 93 使用说明使用说明关于本手册有效性定义与术语小心、警告和注意的定义警告符号安全性正确使用不当使用防护设备干式涡旋真空泵的安全指南产品说明运输与储存安装安装准备开箱验货 IDP-3 干式涡旋真空泵的启动和运行启动程序关闭程序使用维护清洁外部处置服务环境条件、合规性和公用事业要求环境条件...
Page 94 使用说明关于本手册有效性本手册列出 IDP-3用户说明，特别注意与安全、操作和一级维护有关的注意事项，受用户负责的维护操作限制。维护操作在特定章节中说明，对于更高等级的维护设有具体规定（接受过维护操作专门培训的人员），用户不得执行此类操作。要正确安装和启动/停止，请参考“Technical Information”章节。本手册包含有用信息，确保所有使用 IDP-3 的人员可以安全操作，在设备整个注意寿命期内发挥完美效率。将本手册和所有相关出版物放置在所有操作员、维护人员方便访问的位置。...
Page 95 使用说明定义与术语小心、警告和注意的定义本手册的一些重要参考内容用背景色突出显示。程序开始前，提示小心消息，如果不遵守过程指示，可能导致设备损坏。小心警告消息提醒操作员注意特定过程或做法，如果执行错误，可能导致人员重警告伤。注意旨在让人注意重要信息，提供具体步骤的更多详细信息。注意...
Page 96 使用说明警告符号以下是在 IDP-3 上与警告一起显示的符号列表。还显示了这些符号所指的危险。三角形符号表示警告。在文档或仪器警告旁边可能出现的符号含义如下。表面较热表示危险电压一般危险电源开启交流电 (AC) 电源关闭欧洲符合性声明废弃电气和电子设备...
Page 97 使用说明以下符号可用作附在仪器上的警告标签。当您看到此符号时，请参阅相关操作或维修手册，了解该警告标签所指的正确操作过程。以下符号会出现在仪器上以供您参考。 CE认证 CSA 认证 RoHS中国认证废弃电气和电子设备表面较热生产现场表示危险电压一般危险...
Page 98 使用说明安全性本节包含低电压指令 2014/35/EU 规定的信息，这些信息对于遵守与产品特定使用相关的一般安全规定至关重要。不遵守这些说明或本手册的其他说明，将导致设计阶段设想的安全条件无效，操作员可能发生事故。对于不遵守技术文档中的安全规定而导致的机器损坏或者操作员或第三方人身伤害， Agilent Technologies 不承担任何责任。正确使用本手册包含机器安全工作需要遵守的重要警告和安全说明。本手册所述产品仅用于本手册指定的应用领域。手册还规定了产品应用和操作基本要求相关的说明，以及可确保正常运行的安全措施。对于将产品用于非本手册介绍的用途或者产品使用过程中不遵守基本要求和安全措施，Agilent Technologies 不承担任何责任。必须由能够采取必要安全措施，不会导致损坏或受伤的具备资质人员使用产品。产品的配套配件和设备必须由 Agilent Technologies 提供或授权使用。必须由了解相关风险的专业技术人员执行任何调整或维护操作。必须由 Agilent 授权人员执行产品维修。...
Page 99 使用说明易燃材料: 警告为确保泵内的气体不进入易燃/可燃范围，您必须遵守说明并注意以下预防措施。当设备内存在易燃或可燃材料时，您必须： • 确保系统不漏气，以保证只有预期气体通过真空泵。 • 确保进入泵（入口法蘭和“Gas Ballast”端口）泵内部和排气管道中的任何易燃气体或蒸汽的浓度保持在气体公布的爆炸下限值 (LEL) 的四分之一以下。 • 任何系统或真空泵故障条件下，确保安全系统到位，以保持进入泵（入口法蘭和 “Gas Ballast”端口）、泵内部和排气管道中的任何易燃气体或蒸汽的浓度保持在气体公布的爆炸下限值(LEL)的四分之一以下。...
Page 100 使用说明防护设备进行或执行泵送系统维护的操作员必须始终使用适合操作类型的防护设备。此外，它必须符合使用机器所在国家的现行立法安全要求。维护或安装时危险物质导致的健康危险。警告 • 根据流程特性，真空泵、组件或工作流体可能被有毒、反应性或放射性物质污染。 • 维护维修或重新安装时，穿戴合适防护设备。掉落物体导致受伤的风险警告手动运输真空泵时，存在重物滑动和掉落的危险。 • 双手搬运中小型真空泵。 • 如果设备重量超过 20 kg，应使用合适的起吊设备运输。 • 穿着符合指令 EN 347，并带有铁鞋头的安全鞋。...
Page 101 使用说明小心锋利边缘导致受伤的风险 • 在维修泵之前，或在泵从系统中执行任何安装/拆卸操作之前，等待泵完全停止。 • 如有必要，请按照 EN 420 佩戴防护手套。干式涡旋真空泵的安全指南为避免损坏设备并防止操作人员受伤，应严格遵守本手册中提供的安装说明！警告...
Page 102 使用说明产品说明本设备专供经过培训的人员使用。在操作设备之前，用户应阅读本说明手册和安捷伦提供的任何其他附加信息。对于因不遵守这些说明、未经培训的人员使用不当、未经授权干扰设备或任何违反特定国家标准规定的行为而导致的任何事件，安捷伦概不负责。 IDP-3 是一款密封型干式旋涡真空泵。它适合于抽吸空气或惰性气体。不适用于抽吸腐蚀性、易爆或含微粒的气体。以下段落包含所有必要信息，以确保操作员在使用设备时的安全。“技术信息”章节中提供了详细信息。运输与储存运输和存放泵时，不得违反以下环境要求： -20℃ 至 +60℃ (-4℉ 至 140℉) 温度:  相对湿度: 0 至 95% (非冷凝) ...
Page 103 使用说明安装安装准备如果表面有损坏迹象，这可能是在运输过程中发生的，请联系您当地的销售办事处。包括IDP-3泵在内的包装总重量约为10.5千克（23磅）。打开水泵的包装时，请轻拿轻放，避免任何形式的突然撞击或冲击振动。警告正常暴露在环境中不会损坏泵。注意尽管如此，建议保持泵入口关闭，直到泵停止工作。安装在系统中的目的是为了最大程度地减少泵中水蒸气的积聚，否则会导致初始抽空时间延长。开箱验货定位装运容器，使“This End Up”的字样朝上。打开包装箱，小心地将 IDP-3 从包装箱中取出。保存纸箱和所有包装材料。检查泵是否损坏。如果有运输损坏，请立即联系货运公司和您当地的安捷伦销售办事处。...
Page 104 使用说明不要在布满大气介质 (雨、雪、冰)、灰尘、侵蚀性气体、易爆或易燃环境中安装或使用该泵。如要将 IDP-3 泵置于护壳中，请务必保留充足的空间，以便为泵的前后进风口提供充足的通风。操作过程中请务必遵守以下环境条件： +5 °C 至 +40 °C (41 °F 至 104 °F) 温度: 0 至 95% (无凝缩) 相对湿度： IDP-3 共有三种版本： 100 VAC， 50/60 Hz  115 VAC， 60 Hz  220-230 VAC， 50/60 Hz ...
Page 105 使用说明不要拆除或改装泵上的任何安全或绝缘设备。这样做可能会造成严重的安全隐患，并可能导致保修失效。 • 该泵只能抽吸和排出空气和惰性气体。该泵不适用于泵送易燃和/或可燃范围内警告的具腐蚀性、自燃性、颗粒性的气体或气体混合物。 • 安装在没有雨水、蒸汽或过度潮湿的地方。水分会导致触电、短路和严重的身体伤害。 • 在重新配置泵电压、检查或维修泵之前，确保电源已断开。 • 每次泵送非气体时都必须密封“Gas Ballast” 旨在排放到大气中。 • 排气消音器选项适用于希望降低泵产生的声级的那些应用。 • 为防止身体受伤，请避免将人体的任何部位暴露在真空中。尽管该泵可以泵送通常存在于大气中的微量颗粒物，但它并非设计用于处理固体、小心化学品、粉末、溶剂、冷凝物或其他颗粒物。它们会损坏设备、降低其性能或缩短其使用寿命。...
Page 106 使用说明 IDP-3 干式涡旋真空泵的启动和运行启动程序在开始操作前检查入口滤网是否安装。请勿通过冷却通风口插入任何异物，因为接触风扇叶片可能会导致严重的人身警告伤害或泵损坏。在 5℃ 至 40℃（41℉ 至 104℉）的环境温度下运行泵，否则可能会损坏泵或缩短使用寿命。不要阻塞风扇管道。阻塞这些管道会导致泵过热。小心如果泵表面温度超过 65℃ (150℉) 可能会造成损坏。如果观察到此类情况，请关闭泵并使其冷却。对其进行拆卸和检查，并在必要时进行维修。确保为泵所连接的电源电压配置了泵。泵的打开/关闭 (ON/OFF) 开关属于摇臂型开关，使用 IEC Publication 417 标准注意符号来表示 “打开”和“关闭”位置。下图显示了一个处于 ON 位置的开关。...
Page 107 使用说明图 9 电源开关 ON/OFF 对于 AC 型，使用泵开关将泵打开。将 24 VDC 电源连接到 24 VDC 泵上，并且把电源打开时， 24 VDC 泵就会被启动。关闭程序要关闭泵：对于 AC 型，将泵关闭。对于 DC 型，关闭 24 VDC 电源或断开电源线。 ...
Page 108 使用说明使用首次安装或长期未使用后，为了达到最大真空性能，泵必须运行约一个小时，并且假设没有泄漏，入口密封。此处没有关于启动泵的特别说明，只需使用打开 / 关闭开关即可。该泵须与中性或无腐蚀性流体共同操作。警告严禁与易爆或易燃物质一同使用。...
Page 109 使用说明维护负责泵操作和维护的人员必须经过良好培训并了解事故预防规则。 • 接触高压可能导致死亡或严重受伤。始终格外小心并遵守现行的事故预防规定。警告 • 机器通电时，小心移动部件和高压。 • 如果在运行相当长一段时间后必须对泵进行维护，请使其冷却，因为外表面的温度可能超过 60℃。 • 在开始维护工作之前，请务必断开泵的电源。将泵退回给厂家进行维修之前，请填写本使用手册随附的“Request for Return” 注意表并寄送给当地的销售办事处。装运之前，请在泵包装内附上该表的副本。如果要废弃泵，必须按照当地法律法规进行处置。清洁在低流量应用中长时间运行期间，泵内会积聚灰尘和碎屑。为了获得最佳性能，安捷伦建议定期在大气压下运行泵一两分钟以将其冲洗干净。在您获得特定流程的经验之前，请定期冲洗泵并根据您的具体情况调整此时间表。外部 IDP-3 的外表面可用酒精或温和去污剂清洁。 Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
Page 110 使用说明处置标签中的“WEEE”徽标含义。按照 EC WEEE（废电子电气设备）指令应用以下符号。此符号（仅在欧盟国家有效）表示所适用产品不得与家庭或工业垃圾一起处置，必须送至专门废弃物回收系统。因此，欢迎最终用户联系设备供应商（无论是母公司还是零售商），在检查销售合同条款后启动回收和处置流程。图 10 Logo "WEEE"...
Page 111 使用说明服务客户如需要后期的更换或维修服务，敬请联系当地经销商，或直接发送电子邮件至: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com 需要填写 ”Request for Return” 表才能将泵退回到 Agilent 维修部门（在本手册末尾会提供）。 Agilent IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump User Manual...
Page 112 使用说明环境条件、合规性和公用事业要求环境条件本设备符合以下 IEC 分类: 污染度 2（见备注）  安装类别 II（见备注）  设备等级 1  污染水平描述了降低介电强度的固体、液体或气体的附着程度。級 2 适用于正常的注意室内环境。安装类别 II 表示冲击耐受电压的规定。它也被称为过电压类别。第 II 類适用于电气设备。该设备需要以下空间用于通风、维护和方便接触主电源断路器开关。设备四周必须留有至少 60 cm (24") 的净空间。您实验室的工作台必须能够支撑整个系统和其他实验室设备。...
Page 113 取扱説明書取扱説明書この説明書について有効期定義と用語警告・注意・注の定義警告の記号安全性適切な使用不適切な使用保護用装備ドライスクロール真空ポンプ用安全のガイドライン製品説明輸送＆保管設置設置の準備開梱と検品 IDP-3 ドライスクロール真空ポンプの起動と操作について起動時の手順停止の手順使用メンテナンスクリーニング外面処分サービス環境条件、コンプライアンス、およびユーティリティ要件環境条件...
Page 114 取扱説明書この説明書について有効期本説明書には、特に安全、操作手順およびユーザーに必要なメンテナンス手順のみの簡易メンテナンスに関連する考え方を参考に、IDP-3 の使用方法をユーザーに説明します。高度なメンテナンス（メンテナンス手順の個別訓練を受けた人員）に関連した各条項とあわせて、各セクションで説明するメンテナンス手順は、ユーザーは行わないでください。正しい取付および始動/停止については、「Technical Information」セクションを参照してください。本説明書には、注 IDP-3 を使用する人員がすべて安全に使用でき、また機器使用寿命中に効率よく使用できるのに、役立つ情報が記載されています。本説明書は、関連するすべての刊行物とあわえて、オペレータ/メンテナンス要員に分かりやすい、取り扱いしやすい場所に保管してください。...
Page 115 取扱説明書定義と用語警告・注意・注の定義このマニュアルのいくつかの重要な参照部は、対比色でハイライトされ枠で囲ってあります。注意」のメッセージは、もし監視されていない場合に装置に損害が生じる可能性注意を示しています。警告」のメッセージは、もし正しく操作されない場合に、重大な人身障害に警告つながる可能性がある特定の操作や実行への操作者の注意の必要性を示しています。「注」は、重要な情報への注意喚起と特定の工程に関してのより詳細な情報を提注供しています。...
Page 116 取扱説明書警告の記号下記は、IDP-3上の警告と併せて表示される記号のリストです。危険性の説明も記載されています。三角の記号は警告を示しています。説明書内または装置上の警告記号と供に示されうる記号の意味は下記の通りです：高温の表面危険な電圧包括的な危険交流電流 (AC) 電源オン電源オフ CE適合宣言書廃電気・電子製品に関するEU WEEE指令...
Page 117 取扱説明書 The following symbol may be used on warning labels attached to the instrument. When you see this symbol, refer to the relevant operation or service manual for the correct procedure referred to by that warning label. The following symbols appear on the instrument for your information. CE認証...
Page 118 取扱説明書安全性このセクションでは、低電圧指令2014/35/EUで規定されている、一般的な安全規制と製品の特定の使用に関する安全規制の両方への準拠と遵守に不可欠な情報を記載しています。これらの指示とこのマニュアル内のその他の指示に従わなかった場合、設計時に予測された安全状態が非効率に損なわれ、機械を操作する者へ事故が生じる可能性があります。アジレント・テクノロジー株式会社は、技術的な参照書に示された安全規定の不順守により派生した、機械または操作者もしくは第三者の身体的安全への損害・損傷の責任を全て拒否します。適切な使用このマニュアルは、装置一式が安全に機能するために遵守されるべき重要な警告と安全の手引きを含みます。このマニュアルに説明されている製品は、説明書に特記されている分野への活用に限定した目的のものです。マニュアルはまた、製品の活用と操作に必須の要件に関する指示と標準の操作を保証するために適用される安全対策を提供します。アジレント・テクノロジー株式会社は、このマニュアル内説明されているもの以外の適用、または必須の要件や安全対策に注意が払われていない場合にいかなる保証も提供せず、またはいかなる責任も負いません。製品は、損傷や怪我を生じさせない状況下において必要な安全対策を講じることができる有資格者のみ使用することができます。製品と供に使用されたいかなる付属品や機器も、アジレント・テクノロジー株式会社により共有もしくは承認されたものでなければなりません。いかなる調整またはメンテナンスの操作は、リスクについて承知している専門家の技術者により実行されなければいけません。製品の修理は、専らアジレント・テクノロジー株式会社により行われなければなりません。...
Page 119 取扱説明書可燃性材料：警告ポンプ内のガスが可燃性/燃焼性の範囲に入らないようにするために、必ず指示に従い、以下の警告事項に注意する必要があります。引火性または可燃性または燃焼性ある物質が装置内にある場合は、以下のことを行う必要があります： • 想定するガスだけが真空ポンプを通過するように、システムの気密性を確保してください。 • ポンプ (「01Gas Ballast01」の入口フランジとポート) ポンプ内部、および排気管内に流入する可燃性ガスまたは蒸気の濃度が、ガスの公表されている爆発下限界 (LEL) の 4 分の 1 未満であることを確認してください。 • ポンプ(「01Gas Ballast01」の入口フランジとポート) ポンプ内部、および排気管内に流入する可燃性ガスまたは蒸気の濃度を、システムまたは真空ポンプに障害が発生した場合でも、ガスの公表されている爆発下限界（LEL）の 4 分の 1 未満に維持する安全システムが設定されていることを確認してください。...
Page 120 取扱説明書保護用装備ポンプシシテムのメンテナンスを操作または実行している操作者の保護装置は、実行される操作タイプに常に適切なものでなければなりません。更に、それは機械が使用される該当国の法律に準拠する安全上の必要条件に従うものでなければなりません。一般的に。警告メンテナンスまたは取り付け時に、有害物質による健康への危険。 • 過程の異常な点により、真空ポンプ、構成部分、または操作液は、有害物質、反応性物質、もしくは放射性物質に汚染される場合があります。 • メンテナンスや修理、もしくは再度取り付け時には適切で十分な保護装備を着用してください。装置の落下による損傷のリスク。警告真空ポンプを手で運搬する場合、荷重が滑り落ちる危険があります。 • 両手で小型・中型の真空ポンプを運んでください。 • 20 kg 以上のいかなる装置も、適切なリフトの機器を使用して運搬されなければなりません。 • 指令 EN 347 にしたがって、爪先が鋼製の安全長靴を着用してください。...
Page 121 取扱説明書注意鋭い縁による損傷のリスク。 • ポンプを修理する前、またはシステムからポンプのいかなる取り付け/取り外しをする前に、ポンプの完全な静止をお待ちください。 • 必要に応じて、指令 EN 420 に従った保護手袋を着用してください。ドライスクロール真空ポンプ用安全のガイドライン装置の損傷と操作者の怪我を避けるために、このマニュアルに記載された取警告り付けの指示に厳密に従ってください！...
Page 122 取扱説明書製品説明この装置は訓練を受けた担当者が使用するように設計されています。使用者は、装置を操作する前に、この取扱説明書とAgilent が提供するその他の追加情報を読む必要があります。Agilentは、これらの説明書の指示に従わないこと、訓練を受けていない者による不適切な使用、装置に対する許可されていない干渉、または特定の国家規格で規定されていることに反する行為によって発生した事象について、責任を負いません。 IDP-3 は密封式ドライスクロール真空ポンプです。このポンプは、エアまたは不活性ガスのポンピングに適しています。このポンプは、腐食性ガス、爆発性ガス、または粒子生成ガスには適していません。以下の段落には、装置を使用する際の操作者の安全を保証するために必要なすべての情報が含まれています。詳細情報は、「技術情報」内に記載されています。輸送＆保管このポンプを輸送や保管するときは、以下の環境要件を超えないようにしてください。摂氏 -20℃ ～ +60℃ (華氏 -4 °F ～ 140 °F) 温度：  相対湿度： 0～95%（結露なし） ...
Page 123 取扱説明書設置設置の準備このポンプは、特別な保護梱包で提供されます。輸送中に発生した可能性のある破損が見られる場合は、最寄りの営業所にお問い合わせください。 IDP-3 ポンプを含む梱包の総重量は、約 10.5kg (23 ポンド) です。ポンプを開梱するときは、ポンプを落とさないように注意し、突然の衝撃や警告衝撃による振動を避けてください。通常の環境への暴露ではポンプが損傷することはありません。注ただし、ポンプが作動するまでポンプ入口を閉じたままにすることをお勧めします。ポンプ内の水蒸気の蓄積を最小限に抑えるためにシステムに取り付けられていますが、これにより初期ポンプのダウンタイムが長くなる可能性があります。開梱と検品この面を上に」を上にして輸送用コンテナの向きを合わせます。箱を開けて、IDP-3を慎重に持ち上げて箱から出してください。ダンボール箱と梱包材はすべて保管してください。ポンプが損傷していないか点検してください。もし輸送による損傷がある場合、すぐに運送業者と最寄りのAgilentの営業所に連絡してください。...
Page 124 取扱説明書大気中の作用物 (雨、雪、氷)、ダスト、悪性ガスにさらされるような環境、爆発性雰囲気、または火災危険度の高い環境下でポンプを設置したり、使用したりしないでください。 IDP-3 ポンプを筐体の内部に設置する場合、ポンプの前後のエアインテークに外気が供給されるのに十分な空間を確保してください。動作時は以下の環境条件に準拠してください： +5 °C ～ +40 °C (41 °F ～ 104 °F) 温度： 0～95% (結露なきこと) 相対湿度： IDP-3 には以下の 3 つのモデルがあります。 100 VAC、50/60 Hz  115 VAC、60 Hz ...
Page 125 取扱説明書ポンプから安全装置または絶縁装置を取り外したり、改造したりしないでください。これを行うと、重大な安全上の問題を引き起こす可能性があり、保証が無効になる場合があります。 • このポンプは、空気と不活性ガスのみをポンピングおよび排気することが可警告能です。このポンプは、可燃性および/または燃焼性の範囲内にある腐食性ガス、自然発火性ガス、粒子形成性ガスまたはガス混合物をポンピングすることを目的としていません。 • 雨、蒸気、または過度の湿気にさらされない場所に設置してください。それらは、感電、短絡、および重傷の原因となる可能性があります。 • ポンプ電圧の再設定やポンプの点検・整備を行う前に、電源が切断されていることを確認してください。 • 大気中に放出されることを意図していないガスをポンプで送り込む場合は、常にガスバラストを密閉する必要があります。 • ポンプから発生する騒音を低減したい場合は、排気サイレンサーのオプションが利用可能です。 • 怪我を防ぐために、人体のどの部分も真空にさらさないようにしてください。ポンプは大気中に通常見られる微量の微粒子を排出できますが、固体物、化学物注意質、粉末、溶剤、凝縮物、またはその他の微粒子を処理するようには設計されていません。そられは装置を損傷する可能性があり、性能が低下したり、耐用年数が短くなったりします。...
Page 126 取扱説明書 IDP-3 ドライスクロール真空ポンプの起動と操作について起動時の手順操作を開始する前に、吸入口スクリーンが取り付けられていることを確認してください。冷却通気口から異物を挿入しないでください。ファンブレードに触れると重警告大な人身傷害やポンプの損傷につながる可能性があります。ポンプは 5℃ ～ 40 ℃ (41 °F ～ 104 °F) の周囲温度で操作してください。そうしないと、ポンプが損傷したり、運転寿命が短くなる可能性があります。ファンダクトを塞がないでください。これらのダクトを塞ぐと、ポンプのオーバ注意ーヒートの原因になります。ポンプの表面温度が 65℃ (150 °F)を超えると、損傷を与える可能性があります。そのような状態が見られたら、ポンプの電源を切り、冷却してください。分解し、損傷がないか点検し、必要に応じて修理してください。ポンプが接続されている電源電圧に合わせてポンプが設定されていることを確認してください。ポンプの ON/OFF スイッチはロッカー型で、IEC Publication 417 が規定する...
Page 127 取扱説明書図 11 ON/OFF 電源スイッチ AC バージョンの場合は、ポンプ ON/OFF スイッチを使ってポンプを ON にします。24 VDC 電源をポンプに接続してスイッチを入れると、24 VDC ポンプが ON になります。停止の手順ポンプを停止する方法： AC バージョンの場合は、ポンプを OFF にします。 DC バージョンの場合は、  24 VDC 電源を切るか、パワーコードを抜きます。...
Page 128 取扱説明書使用最初に設置したとき、または長期間使用しなかった後、最大の真空性能に達するには、漏れがないことを前提として入口を密閉した状態でポンプを約 1 時間運転し続ける必要があります。ポンプを始動する上で特別な手順は要りません。 ON/OFF スイッチを ON にするだけです。警告ポンプは中性、または非腐食性の液体を使用する目的で設計されています。潜在的に爆発性または可燃性を有する物質へのご使用は厳禁です.
Page 129 メンテナンスポンプの操作とメンテナンスを行う担当者は、十分な訓練を受け、事故防止規則を熟知している必要があります。 • 高電圧に接触すると、死亡または重傷を負う可能性があります。警告常に細心の注意を払い、施行されている事故防止規則を遵守してください。 • 機械の電源を入れるときは、可動部品と高電圧に注意してください。 • 運転開始から相当時間が経過したポンプをメンテナンスする場合は、外面の温度が 60℃を超えている場合があるため、ポンプが冷えるのを待ってください。 • メンテナンス作業を開始する前には、必ずポンプの電源を切断してください。修理のためにポンプを工場に返却する前に、この取扱説明書に添付されている注「Request for Return」シートに必要事項を記入し、最寄りの営業所までお送りください。ポンプを発送する前に、用紙のコピーを同梱してください。ポンプを廃棄する場合は、現地の法律および規制に従って廃棄する必要があります。クリーニング低流量用途で長時間動作すると、ポンプ内に塵や破片が蓄積する可能性があります。最適なパフォーマンスを得るために、Agilent では、定期的にポンプを大気中で 1 ～ 2 分間実行してポンプを洗い流すことをお勧めします。特定のプロセスで経験を積むまでは、ポンプを定期的にフラッシュし、特定の条件に応じてこのスケジュールを調整してください。外面 IDP-3 の外面の清掃にはアルコールや中性洗剤のみを使用してください。...
Page 130 取扱説明書処分ラベルに記載の "WEEE" ロゴの意味。下記の記号は、EC WEEE (電気電子機器廃棄物) 指令にしたがって適用されます。この記号 (EC 諸国内のみで有効) は、この記号が適用される製品は、通常の家庭ゴミとあわせて処分してはいけないこと、また個別廃棄物回収システムに送付しなければならないことを表します。そのため、エンドユーザーは、親会社か小売業者かに関係なく、当該機器のサプライヤに連絡の上、契約上の販売条件の確認後、回収および処分プロセスを開始することが求められます。図 12 Logo "WEEE"...
Page 131 取扱説明書サービスお客様が最新交換サービスまたは修理サービスが必要な場合は、現地代理店もしくは下記まで直接ご連絡ください： vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com サービスのために製品を Agilent に返送するには、「Request for Return」フォームに必要事項を記入する必要があります (このマニュアルの最後に記載されています) 。...
Page 132 取扱説明書環境条件、コンプライアンス、およびユーティリティ要件環境条件この装置は、以下のIEC分類に適合しています：汚染度2 （注参照）  設置カテゴリー II （注参照）  装置クラス 1  汚染度とは、絶縁耐力を劣化させる固体、液体、気体が付着している度合いを表注します。度 2 は、通常の室内環境に適用されます。設置カテゴリ II は、インパルス耐電圧の規制を意味します。過電圧カテゴリーとも呼ばれます。カテゴリーII は電気機器に適用されます。この装置は、換気、メンテナンス点検のためのアクセス、および主電源ブレーカースイッチへのアクセスを容易にするために、以下のようなスペースが必要です。装置の四方に 60cm（24 インチ）以上の空間を確保する必要があります。作業室のベンチは、システム全体と他のラボ装置をサポート可能である必要があります。...
Page 133 Protective equipment Safety guideline for Dry Scroll Vacuum Pumps Product Description Transport & Storage Installation Preparation for Installation Unpacking and Inspection Start-up and Operation of the IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump Startup Procedure Shutdown Procedure Maintenance Cleaning Exterior Disposal Service...
Page 134 Instructions for Use About this manual Validity This manual lists the instructions for the users of the IDP-3, with particular reference to the notions relating to safety, operation and first level maintenance, limited to maintenance operations for which the user is responsible.
Page 135 Instructions for Use Definitions and terminology Definition of Caution, Warning and Note Some important references of this manual are highlighted and framed in contrasting color. Caution messages are displayed before procedures which, if not observed, could CAUTION cause damage to the equipment. Warning messages draw the operator's attention to a specific procedure or WARNING practice which, if not performed correctly, could result in serious personal...
Page 136 Warning Symbols The following is a list of symbols that appear in conjunction with warnings on the IDP-3. The hazard they describe is also shown. A triangular symbol indicates a warning. The meanings of the symbols that may appear alongside warnings in the documentation are as follows:...
Page 137 Instructions for Use The following symbol may be used on warning labels attached to the instrument. When you see this symbol, refer to the relevant operation or service manual for the correct procedure referred to by that warning label. The following symbols appear on the instrument for your information. CE certification CSA certification RoHS China certification...
Page 138 Agilent Technologies declines all responsibility for damage to the product or for the physical safety of the operator or third parties deriving from the non-observance of the safety rules indicated in the technical documentation.
Page 139 (LEL) in any system or vacuum pump fault conditions. Improper use Agilent Technologies declines all responsibility, deriving from the improper use of the IDP-3. Improper use will cause all claims for liability and warranties to be forfeited.
Page 140 Instructions for Use Protective equipment The protective equipment of the operators who are operating or executing the maintenance of the pump must always be adequate for the type of operation being performed. Furthermore, it must comply with the safety requirements of the legislation in force in the country in which the machine is used.
Page 141 Instructions for Use CAUTION Risk of injury through sharp edges • Before servicing the pump or before any mounting/ dismounting action of the pump from the system, wait for the complete standstill of the pump. • If necessary, wear protective gloves according to EN 420. Safety guideline for Dry Scroll Vacuum Pumps To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating WARNING...
Page 142 The IDP-3 is a hermetic, dry scroll vacuum pump. This pump is suitable for pumping air or inert gases. This pump is not intended to pump corrosive, pyrophoric, particulate-forming gases or gas mixtures in their flammable and/or combustible range.
Page 143 The pump is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage, which may have occurred during transport, contact your local sales office. Total weight of the packing, IDP-3 pump included, is approximately 10.5 kg (23 lbs).
Page 144 (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. If placing the IDP-3 pump inside an enclosure, provide ample room to supply ambient air to both the front and rear air intakes of the pump.
Page 145 Instructions for Use Do not remove or modify any safety or insulating equipment from the pump. To do so may create a serious safety hazard and may void the warranty. • This pump is capable of pumping and exhausting air and inert gases only. WARNING This pump is not intended to pump corrosive, pyrophoric, particulate-forming gases or gas mixtures in their flammable and/or combustible range.
Page 146 Instructions for Use Start-up and Operation of the IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump Startup Procedure Check that the inlet screen is installed before beginning operation. Do not insert any foreign object through the cooling vents as contact with WARNING the fan blades can result in serious personal injury or damage to the pump.
Page 147 Instructions for Use Figure 13 ON/OFF Power Switch Switch the pump ON using the pump ON/OFF switch for AC versions. The 24 VDC pump switches on once the 24 VDC power is connected to the pump and is switched on. Shutdown Procedure To shutdown the pump: Switch the pump OFF for AC versions.
Page 148 Instructions for Use When first installed or after a long period of non-use, in order to reach maximum vacuum performance, the pump must be left running for about an hour with the inlet sealed assuming there is no leakage. There are no special instructions for starting the pump; it need only be switched on using the ON/OFF switch.
Page 149 Until experience is gained on your specific process, flush the pump regularly and adjust this schedule according to your specific conditions. Exterior The exterior surfaces of the IDP-3 may be cleaned with alcohol or mild detergents only.
Page 150 Instructions for Use Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels. The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Page 151 Should a customer need an advanced exchange or repair service, please contact local distributor or directly e-mail to: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Completion of the “Request for Return” form is required to return your product to Agilent for service (provided at the end of this manual).
Page 152 Instructions for Use Environmental Conditions, Compliance and Utility Requirements Environmental Conditions This equipment meets the following IEC classifications: Pollution Degree 2 (See Note)  Installation Category II (See Note)  Equipment Class 1  Pollution level describes the degree to which a solid, liquid, or gas which NOTE deteriorates dielectric strength is adhering.
Page 153 Technical Information Technical Information Description of the IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump Technical Specifications IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump Outline Drawing IPD-3 Principal Items Electrical Connections Power Cord Power Cord (24 VDC) Grounding Instructions Grounding Instructions (DC version) Extension Cords...
Page 154 IDP-3 Dry Scroll vacuum pump with aluminum exhaust manifold, 100 V motor The IDP-3 is a hermetic, Dry Scroll vacuum pump. This pump is suitable for pumping air or inert gases. The pump is not intended to pump corrosive, explosive,...
Page 155 Technical Information Technical Specifications Table 1 Technical Specifications Interface dimensions See the following figure Peak pumping speed • 50 Hz: 50 L/m, 3.0 m / hr (1.8 cfm) • 60 Hz: 60 L/m, 3.6 m / hr (2.1 cfm) • 24 VDC: 60 L/m, 3.6 m / hr (2.1 cfm) at full speed setting Media...
Page 156 Technical Information Cooling system Air-cooled Weight Pump only: 9.5 kg (21 lbs) Shipping weight: 10.5 kg (23 lbs) Leak rate (with exhaust and gas ballast sealed) <1 x 10 sccs helium Vibration level at inlet, per ISO 10816-1 ≤1.5 mm/sec Noise level, per ISO 11201 ≤55 dBA •...
Page 157 Technical Information IDP-3 Dry Scroll Vacuum Pump Outline Drawing Figure 15 Interface Drawing with Dimensions (AC Version)
Page 158 Technical Information Figure 16 Interface Drawing with Dimensions (DC Version)
Page 159 Technical Information IPD-3 Principal Items 1. Front Cowling Screws; M5 (4) 2. Front Cowling 3. Inlet (NW16) 4. Inlet Screen 5. 10 mm Hose Barb 6. Gas Ballast Port (1/8" NPT adapter provided) 7. Frame 8. Base 9. Mounting Holes; (4) for 1/4" or M6 Hardware 10.
Page 160 Electrical Connections Power Cord Several power cord options are available from your Agilent dealer. Descriptions of the available power cords and their ordering numbers are given in the following table. For high voltage operation, the pump must be connected to the power supply using NOTE a high voltage IEC-320 type power cord of at least 10 A capacity.
Page 161 The IDP-3 24 VDC model also offers variable speed control. Apply 0-10 VDC through Pin1 and Pin 6 of the 9-pin D-sub connector, or white (+) and blue (-) 20AWG wires on the Agilent power cord supplied. The motor runs at full speed if there is no control signal supplied.
Page 162 Technical Information There must be good contact between the metallic case and the external shield of NOTE the wire. Moreover, this contact must be made at least on the controller side. In this way, it is possible to minimize the influence of any external noise that may impact the ability to satisfy the EMC compliance requirements.
Page 163 Technical Information The minimum rotation speed of the motor is 2200 rpm ±10%* when the control is between 0-2.6 V. The motor reaches the full speed when the signal is 8.2 to 10 V. Speed increases proportionally between 2.6 and 8.2 V. See following figure. Figure 20 RPM.
Page 164 Technical Information Improper installation of the grounding plug can result in a risk of WARNING electrical shock. For United States and Canadian installations: • When this product is configured for use on a nominal 120 V circuit, it must be used with a grounding plug that looks like the plug illustrated in the following Figure.
Page 165 Extension Cords If you must use an extension cord with this product: Agilent recommends using only extension cords with a minimum of 16-gage  wire and a maximum length of 25 feet (7.6 m). Use only a 3-wire extension cord that will accept the plug.
Page 166 50 Hz 24 VDC Nominal 21.6 V 24 V 26.4 V Version Start Current The following table lists the typical IDP-3 maximum Starting/Inrush current and duration. Table 4 Typical IDP-3 Maximum Starting/Inrush current 50 Hz 60 Hz Mains Voltage Current (A)
Page 167 Technical Information Mechanical Connections Pump Inlet Use NW16, or larger, clean vacuum hardware with as short a length as practical between the pump and vacuum chamber. Insert a bellows or flexible vacuum hose between the pump and vacuum chamber to provide both vibration isolation and strain relief. Pump Exhaust A female 1/4"...
Page 168 To prevent this in applications where the process is sensitive to pump debris, install a fast acting, automatic, normally closed valve. For your convenience, Agilent offers an optional inlet valve and operator kit for the IDP-3 (see following figure). Figure 22 IDP-3 with Inlet Valve...
Page 169 100 V 50/60 Hz VPI16IDP24DC IDP3D01 24 VDC It is strongly recommended to order the IDP-3 pump with the inlet valve factory- installed to prevent malfunctions due to incorrect installation (see following table). Table 6 IDP-3 Model Numbers with Inlet Valve...
Page 170 Technical Information The IDP-3 Inlet valve Kit technical specifications are shown in the following table. Table 7 Technical Specifications Leak Rate: Body < 1X10 atm cc/sec He Seal <1X10 atm cc/sec He Closing time (after solenoid 25 ms valve power loss) Closing burst 0.01 torr-liter...
Page 171 See following figure. Figure 23 Mount Inlet Valve with IDP-3 Pump If VPI16IDP100, VPI16IDP115, or VPI16IDP220 is purchased separately from the NOTE IDP-3 AC rev pump, follow the installation procedure in the IDP-3 inlet valve kit instruction manual (PN# 699904370).
Page 172 Technical Information 24VDC inlet valve kit for IDP series (VPI16IDP24DC) is shown in the following figure. It is included in the package if a pump with part number IDP3D21 is purchased. To install: Plug the connector at the end of solenoid valve to the DC jacket on the rear cowling.
Page 173 * Identify the cause of the overload. * The IDP-3 is equipped with an auto-reset thermal motor protector. This protector will automatically shut down the pump when it detects an overload condition, and will automatically restart the pump when the motor has cooled to within an...
Page 174 Agilent or an authorized rebuild center. Advance exchange pumps are available to minimize downtime. The parts needed for tip seal replacement on the IDP-3 are available in the kit described in the following table. This kit contains seals and O-rings, and can be obtained from your Agilent dealer.
Page 175 The following figure shows the various components involved in a tip seal replacement procedure. Refer to the figure 26 as you follow the procedure (Video is available at Agilent.com). To remove the worn tip seals: Disconnect the pump from electrical power.
Page 176 Technical Information Figure 25 Tip Seal Seating If the seal's curl seems to have lost some of its curl radius and does not fit into the center of the scroll, re-form the seal end using a pair of round nose pliers to make it fit into the groove.
Page 177 Technical Information 1. Front Cowling Bolts; M5 (4) 2. Front Cowling 3. Frame Bolts; M5 (4) 4. Outboard Housing 5. Tip Seals (Not shown) 6. Main O-ring Parker No. 2-160 (not shown) 7. Locating Pins (2) 8. Orbiting Scroll 9. Frame Figure 26 Exploded View of Pump Bod To test the pump: Run the pump for about 5 seconds.
Page 178 Technical Information Pump Module Replacement The parts and tools required to replace the pump module include: Replacement Module Kit P/N IDP-3  4 mm Allen wrench.  The following figure shows the various components involved in pump module replacement (Video is available at Agilent.com).
Page 179 Technical Information 14 Reinstall the base plate with four M5 socket head screws. 15 Connect the electrical connector on the fan cowling to the wiring harness and reinstall the fan cowling with four M5 socket head screws. 16 Holding the motor cowling in place, stand the pump on the fan cowling. 17 Tighten the four M5 captive screws to secure the motor cowling.
Page 180 Power Cord Set, North America, 15A/125 VAC, 2.0 m 656494255 Power Cord Set, North America, 10A/230 VAC, 2.5 m VPI16IDP220 IDP-3 INLET VALVE KIT, 220-230 V 50/60 Hz VPI16IDP115 IDP-3 INLET VALVE KIT, 115 V 60 Hz VPI16IDP100 IDP-3 INLET VALVE KIT, 100 V 50/60 Hz...
Page 181 Please follow these instructions whenever one of our products needs to be returned. Complete the attached Request for Return form and send it to Agilent Technologies (see below), taking particular care to include the completed Health and Safety declaration Section. No work can be started on your unit until we receive a completed copy of this form.
Page 182 Terms and conditions TERMS AND CONDITIONS Please read the terms and conditions below as they apply to all returns and are in addition to the Agilent Technologies Vacuum Product Division – Products and Services Terms of Sale. Unless otherwise pre-negotiated, customer is responsible for the freight charges for the returning product. Return shipments must comply with all applicable Shipping Regulations (IATA, DOT, etc.) and carrier requirements.
Page 183 NOTE: If a product is received at Agilent which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Agilent employees as well as to any third...
Page 184 In This Book The manual describes the following: Istruzioni per l’uso  Bedienungshandbuch  Notice de mode d’emploi  Manual de istrucciones  用户手册  ユーザーマニュアル  Instruction for Use  Technical information  This information is subject to change without notice. *699904350* Edition 07/23 *699904350*...