Brukerveiledning - Varian 969-9059 Serie Mode D'emploi

GENERELL INFORMASJON
Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.
Brukeren b¯r lese denne brukerveiledningen og all annen
informasjon fra Varian f¯r utstyret tas i bruk. Varian kan ikke
holdes ansvarlig for hendelser som skjer p grunn av
manglende oppf¯lging av disse instruksjonene, selv delvis,
feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av
utstyret eller handlinger som p noen mÂte er i strid med
nasjonale bestemmelser.
Turbo-V2000HT serien med pumper er turbo-molekulÊre
pumper for bruk i h¯y- eller ultrah¯ye vakuumanlegg, og kan
pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke
beregnet for  pumpe vÊsker eller faste partikler.
Pumpingen oppnÂs med en h¯yhastighetsturbin (maks. 33000
opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V2000HT
pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for
anlegg med behov for "rene" vakuum.
De f¯lgende avsnitt inneholder all informasjon som er
n¯dvendig for  sikre brukeren nÂr utstyret er i bruk. For mer
detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon".
Denne manualen bruker f¯lgende standardprotokoll:
! ! ! !
ADVARSEL!
Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet
til en spesiell fremgangsmÂte eller praksis som, hvis den ikke
f¯lges, kan medf¯re alvorlige skader.
! ! ! !
FORSIKTIG !
Denne advarselen vises foran fremgangsmÂter som, dersom
de ikke f¯lges, kan f¯re til at utstyret skades.
MERK
Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra
teksten.
LAGRING
For  garantere optimal drift og pÂlitelighet for Varian turbo-
molekylÊre pumper m f¯lgende anvisninger f¯lges:
•
Under transport, flytting og lagring av pumpene m ikke
f¯lgende milj¯forhold overstiges:
•
Temperatur: fra ñ20 MC til 70 MC.
•
Relativ fuktighet: fra 0 til 95% (uten kondensering).
•
Kunden m alltid soft-starte de turbomolekylÊre pumpene
nÂr de mottas og startes opp f¯rste gang.
•
Lagringstiden for en turbomolekylÊr pumpe er 10 mÂneder
fra sendedato.
! ! ! !
FORSIKTIG!
Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger mÂ
pumpen returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale
Varian-forhandleren for informasjon.
KLARGJÿRE TIL INSTALLASJON
Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser
denne tegn p skader som kan ha oppstÂtt under transporten,
m du ta kontakt med det lokale salgskontoret.
NÂr pumpen pakkes ut, m du se til at den ikke slippes ned
eller utsettes for noen form for st¯t.
Emballasjen m ikke kastes p en ulovlig mÂte. Alle materialer
er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399
om milj¯beskyttelse.
! ! ! !
FORSIKTIG !
For  unng avgassingsproblemer, m ingen del som skal
utsettes for vakuum hÂndteres med bare hendene. Bruk alltid
hansker eller andre og passende verneutstyr.
Normale milj¯messige
pumpen. Likevel anbefaler vi  holde den lukket til den er
montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for
nedst¯ving.
INSTALLASJON
! ! ! !
Med tanke p pumpens vekt skal den bare hÂndteres ved bruk
av dertil egnede l¯fte- og flyttingsanordninger. Ved behov mÂ
man bruke ¯yeboltene som skal skrues fast i de gjengete
hullene M8 p pumpehuset.
! ! ! !
Fjern tapen og ta ut beskyttelsesproppen f¯rst nÂr
turbopumpen skal sluttes til systemet.
Forsikre deg om at pumpen er egnet for bruken. Pumpen er
produsert for  brukes i pumpesystemer for PVD, eller generelt
hvor det kreves et "rent" vakuum. Kontakt Varian Vacuum
Technologies eller din forhandler for annet bruk.
Ikke installer eller bruk pumpen i milj¯er som utsettes for regn,
sn¯ eller is, st¯v, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige milj¯er
eller milj¯er med stor brannfare.
17

BRUKERVEILEDNING

MERK
belastninger kan ikke ¯delegge
ADVARSEL!
FORSIKTIG !
87-900-969-01