Varian 969-9059 Serie Mode D'emploi page 15

Assegure-se de que a bomba È idÛnea para o tipo de
aplicaÁ„o desejado. A bomba foi concebida para o uso em
sistema de bombeamento para PVD ou, em geral, para
aplicaÁıes que necessitam de v·cuo ìlimpoî. Para quaisquer
outros tipos de aplicaÁ„o, contacte a Varian Vacuum
Technologies ou o seu fornecedor de confianÁa.
N„o instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosfÈricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explos„o ou
com elevado risco de incÍndio.
NBO
!
! ! ! !
PERIGO!
Para evitar lesıes ‡ pessoa nunca colocar, por qualquer
motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da
turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecÁ„o
(opcional). Se È utilizado um amortecedor de vibraÁıes ou
um respirador met·lico flexÌvel no bocal de entrada, fixar
sempre a turbobomba ‡ base.
Durante o funcionamento È necess·rio que sejam respeitadas
as seguintes condiÁıes ambientais:
- press„o m·xima: 2 bar alÈm da press„o atmosfÈrica
- temperatura: de + 5iC a + 35iC
- humidade relativa: 0 - 95% (n„o condensante).
Existindo campos magnÈticos, a bomba deve ser protegida
com blindagens adequadas. Ver o apÍndice "Technical
Information" para maiores detalhes.
As bombas turbomoleculares da sÈrie Turbo-V2000HT devem
ser utilizadas somente com um dos controladores Varian
especÌficos (sÈrie 969-9462, 969-9562) e devem ser ligadas a
uma bomba prim·ria (ver
Information").
A turbobomba pode ser instalada em qualquer posiÁ„o.
! ! ! !
PERIGO!
O nÌvel de potÍncia fornecido ‡ bomba deve ser o indicado
para o tipo de g·s aspirado. Operando com o controller (con-
sultar o manual do controller) È possÌvel seleccionar AR ou
ARGON (prÈ-definido: ARGON). Para utilizar a bomba com
outros tipos de gases, consultar a Varian.
Fixar a turbobomba em posiÁ„o est·vel ligando a flange de
entrada da turbobomba a uma contraflange fixa capaz de
resistir a um torque de 30000 Nm ao redor do prÛprio eixo.
A turbobomba com flange de entrada ISOF deve ser fixada ‡
c‚mara de v·cuo atravÈs de 12 parafusos M10 de aÁo, classe
n„o inferior a 8,8 ( = 800 N/mm
s
r
de aperto de 22 Nm.
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada
‡ c‚mara de v·cuo atravÈs de parafusos especÌficos da
mec‚nica Varian. Para maiores detalhes, ver o apÍndice
"Technical Information".
Para a instalaÁ„o dos acessÛrios opcionais, ver "Technical
Informationî.
esquema em "Technical
2
). Aconselhamos um torque
UTILIZA«BO
Todas as instruÁıes para o correcto funcionamento da
turbobomba est„o contidas no manual da unidade de controlo.
Ler atentamente este manual antes da utilizaÁ„o.
Para atingir melhores pressıes limite È possÌvel aquecer o
invÛlucro da bomba utilizando o aquecedor opcional. Durante a
fase de aquecimento da c‚mara de v·cuo, a temperatura da
flange de entrada e do rotor n„o deve ultrapassar 120 WC.
Utilizar sempre o resfriamento com ·gua durante as operaÁıes
de aquecimento.
! ! ! !
N„o tocar a turbobomba e os seus eventuais acessÛrios
durante as operaÁıes de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesıes ‡s pessoas.
Para a saÌda de ar da bomba utilizar ar ou g·s inerte sem
poeiras ou partÌculas. A press„o de entrada atravÈs da porta
especÌfica deve ser inferior a 2 bar (alÈm da press„o
atmosfÈrica).
Evitar colisıes, oscilaÁıes ou deslocamentos bruscos da
turbobomba quando est· a funcionar. Os rolamentos poderiam
sofrer danos.
Para bombear gases agressivos, estas bombas est„o
equipadas com uma porta especÌfica atravÈs da qual È
necess·rio fornecer ‡ bomba um fluxo de g·s inerte (Azoto ou
Argon) para proteger os rolamentos (ver o apÍndice "Technical
Information").
! ! ! !
Quando a bomba È utilizada para bombear gases tÛxicos,
inflam·veis ou radioactivos,
adequados tÌpicos para cada g·s. N„o usar a bomba na
presenÁa de gases explosivos.
MANUTEN«BO
As bombas da sÈrie Turbo-V2000HT n„o requerem qualquer
manutenÁ„o. Qualquer operaÁ„o deve ser
pessoal autorizado.
! ! ! !
Antes de efectuar qualquer operaÁ„o na turbobomba desligar o
conector de alimentaÁ„o, introduzir ar na bomba abrindo a
v·lvula especÌfica, aguardar atÈ a completa paragem do rotor e
atÈ que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 iC.
Em caso de defeito È possÌvel usufruir do serviÁo de reparaÁ„o
Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite
obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com
defeito.
Antes de enviar ao construtor uma bomba para reparaÁıes ou
advanced exchange service, È indispens·vel preencher e
enviar ao escritÛrio local de vendas a ficha "SeguranÁa e
Sa˙de" anexa ao presente manual de instruÁıes. A cÛpia da
mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da
expediÁ„o.
Caso uma bomba deva ser destruÌda, proceder ‡ sua
eliminaÁ„o respeitando as normas nacionais especÌficas.
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INSTRU«'ES PARA O USO
PERIGO!
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ATEN«BO
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ATEN«BO
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! ! ! !
ATEN«BO
!
PERIGO!
seguir os procedimentos
efectuada por
PERIGO!
NOTA
87-900-969-01