Table des Matières
Publicité
Varmista,
ett‰
pumppu
soveltuu tarkoitettuun k‰yttˆˆn.
Pumppu
on
suunniteltu
pumppausj‰rjestelmiss‰
tai
vaaditaan "puhdasta" tyhjiˆt‰. Ota yhteys Varian Vacuum
Technologies -yritykseen tai j‰lleenmyyj‰‰n, jos pumppua
halutaan k‰ytt‰‰ muihin tarkoituksiin.
Pumppua ei tule asentaa eik‰ k‰ytt‰‰ ymp‰ristˆss‰, miss‰ se
joutuu kosketuksiin sateen, j‰‰n tai lumen, pˆlyn tai
aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa
r‰j‰hdys- tai tulipalovaara.
EI!
! ! ! !
VAARA!
ƒl‰ koskaan aseta sormiasi tai muita esineit‰ turbopumpun
syˆttˆaukon sis‰‰n, sill‰ ne saattavat ruhjoutua pahasti.
Suosittelemme
pikkuisen
(valinnainen),
mik‰li
t‰rin‰nvaimenninta tai taipuisia metallipalkeita. Kiinnit‰
turbopumppu aina jalustaan kiinni.
K‰ytˆn aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ymp‰ristˆ‰
koskevia ehtoja:
-
maksimipaine: 2 bar, paitsi atmosf‰‰rinen paine
-
l‰mpˆtila: + 5PC - +35PC
-
suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivist‰v‰).
Mik‰li magneettikenttij‰ on l‰sn‰ pumppu tulee suojata t‰h‰n
tarkoitukseen olevilla suojilla. Lis‰tietoja lˆytyy ìTechnical
Informationì-liitteest‰.
Sarjan
V2000HT
turbomolekyylipumppuja
ainoastaan niihin sopivien varian valvojien kanssa (sarja 969-
9462,
969-9562)
ja
niiden
p‰‰pumppuun (katso kaaviota osasta "Technical Information").
Turbopumppu voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.
! ! ! !
Pumpun
antama
tehotaso
kaasutyyppiin. Valitse valvojan (ks. valvojan k‰sikirja) avulla
ILMA tai ARGON (oletus: ARGON). Jos haluat k‰ytt‰‰
pumppua muilla kaasuilla, ota yhteys Varian-yritykseen.
Turbopumppu tulee kiinnitt‰‰ vakaaseen asentoon liitt‰m‰ll‰
turbopumpun sis‰‰ntulolaippa kiinte‰‰n vastalaippaan, joka
kannattaa 30000 Nm momenttia akselinsa ymp‰rill‰, tai
k‰ytt‰en
tarkoitukseen
kiinnitt‰miseen.
ISOF-imulaipalla
varustettu
tyhjˆkammioon 12 ter‰sruuvilla M10, joiden luokka ei ole alle
8.8
(
=
800
N/mm
s
r
kiristysmomenttia.
Torbopumppu
ConFlat
sia‰‰ntilolaipalla
tyhjiˆkammariin sopivien Varian mekaanisien varusteiden
avulla. Lis‰tietoja lˆytyy ìTechnical Informationî. ñ liittest‰.
Lis‰laitteiden asennuksen ohjeet ovat n‰ht‰viss‰ "Technical
Information" osassa.
k‰ytett‰v‰ksi
PVD-
yleens‰
tarkoituksiin,
joissa
suojaverkon
k‰yttˆ‰
syˆttˆaukossa
k‰ytet‰‰n
tulee
k‰ytt‰‰
t‰ytyy
olla
yhdistettyin‰
VAARA!
tulee
sovittaa
pumpattuun
sopivia
lis‰varusteita
turbopumppu
tulee
kiinnitt‰‰
2
).
Suosittelemme
22
tulee
kiinnitt‰‰
KƒYTT÷
Turbopumpun
lˆytyv‰t valvojan k‰sikirjasta.
Lukekaa huolellisesti kyseinen k‰sikirja ennen k‰yttˆˆnottoa.
Parempien rajapaineiden saavuttamiseksi pumpun kotelo
voidaan
kuumentaa
kuumenninta. Tyhjiˆkammion mahdollisen l‰mmityksen aikana
sis‰‰ntulolaipan ja roottorin l‰mpˆtila ei saa olla yli 120PC.
K‰ytt‰k‰‰ aina kuumentamisen aikana vett‰ j‰‰hdytykseen.
ƒlk‰‰
koskeko
kuumentamisen aikana. Korkea l‰mpˆtila voi saada aikaan
henkilˆiden loukkaantumisia.
P‰‰stett‰ess‰ pumppuun ilmaa tulee k‰ytt‰‰ ilmaa tai
jalokaasua, joissa ei ole pˆly‰ tai hiukkasia.
Sis‰‰njohtavan paineen siihen sopivan aukon l‰pi t‰ytyy olla
alle 2 bar:ia (paitsi atmosf‰‰rinen paine).
V‰lt‰ kolhuja, heiluntaa tai ‰kkiliikkeit‰ turbopumpun toiminnan
aikana, sill‰ laakerit voivat vahingoittua.
Aggressiivisten kaasujen pumppausta varten n‰m‰ pumput on
varustettu sopivalla aukolla jonka l‰pi tulee kuljettaa pumppuun
ei-aktiivisia kaasuja (typpi tai argooni) jotta laakerit suojataan
(katso liite ìTechnical informationî).
Jolloin pumppua k‰ytet‰‰n myrkyllisten, tulenvaarallisten ja
radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen tulee seurata joka
kaasuun sopivaa menettelytapaa.
ƒlk‰‰ k‰yt‰ pumppua r‰j‰hdysherkkien kaasujen l‰hell‰.
HUOLTO
Sarjan Turbo-V2000HT pumput eiv‰t vaadi lainkaan huoltoa.
Mink‰ tahansa toimenpiteen t‰ytyy suorittaa siihen valtuutettu
henkilˆ.
Ennen mink‰‰n tyyppist‰ toimenpidett‰ ottakaa pois p‰‰lt‰
verkkovirta,
p‰‰st‰k‰‰
tarkoitettu
venttiili
pys‰htymist‰ ja ett‰ pumpun pintal‰mpˆ on alle 50P.
Laitteen vahingoittuessa on mahdollista k‰ytt‰‰ Varianin
korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka
mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen
tilalle.
sen
Ennen pumpun l‰hett‰mist‰ valmistajalle
advanced
exchange
t‰ytett‰v‰
ja
Nm
"Turvallisuus
ja
ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liitt‰‰
pumpun pakkaukseen ennen sen l‰hett‰mist‰.
Mik‰li
pumppu
lains‰‰d‰nnˆn m‰‰r‰‰m‰ll‰ tavalla.
20
KƒYTT÷OHJEET
oikeaoppiseen
k‰yttˆˆn
tarvittavat
k‰ytt‰m‰ll‰
lis‰tilauksesta
! ! ! !
VAARA!
turbopumppuun
tai
! ! ! !
HUOMIO!
! ! ! !
HUOMIO!
! ! ! !
HUOMIO!
! ! ! !
VAARA!
! ! ! !
VAARA!
pumppuun
ilmaa
ja
odottakaa
roottorin
HUOMAUTUS
service‰
varten,
on
toimitettava
paikalliseen
Terveys"-kaavake,
joka
t‰ytyy
romuttaa,
toimikaa
87-900-969-01
ohjeet
saatavaa
sen
lis‰osiin
avaten
siihen
t‰ydellist‰
korjausta tai
ehdottomasti
myyntitoimistoon
lˆytyy
liitteen‰
kansallisen
Publicité
Table des Matières
