Varian 969-9059 Serie Mode D'emploi page 23

Under bruk m f¯lgende forhold respekteres:
- maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfÊrisk trykk)
- temperatur: fra +5MC til +35MC
- relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens).
NEI!
! ! ! !
ADVARSEL!
For  unng personskader m du aldri stikke inn fingrene
eller annet i turbopumpens inngangsÂpning. Vi anbefaler
bruk av beskyttelsesnettet
vibrasjonsdemper eller en fleksibel metallbelge brukes pÂ
inngangsÂpningen m turbopumpen
fundamentet.
Ved magnetfelt m pumpen beskyttes av dertil egnede
skjermer. Se ìTeknisk informasjonî for detaljer.
Turbo-V2000HT serien turbo-molekulÊre pumper m kun
brukes med en av de spesielle Varian kontrollere (serie 969-
9462, 969-9562), og m koples til hovedpumpen (se skjema i
"Teknisk informasjon ").
Turbopumpen kan monteres i en valgfri stilling.
! ! ! !
ADVARSEL!
EffektnivÂet til pumpen m stilles inn i forhold til gassen som
pumpes. Det er mulig  velge LUFT eller ARGON ved hjelp av
styreenheten (se styreenhetens veiledning) (standardinnstilling:
ARGON). Ta kontakt med Varian dersom pumpen skal brukes
til andre gasstyper.
Fest turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen
festet mot en koplingsflens med et dreiemoment p 30000 Nm
rundt aksen.
Turbopumpen med ISOF inngangsflens m festes til vakuum-
kammeret med 12 M10 stÂlskruer med en styrkeklasse pÂ
2
minst 8.8 (s = 800 N/mm ). Det anbefales et strammemoment
r
p 22 Nm.
Turbopumpen med innl¯psflens ConFlat skal festes pÂ
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle lÂsedelene fra
Varian. For detaljer henvises det til ìTechnical Informationî.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk
informasjon.
(tilbeh¯r). Dersom en
alltid festes til
BRUK
Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i
kontrollenhetens manual.
Les n¯ye gjennom denne manualen f¯r pumpen tas i bruk.
For  ¯ke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en
varmer som kan fÂs som ekstrautstyr. I tilfelle trykkammeret
varmes opp, m ikke temperaturen til inngangsflensen og
rotoren overskride 120MC.
Bruk alltid vannavkj¯ling under oppvarmingen..
! ! ! !
Ikke ber¯r turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen. De
brannskader.
! ! ! !
Bruk st¯v- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av
pumpen. Trykket ved inngangen m ikke vÊre mindre enn 2
bar (over atmosfÊrisk trykk).
! ! ! !
Unng st¯t, svingninger eller plutselige bevegelser av
turbinpumpen nÂr den er i funksjon. Lagrene kan skades.
! ! ! !
Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med
en spesiell Âpning. Til denne Âpningen skal flyt av inaktive
gasser (argon eller kvelstoff) koples for  beskytte lagrene (se
ìTeknisk informasjonî).
! ! ! !
NÂr pumpen brukes for  pumpe giftige, brannfarlige eller
radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte
gasstypene f¯lges.
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige milj¯er.
VEDLIKEHOLD
Turbo-V2000HT serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid
p pumpen m kun utf¯res av autorisert personell.
! ! ! !
F¯r noe arbeid gj¯res p turbopumpen m den frakoples
tilf¯rselen, den m luftes ved  Âpne den aktuelle ventilen og
deretter vente til
overflatetemperatur er lavere enn 50MC.
Dersom pumpen stanser, m du ta kontakt med Varians
reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice
som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ¯delagte
pumpen.
F¯r pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller
som innbytte for en overhalt pumpe, m det vedlagte skjemaet
"Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale
salgskontoret. En kopi av dette arket m vedlegges pumpen
som sendes tilbake.
Dersom en pumpe skal kasseres, m dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.
18
BRUKERVEILEDNING
ADVARSEL!
h¯ye temperaturene kan
FORSIKTIG!
FORSIKTIG!
FORSIKTIG!
ADVARSEL!
ADVARSEL!
rotoren har stanset og
MERK
87-900-969-01
f¯re til
pumpens