Bruksanvisning - Varian 969-9059 Serie Mode D'emploi

ALLMƒN INFORMATION
Utrustningen ‰r avsedd
Anv‰ndaren bˆr l‰sa denna bruksanvisning, samt ˆvrig
dokumentation frÂn Varian fˆre anv‰ndning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar fˆr skador helt eller delvis till fˆljd av
Âsidos‰ttande av instruktionerna, ol‰mplig anv‰ndning av
person utan tillr‰cklig kunskap, obehˆrigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot g‰llande lokala fˆreskrifter.
Pumparna i Turbo-V2000HT-serien ‰r turbomolekyl‰ra pumpar
fˆr hˆga och mycket hˆga vakuumtill‰mpningar. De kan
anv‰ndas fˆr pumpning
gasfˆreningar. De l‰mpar sig inte fˆr pumpning av v‰tskor eller
fasta partiklar.
Pumpningen Âstadkoms med hj‰lp av en hˆgvarvig turbin (max
33000 varv/minut) som drivs av en trefas hˆgeffektsmotor. Inga
tillsats‰mnen anv‰nds i Turbo-V2000HT -seriens pumpar, som
d‰rfˆr passar fˆr till‰mpningar som kr‰ver ett "rent" vakuum.
De fˆljande avsnitten innehÂller all information som behˆvs fˆr
att garantera operatˆrens s‰kerhet under anv‰ndningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information".
I bruksanvisningen anv‰nds fˆljande standardrubriker:
! ! ! !
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatˆren om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete mÂste utfˆras
exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk fˆr svÂra
personskador.
! ! ! !
VIKTIGT !
Detta varningsmeddelande visas framfˆr procedurer som
mÂste fˆljas exakt fˆr att inte risk fˆr maskinskada skall uppstÂ.
OBSERVERA
Detta visar p viktig information i texten.
F÷RVARING
Respektera fˆljande anvisningar fˆr att garantera optimal pre-
standa och drifts‰kerhet fˆr Varian turbomolekyl‰ra pumpar:
•
Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska fˆljande
omgivningsfˆrhÂllanden respekteras:
•
TemperaturomrÂde: -20 PC till +70 PC.
•
Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).
•
Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekyl‰ra pumparna
n‰r de mottas och s‰tts i drift fˆr fˆrsta gÂngen.
•
De turbomolekyl‰ra pumparna kan lagras i 10 mÂnader
frÂn leveransdatumet.
! ! ! !
VIKTIGT !
Om lagringstiden av nÂgon anledning ‰r l‰ngre mÂste pumpen
skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala
Varian-Âterfˆrs‰ljaren fˆr ytterligare information.
F÷RBEREDELSER F÷R INSTALLATIONEN
Pumpen levereras i ett s‰rskilt skyddande emballage. Kontakta
det lokala fˆrs‰ljningskontoret om emballaget visar tecken pÂ
skador som kan ha uppstÂtt under transporten.
Se till att pumpen inte tappas eller uts‰tts fˆr stˆtar vid
uppackningen.
Kasta inte packmaterialet
Âtervinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljˆskydd.
! ! ! !
VIKTIGT !
Komponenter som skall uts‰ttas fˆr vakuum fÂr inte hanteras
med bara h‰nder p g a kontamineringsrisken. Anv‰nd alltid
handskar eller liknande skydd.
fˆr yrkesm‰ssig anv‰ndning.
av alla typer av gas eller
i soporna. Materialet
Normal pÂverkan frÂn omgivningen kan inte skada pumpen.
Trots det ‰r det s‰krast att hÂlla den st‰ngd tills den har
installerats i systemet, fˆr att fˆrhindra att det kommer in damm
eller annat i den.
INSTALLATION
Med tanke p pumpens vikt fÂr den endast hanteras med hj‰lp
av d‰rtill avsedda lyft- och flyttningsanordningar Skruva om det
behˆvs i ˆglebultarna i de g‰ngade hÂlen M6 p pumpens
hˆlje.
Ta bort tejpen och skyddsproppen fˆrst n‰r turbopumpen ska
anslutas till systemet.
‰r
Kontrollera att
anv‰ndningsomrÂde. Pumpen ‰r konstruerad fˆr anv‰ndning i
pumpsystem fˆr PVD eller vanliga anv‰ndningsomrÂden som
kr‰ver ett "rent"
Technologies eller din leverantˆr om pumpen ska anv‰ndas fˆr
andra ‰ndamÂl.
15

BRUKSANVISNING

OBSERVERA
! ! ! !
VARNING!
! ! ! !
VIKTIGT !
pumpen ‰r l‰mplig
vakuum. Kontakta Varian
87-900-969-01
fˆr dess
Vacuum