Table des Matières
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Assurez-vous que la pompe est adaptÈe ‡ l'application ‡ la-
quelle vous la destinez. La pompe a ÈtÈ conÁue pour Ítre utili-
sÈe dans des systËmes de pompage pour PVD ou d'une faÁon
plus gÈnÈrale pour des applications impliquant un vide "propre".
Pour toute autre application, veuillez contacter Varian Vacuum
Technologies ou votre fournisseur habituel.
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux expo-
sÈs ‡ des agents atmosphÈriques (pluie, gel, neige), ‡ des
poussiËres, ‡ des gaz de combat ainsi que dans des milieux
explosifs ou ‡ risque ÈlevÈ d'incendie.
NON!
!
DANGER!
Pour Èviter tout risque de lÈsion aux personnes, ne jamais
introduire, sous aucun prÈtexte, ni les doigts ni aucun objet
dans la bouche de la turbopompe. Il est conseillÈ díutiliser le
filet de protection fourni en option. En cas díutilisation díun
amortisseur de vibrations ou díun soufflet mÈtallique flexible
sur la bouche díentrÈe, toujours bien fixer la turbopompe ‡ sa
base.
Pendant le fonctionnement, il est nÈcessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes:
-
pression maxi: 2 bar au-del‡ de la pression atmosphÈrique
-
tempÈrature: de +5QCQ ‡ +35QC
-
humiditÈ relative: 0 - 95% (non condensante)
En prÈsence de champs magnÈtiques, la pompe doit Ítre pro-
tÈgÈe par des Ècrans appropriÈs. Pour tous autres dÈtails, se
reporter ‡ l'appendice "Technical Information".
Les pompes turbomolÈculaires de la sÈrie Turbo-V2000HT ne
doivent Ítre utilisÈes qu'avec l'un des contrÙleurs spÈciaux Va-
rian (sÈrie 969-9462, 969-9562) et elles doivent Ítre connec-
tÈes ‡ une pompe primaire (voir schÈma dans "Technical
Information").
La turbopompe peut Ítre installÈe dans n'importe quelle position.
!
DANGER!
Le niveau de puissance fourni ‡ la pompe doit Ítre adaptÈ au
type de gaz pompÈ. Le contrÙleur (voir manuel correspondant)
permet de sÈlectionner AIR ou ARGON (par dÈfaut : ARGON).
Pour l'utilisation de la pompe avec des gaz diffÈrents, veuillez
contacter Varian.
Fixer la turbopompe dans une position stable, en reliant la bride
d'entrÈe de la turbopompe ‡ une contre-bride fixe pouvant sup-
porter un couple de 30000 Nm autour de son axe.
La turbo pompe avec collerette díentrÈe ISOF doit Ítre fixÈe ‡
la chambre ‡ vide ‡ líaide de 12 vis M10 en acier díune classe
de rÈsistance minimum de 8.8 (
de serrer ‡ un couple de 22 Nm.
La turbopompe ‡ bride d'entrÈe Conflat doit Ítre fixÈe ‡ la
chambre ‡ vide ‡ l'aide des ÈlÈments mÈcaniques Varian prÈ-
vus ‡ cet effet. Pour tous autres dÈtails, se reporter ‡ l'appen-
dice "Technical Information".
Pour l'installation des accessoires en option, voir "Technical
Information".
2
= 800 N/mm
). Il est conseillÈ
s
r
UTILISATION
Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la tur-
bopompe sont contenues dans la notice de l'unitÈ de contrÙle. Il
est conseillÈ de lire attentivement cette notice avant d'utiliser la
pompe. Pour atteindre de meilleures pressions limite, il est
possible de chauffer le carter de la pompe ‡ l'aide du rÈchauf-
feur optionnel. Pendant le chauffage Èventuel de la chambre du
vide, la tempÈrature de la bride d'entrÈe et celle du rotor ne
doivent pas dÈpasser 120QC. Utiliser toujours le refroidissement
par eau pendant les opÈrations de chauffage.
!
...viter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
Èventuels pendant les opÈrations de chauffage. La tempÈrature
ÈlevÈe peut causer des lÈsions aux personnes.
!
Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du
gaz inerte exempt de poussiËre ou de particules. La pression
d'entrÈe ‡ travers la porte prÈvue ‡ cet effet doit Ítre infÈrieure
‡ 2 bar au-del‡ de la pression atmosphÈrique.
!
Lorsque la turbopompe fonctionne, Èviter tout choc, oscillation
ou dÈplacement brusque car les paliers pourraient se dÈtÈrio-
rer.
!
Pour le pompage de gaz de combat, ces pompes sont dotÈes
d'une porte spÈciale ‡ travers laquelle il est nÈcessaire de fournir
‡ la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour protÈger
les coussinets (voir l'appendice "Technical Information").
!
Lorsque la pompe est utilisÈe pour le pompage de gaz toxi-
ques, inflammables ou radioactifs, suivre les procÈdures typi-
ques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en prÈsence de
gaz explosifs.
ENTRETIEN
Les pompes de la sÈrie Turbo-V2000HT n'exigent aucun autre
entretien. Toute opÈration doit Ítre effectuÈe par un personnel
agrÈÈ.
!
Avant de procÈder ‡ toute opÈration sur la turbopompe, dÈ-
brancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant la
soupape prÈvue ‡ cet effet et attendre jusqu'‡ l'arrÍt complet du
rotor et jusqu'‡ ce que la tempÈrature superficielle de la pompe
soit infÈrieure ‡ 50QC.
En cas de panne, il est possible de s'adresser au service
rÈparations Varian ou bien au "Varian advanced exchange
service" qui permet d'obtenir une pompe rÈgÈnÈrÈe ‡ la place
de la pompe endommagÈe.
Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des rÈpara-
tions ou un "advanced exchange service", remplir et faire par-
venir au bureau local Varian la fiche "SÈcuritÈ et SantÈ"
annexÈe ‡ la prÈsente notice d'instructions. Une copie de cette
fiche devra Ítre mise dans l'emballage de la pompe avant l'ex-
pÈdition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procÈder ‡ son Èlimination
conformÈment aux rÈglementations nationales en la matiËre.
6
MODE DíEMPLOI
DANGER!
ATTENTION !
ATTENTION !
ATTENTION !
DANGER!
DANGER!
NOTE
87-900-969-01
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