Table des Matières
Publicité
ALLMƒN INFORMATION
Utrustningen
‰r
avsedd
Anv‰ndaren bˆr l‰sa denna bruksanvisning, samt ˆvrig
dokumentation frÂn Varian fˆre anv‰ndning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar fˆr skador helt eller delvis till fˆljd av
Âsidos‰ttande av instruktionerna, ol‰mplig anv‰ndning av
person utan tillr‰cklig kunskap, obehˆrigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot g‰llande lokala fˆreskrifter.
Pumparna
i
Turbo-V1000
turbomolekyl‰ra pumpar fˆr hˆga och mycket hˆga
vakuumtill‰mpningar
inom
anv‰ndas fˆr pumpning av alla typer av gas eller
gasfˆreningar. De l‰mpar sig inte fˆr pumpning av v‰tskor
eller fasta partiklar.
Pumpningen Âstadkoms med hj‰lp av en hˆgvarvig turbin (max
38000 varv/minut) som drivs av en trefas hˆgeffektmotor. Inga
tillsats‰mnen anv‰nds i Turbo-V1000 ICE-E series-seriens
pumpar, som d‰rfˆr passar fˆr till‰mpningar som kr‰ver ett
"rent" vakuum.
De fˆljande avsnitten innehÂller all information som behˆvs fˆr
att garantera operatˆrens s‰kerhet under anv‰ndningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information".
I bruksanvisningen anv‰nds fˆljande standardrubriker:
! ! ! !
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatˆren om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete mÂste utfˆras
exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk fˆr svÂra
personskador.
! ! ! !
Detta varningsmeddelande visas framfˆr procedurer som
mÂste fˆljas exakt fˆr att inte risk fˆr maskinskada skall uppstÂ.
OBSERVERA
Detta visar p viktig information i texten.
F÷RVARING
Fˆljande krav p omgivningsfˆrhÂllanden g‰ller vid transport
och fˆrvaring av pumpen:
−
temperatur: frÂn -20SC till +70SC
−
relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)
Efter lÂng fˆrvaring skall pumpen startas med MJUKSTART -
metoden (se bruksanvisningen fˆr styrenheten).
F÷RBEREDELSER F÷R INSTALLATIONEN
Pumpen levereras i ett s‰rskilt skyddande emballage. Kontakta
det lokala fˆrs‰ljningskontoret om emballaget visar tecken pÂ
skador som kan ha uppstÂtt under transporten.
Se till att pumpen inte tappas eller uts‰tts fˆr stˆtar vid
uppackningen.
Kasta
inte
packmaterialet
Âtervinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljˆskydd.
! ! ! !
Komponenter som skall uts‰ttas fˆr vakuum fÂr inte hanteras
med bara h‰nder p g a kontamineringsrisken. Anv‰nd alltid
handskar eller liknande skydd.
fˆr
yrkesm‰ssig
anv‰ndning.
ICE
E-series
serien
halvledarindustrin.
De
kan
VIKTIGT
i
soporna.
Materialet
VIKTIGT
‰r
Normal pÂverkan frÂn omgivningen kan inte skada pumpen.
Trots det ‰r det s‰krast att hÂlla den st‰ngd tills den har
installerats i systemet, fˆr att fˆrhindra att det kommer in damm
eller annat i den.
INSTALLATION
Pumpen mÂste p.g.a. sin vikt manˆvreras med speciella lyft-
och flyttutrustningar.
Installera inte pumpen i miljˆer som uts‰tts fˆr pÂverkan frÂn
atmosf‰ren (regn, snˆ, is), damm, aggressiva gaser, och inte
heller i explosiv eller brandfarlig miljˆ.
Fˆljande krav p omgivningsfˆrhÂllanden g‰ller vid drift:
−
maximitryck: 2 bar (ˆver atmosf‰riskt tryck)
−
temperatur: frÂn +5SC till +35SC
−
relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)
Ta inte bort tejpen och skyddskÂpan innan turbopumpen har
anslutits till systemet.
‰r
15
BRUKSANVISNING
OBSERVERA
! ! ! !
VARNING!
! ! ! !
VIKTIGT
87-900-942-01(A)
Publicité
Table des Matières
