Brukerveiledning - Varian Turbo-V 1000 ICE E Série Mode D'emploi

GENERELL INFORMASJON
Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.
Brukeren b¯r lese denne brukerveiledningen og all annen
informasjon fra Varian f¯r utstyret tas i bruk. Varian kan ikke
holdes ansvarlig for hendelser som skjer p grunn av
manglende oppf¯lging av disse instruksjonene, selv delvis,
feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av
utstyret eller handlinger som p noen mÂte er i strid med
nasjonale bestemmelser.
Turbo-V1000 ICE E-series serien med pumper er turbo-
molekulÊre pumper for bruk i h¯y- eller ultrah¯ye
vakuumanlegg innenfor halvlederindustrien, og kan pumpe
nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke
beregnet for  pumpe vÊsker eller faste partikler.
Pumpingen oppnÂs med en h¯yhastighetsturbin (maks. 38000
opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V1000 ICE-E
series pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor
egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum.
De f¯lgende avsnitt inneholder all informasjon som er
n¯dvendig for  sikre brukeren nÂr utstyret er i bruk. For mer
detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon".
Denne manualen bruker f¯lgende standardprotokoll:
! ! ! !
ADVARSEL!
Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet
til en spesiell fremgangsmÂte eller praksis som, hvis den ikke
f¯lges, kan medf¯re alvorlige skader.
! ! ! !
FORSIKTIG
Denne advarselen vises foran fremgangsmÂter som, dersom
de ikke f¯lges, kan f¯re til at utstyret skades.
MERK
Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra
teksten.
LAGRING
NÂr pumpene transporteres
milj¯messige krav oppfylles:
−
temperatur: fra -20PC til +70PC
−
relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)
Skal utstyret lagres lengre, m pumpen MYKSTARTES (se
kontrollenhetens manual).
KLARGJÿRE TIL INSTALLASJON
Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser
denne tegn p skader som kan ha oppstÂtt under transporten,
m du ta kontakt med det lokale salgskontoret.
NÂr pumpen pakkes ut, m du se til at den ikke slippes ned
eller utsettes for noen form for st¯t.
Emballasjen m ikke kastes p en ulovlig mÂte. Alle materialer
er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399
om milj¯beskyttelse.
! ! ! !
FORSIKTIG
For  unng avgassingsproblemer, m ingen del som skal
utsettes for vakuum hÂndteres med bare hendene. Bruk alltid
hansker eller andre og passende verneutstyr.
eller lagres, m f¯lgende
Normale milj¯messige
pumpen. Likevel anbefaler vi  holde den lukket til den er
montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for
nedst¯ving.
INSTALLASJON
! ! ! !
Med hensyn til pumpens vekt m den bare flyttes ved hjelp av
et dertil bestemt l¯fteutstyr.
Ikke installer eller bruk pumpen i milj¯er som utsettes for regn,
sn¯ eller is, st¯v, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige milj¯er
eller milj¯er med stor brannfare.
Under bruk m f¯lgende forhold respekteres:
−
maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfÊrisk trykk)
−
temperatur: fra +5PC til +35PC
−
relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)
! ! ! !
Ikke fjern klebemerket og det beskyttende dekslet f¯r
turbopumpen skal festes til systemet
17

BRUKERVEILEDNING

MERK
belastninger kan ikke ¯delegge
ADVARSEL!
FORSIKTIG
87-900-942-01(A)