Varian Turbo-V 1000 ICE E Série Mode D'emploi page 13

NO!
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°PELIGRO!
Para evitar lesiones a la persona, no introducir nunca, por
ning˙n motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada
de la turbobomba. Se aconseja utilizar la redecilla de
protecciÛn (opcional). Si se utiliza un amortiguador de
vibraciones o un fuelle met·lico flexible en la boca de
entrada, fijar siempre la turbobomba a la base.
Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V1000 ICE-E
series han de utilizarse exclusivamente con uno de los
controladores Varian (serie 969-9464 220V, 969-9564 120V) y
se conectar·n a una bomba primaria (vÈase esquema en
ìTechnical Informationî).
La turbobomba se puede instalar en cualquier posiciÛn. Fijar la
turbobomba en posiciÛn estable uniendo la brida de entrada de
la turbobomba con una contrabrida fija capaz de resistir a un
par de 4668 Nm alrededor de su eje.
La turbobomba con brida de entrada ISO ha de ir fijada a la
c·mara de vacÌo mediante mordazas dobles o mordazas
individuales. La tabla siguiente describe el n˙mero de
mordazas necesarias y el par de apriete al que han de
apretarse.
BRIDA TIPO DE MORDAZA
ISO 200 Mordaza doble
con rosca M10
Mordaza individual
con rosca M10
Para fijar la bomba mediante su base, es necesario utilizar tres
tornillos M6 fijados en los orificios correspondientes que se
encuentran en la base de la bomba. Los tornillos utilizados han
de tener una carga de deformaciÛn el·stica de 500 N/mm
han de fijarse a un par de 4,5 Nm.
Para instalar los accesorios opcionales, vÈase ìTechnical
Informationî.
UTILIZACION
Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la
turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de
control.
Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla.
Para obtener mejores presiones lÌmite, se puede calentar la
envoltura de la bomba utilizando el calentador opcional.
Durante el posible calentamiento de la c·mara de vacÌo, la
temperatura de la brida de entrada no deber· superar 80UC.
Utilizar siempre la refrigeraciÛn por agua durante las
operaciones de calentamiento.
N. PAR DE
APRIETE
6 23 Nm
12 23 Nm
2
y
8
INSTRUCCIONES DE USO
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°PELIGRO!
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede
provocar lesiones a las personas.
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°ATENCION!
Para el envÌo de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin
polvo o partÌculas. La presiÛn de entrada a travÈs de la puerta
apropiada deber· ser inferior a 2 bar por encima de la presiÛn
atmosfÈrica.
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°ATENCION!
EvÌtense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la
turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrÌan
daÒarse.
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°ATENCION!
Para bombear gases agresivos estas bombas est·n dotadas
de una puerta especÌfica mediante la cual es necesario
suministrar a la bomba un caudal de gas inerte (NitrÛgeno o
ArgÛn) para proteger los rodamientos (vÈase el apÈndice
ìTechnical Informationî).
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°PELIGRO!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tÛxicos,
inflamables o radioactivos,
apropiados tÌpicos de cada gas.
No usar la bomba cuando haya gases explosivos.
MANTENIMIENTO
Las bombas de la serie Turbo-V1000 ICE-E series no
necesitan ning˙n tipo de mantenimiento. Cualquier operaciÛn
tendr· que ser realizada por personal autorizado.
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°PELIGRO!
Antes de realizar cualquier intervenciÛn en la turbobomba,
desempalmar el conector de alimentaciÛn, enviar aire a la
bomba abriendo la v·lvula apropiada y esperar hasta que el
rotor se pare completamente y esperar a que la bomba estÈ
por debajo de 50 gC.
En caso de averÌa se podr· utilizar el servicio de reparaciÛn
Varian o el "Varian advanced exchange service", que permite
obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada.
NOTA
Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparaciÛn o
"advanced exchange service", es imprescindible cumplimentar
y remitir a la oficina de Ventas m·s cercana la ficha de
"Seguridad y Salud" adjunta
instrucciones. Una copia de la misma se deber· introducir en
el embalaje de la bomba antes de enviarla.
En caso de que la bomba se tenga que desguazar, efectuar su
eliminaciÛn respetando las normas nacionales especÌficas.
seguir los procedimientos
al presente manual de
87-900-942-01(A)