Burkert 8626 Instructions De Service
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Type 8626, 8716, 8712, 8710 Mass Flow Controller (MFC)
Type 8006, 8706, 8702, 8700 Mass Flow Meter (MFM)

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Manuels Connexes pour Burkert 8626

Sommaire des Matières pour Burkert 8626

  • Page 1 Operating Instructions Bedienungsanleitung Instructions de Service Type 8626, 8716, 8712, 8710 Mass Flow Controller (MFC) Type 8006, 8706, 8702, 8700 Mass Flow Meter (MFM)
  • Page 2 We reserve the right to make technical changes without notice. Technische Änderungen vorbehalten. Sous resérve de modification techniques. © 2002 Bürkert Werke GmbH & Co. Operating Instructions No. 804 577 - ind 00 - dec 02 Bedienungsanleitung No. 804 577 - ind 00 - dez 02 Instructions de service N 804 577 - ind 00 - déc 02...

  • Page 3: Table Des Matières

    General function ............................Sensors ................................. Thermal measurement principle ....................Inline sensor (Types 8626 / 8006; 8716 / 8706) ..............Bypass sensor in CMOSens® technology (Types 8712 / 8702) ......Bypass sensor in conventional technology (Types 8710 / 8700) ......Control electronics ..........................
  • Page 4 Screw joints ............................Assembly of clamping ring screw joints ................Electrical connections .......................... Connection configuration Type 8626 / 8006 ............... Connection configuration Type 8716 / 8706 ............... Connection configuration Type 8712 / 8702 ............... Connection configuration Type 8710 / 8700 ...............

  • Page 5: General Notes

    GENERAL NOTES Symbols The following symbols are used in these operating instructions: marks a work step that you must carry out. ATTENTION! marks notes on whose non-observance your health or the functioning of the device will be endangered. NOTE marks important additional information, tips and recommendations.

  • Page 6: Scope Of Delivery

    Scope of delivery Immediately after receipt of the delivery, make sure the contents agree with the stated scope of delivery. The latter comprises: • MFC or MFM Type 8626, 8006 or 87xx • Operating Instructions (possibly on data carrier) •...

  • Page 7: System Description

    0.05 ... 30 Bypass standard 8700 0.05 ... 30 Bypass standard Please observe in this connection the note on the device types 8626 / 8006 in the section Connection Configuration Type 8626/8006. CMOSens ® is a registered trademark of Sensirion AG (Switzerland)

  • Page 8: Sensors

    The setpoint value (w) is set electrically via a standard signal or a field bus. The process value (x) measured by the sensor is compared in the controller with the setpoint value. The correcting variable is sent as a plus-width modulated voltage signal to the servo component.

  • Page 9: Inline Sensor (Types 8626 / 8006; 8716 / 8706)

    Inline sensor (Types 8626 / 8006; 8716 / 8706) This sensor works as a hot-film anemometer in the so-called CTA (Constant Temperature Anemometer) mode. Two resistors with exactly defined temperature coefficients in the medium flow form a resistance bridge with three resistors situated outside the flow.

  • Page 10: Bypass Sensor In Cmosens® Technology (Types 8712 / 8702)

    Bypass sensor in CMOSens ® technology (Types 8712 / 8702) In this technology, the mass flow is measured in a specially shaped flow channel whose wall contains at one point a Si chip with a membrane that has been formed by etching.

  • Page 11: Bypass Sensor In Conventional Technology (Types 8710 / 8700)

    Bypass sensor in conventional technology (Types 8710 / 8700) Measurement is also on the bypass principle. A laminar flow element in the main channel generates a small pressure drop. This drives a small flow proportional to the main flow through the actual sensor tube. On this narrow tube are wound two heater resistors which are connected in measuring bridge.

  • Page 12: Control Electronics

    Control electronics Processing of the setpoint and actual flow signals, and drive of the actuator are carried out by a microprocessor. The sensor signal is filtered by the control electronics and with the aid of the calibration curve stored in the device, converted to a value corresponding to actual flow rate.

  • Page 13: Proportional Valve

    Depending on the version of the device, the setpoint is set either via the standard signal input as an analog signal, or digitally via the fild bus interface. Independent of the control status, the flow rate measured by the sensor is sent as an analog signal via the standard signal input or digitally via the field bus interface.
  • Page 14 In this case, in analogy to equations (1) and (2), one first determines from the desired nominal flow rate Q and the pressures p and p , the minimum flow coefficient of the overall system k . Via the relationship Vges ...
  • Page 15 NOTE The system must not be dimensioned so closely with regard to the flow coefficient (k ) that at the desired flow rate, the major part of the available pressure drop is used up there, and then the nominal valve diameter of the MFC is chosen so great (k >>...

  • Page 16: Technical Data

    TECHNICAL DATA Environmental tests • Temperature cycles to EN 60068-2-14, Nb and EN 60068-2-33 • Head and humidity to EN 60068-2-38, Z/AD • Shocks to EN 60068-2-27 • Vibration to EN 60068-2-6 • IP protection type to EN 60529 • Free fall to EN 60068-2-32 •...

  • Page 17: Type 8626 / 8006 Mass Flow Inline

    Connection cross-section min. 0.5 mm² (0.75 mm² for valve Type 2836) 20 W - max. 50 W (Type 8626,dep. on Valve) 22.5 W - max. 52.5 W (Type 8626 bus, dep. on valve) Power consumption 10 W (Type 8006) 12.5 W (Type 8006 bus)

  • Page 18: Type 8716 / 8706 Mass Flow Inline

    Type 8716 / 8706 MASS FLOW INLINE Full scale (Q 25 to 1500l /min (reference medium N nenn Operating media neutral, non-contaminated gases, others on request max. operating pressure 10 bar, depending on nom. valve diameter Calibrating medium operating gas or air Medium temperature -10 to + 70 °C Ambient temperature...

  • Page 19: Type 8712 / 8702 Mass Flow Cmosens

    Type 8712 / 8702 MASS FLOW CMOSens ® Full scale (Q 0.02 to 50 l /min (reference medium N nenn Operating media neutral, non-contaminated gases, others on request max. operating pressure 10 bar, depending on nom. valve diameter Calibrating medium operating gas or air Medium temperature -10 to + 70 °C...

  • Page 20: Type 8710 / 8700 Mass Flow Bypass Standard

    Type 8710 / 8700 MASS FLOW Bypass Standard Full scale (Q 0.05 to 30 l / min (reference medium N nenn Operating media neutral, non-contaminated gases, others on request max. operating pressure 10 bar, depending on nom. valve diameter Calibrating medium operating gas or air Medium temperature -10 to + 70 °C...

  • Page 21: Assembly, Installation And Commissioning

    ASSEMBLY, INSTALLATION AND COMMISSIONING Dimensional drawings Fig.: Type 8626/8006 MASS FLOW INLINE Fig.: Type 8716/8706 MASS FLOW INLINE Fig.: Type 8712/8702 MASS FLOW CMOSens ® MFC/MFM - 19...

  • Page 22: General Notes On Installation And Operation

    Fig. : Type 8710 / 8700 MASS FLOW Bypass Standard General notes on installation and operation Before installation: Install a suitable filter upsteam to assure cleanliness of the operating medium. Observe the installation position (see calibration data). Provide a power supply with adequate power. Observe the max.

  • Page 23: Operation With Additional Isolation Valve

    Please select the matching joint from the table in Appendix B. Connections at MFC/MFM Standard screw-in thread Special screw-in thread Type G 1/4" G 3/8" G 1/2" G 3/4" NPT 1/4 NPT 3/8 NPT1/2 NPT3/4 8626 8006 8716 8706 8712...

  • Page 24: Assembly Of Clamping Ring Screw Joints

    Assembly of clamping ring screw joints ATTENTION! With low flow rates and high pressures, pay attention to the gastightness of the system to avoid false dosage or gas leakage. In order to seal the system properly, proceed as follows: Mount pipe connections without stress (using compensators if necessary). Use piping with matching diameter and smooth surface.

  • Page 25: Connection Configuration Type 8626 / 8006

    DGND (for RS232 interface) NOTE If a device of Type 8626 / 8006 (built before 2003) is to be replaced by a new one (from 2003 on), this can be done by using an adapter (see Appendix A) without additional cabling.

  • Page 26: Connection Configuration Type 8716 / 8706

    Connection configuration Type 8716 / 8706 9-pole Sub-D socket (bus version only) PROFIBUS DP DeviceNet Shield (FE) functional earth N. C. (not connected) CAN_L data line RxD/TxD-P B-line RTS control signal for repeater N. C. GND data transmission potential N. C. N.

  • Page 27: Connection Configuration Type 8712 / 8702

    Connection configuration Type 8712 / 8702 9-pole Sub-D socket (bus version only) PROFIBUS DP DeviceNet Shield (FE) functional earth N. C. (not connected) CAN_L data line RxD/TxD-P B-line RTS control signal for repeater N. C. GND data transmission potential N. C. N.

  • Page 28: Connection Configuration Type 8710 / 8700

    Connection configuration Type 8710 / 8700 15-pole Sub-D plug Relay output - break contact Relay output - make contact Relay output - centre contact 24V supply GND 24V supply + 8V output (for factory use only) Setpoint input GND Setpoint input + Process value output GND Process value output + GND (for binary inputs)

  • Page 29: Inputs / Outputs

    The process value output exits the current flow rate as a standard signal. Bus connection Types 8626, 8006, 8716, 8706, 8712 and 8702 are available as bus versions. Setpoint and process value are received or repeated in digital form via the bus.

  • Page 30: Leds To Indicate The Operating Mode (Default Configuration)

    LEDs to indicate the operating mode (deault configuration) POWER LED lights The device is supplied with operating voltage flashes Autotune function activated (green) COMMUNICATION LED lights The device communicates via bus or RS232. not present with 8710/8700) (yellow) LIMIT (y) LED lights With MFC: indicates that the correcting variable of the...

  • Page 31: Binary Outputs (Default Configuration)

    Binary outputs (default configuration) The binary outputs are executed as realy outputs (potential-free changeover contacts). Functions Relay 1 LIMIT (y) Relay 2* ERROR (serious error, e.g. sensor breakage or faulty internal voltage supply) * (not present with 8710/00) NOTE The functions of the LEDs (POWER and ERROR LEDs unchangeable), standard signal inputs and outputs and the binary inputs and outputs are settings as delivered.

  • Page 32: Standard Control Operation

    Standard control operation This is the operating mode in which the MFC finds itself after being switched on and after a short initialization phase. In the LED group, only the green Power LED lights. The flow rate is controlled to the setpoint with high sensitivity. Disturbances such as those resulting from pressure variations are rapidly corrected by suitable adjustment to the aperture of the control valve.

  • Page 33: Safety Function

    NOTE Each MFC has been subjected to the Autotune routine in the factory during final testing at the operating pressure stated in the calibration report. For reliable control operation in a system, it is not absolutely necessary to initiate this function again after commissioning. We recommend renewed initialization if the operating pressure deviates by serveral bar from the calibration pressure or if the characteristic curve of the proportional valve is heavily influenced by a low valve...

  • Page 34: Maintenance

    Instructions, so that routine recalibration is unnecessary. If after prolonged operation with contaminated medium, large quantities of particles were drawn in, with Types 8626, 8006, 8716, 8706, 8712 and 8702 the easily accessible stainless steel filter can be cleaned or replaced after removing the flange plate on the inlet side (see Appendix B).

  • Page 35: Malfunction / Troubleshooting

    MALFUNCTION / TROUBLESHOOTING Problem Possible cause Remedy "POWER" LED No electrical supply Check the electrical does not light connections. "POWER" LED Autotune activated see Section flashes Operating Modes "POWER" LED Voltage supply collapses Select a power supply with extinguishes periodically - device adequate power.
  • Page 36 ( → increased intrinsic con- output shows a small flow vection, only with 8716 and 8626) Incorrect installation Install the MFC in the position position calibrated or execute an ( → increased intrinsic con-...

  • Page 37: Appendix A: Accessories (Electrical)

    RS232 adapter for connecting a PC with an extension 654757 cable (Order no. 917039) Connecion adapter (DB9/m-DB15HD/m) to replace a device Type 8626/8006 built before 2003) by a new 787923 one of the same type (built from 2003 on) → no IP65 protection...

  • Page 38: Appendix B: Accessories (Fluidic)

    Type 1013 in Bürkert Accessory Catalog. Spare parts Designation Order no. Stainless steel grid for 8626/8006 and 8716/8706 646808 (standard housing) Stainless steel grid for 8626/8006 and 8716/8706 (AF60 housing) 651694 Stainless steel grid for 8712/8702 654733 36 - MFC/MFM...

  • Page 39: Appendix C: Massflowcommunicator (Pc Software)

    APPENDIX C: MassFlowCommunicator (PC SOFTWARE) The PC program MassFlowCommunicator is designed for communication with the devices from Bürkert's MassFlowController faily. It is used for configuration, readout and writing of various parameters. NOTE The program works on the Windows platform and requires a serial interface (RS 232) for communication with the MassFlowControllers or MassFlowMeters.
  • Page 40 38 - MFC/MFM...
  • Page 41 ........................Typensystematik ............................ Allgemeine Funktion ..........................Sensor ................................Thermisches Messprinzip ......................Inline-Sensor (Typen 8626 / 8006; 8716 / 8706) ............. Bypass-Sensor in CMOSens®-Technologie (Typen 8712 / 8702) ....... Bypass-Sensor in konventioneller Technik (Typen 8710 / 8700) ......Regelelektronik ............................Proportionalventil ............................
  • Page 42 Mechanische und fluidische Installation ..................Verschraubungen ..........................Montage von Klemmringverschraubungen ................ Elektrische Anschlüsse ........................Anschlussbelegung Typ 8626 / 8006 ..................Anschlussbelegung Typ 8716 / 8706 ..................Anschlussbelegung Typ 8712 / 8702 ..................Anschlussbelegung Typ 8710 / 8700 ..................Ein- / Ausgänge ............................

  • Page 43: Allgemeine Hinweise

    ALLGEMEINE HINWEISE Darstellungsmittel In dieser Betriebsanleitung werden folgende Darstellungsmittel verwendet: markiert einen Arbeitsschritt, den Sie ausführen müssen. ACHTUNG! kennzeichnet Hinweise, bei deren Nichtbeachtung Ihre Ge- sundheit oder die Funktionsfähigkeit des Gerätes gefährdet ist. HINWEIS kennzeichnet wichtige Zusatzinformationen, Tipps und Empfehlungen. Sicherheitshinweise Bitte beachten Sie die Hinweise dieser Betriebsanleitung sowie die Einsatz- bedingungen und zulässigen Daten, die in den Datenblättern der...

  • Page 44: Lieferumfang

    Lieferumfang Überzeugen Sie sich unmittelbar nach Erhalt der Lieferung, ob der Inhalt mit dem angegebenen Lieferumfang übereinstimmt. Zu diesem gehören: • MFC bzw. MFM Typ 8626, 8006 oder 87xx • eine Betriebsanleitung (ggf. auf Datenträger) • bei Busgeräten Ergänzungen zur Bedienungsanleitung (ggf.

  • Page 45: Systembeschreibung

    8710 0,05 ... 30 Bypass Standard 8700 0,05 ... 30 Bypass Standard Bitte beachten Sie hierzu den Hinweis zu den Gerätetypen 8626/8006 im Abschnitt Anschlussbelegung Typ 8626/8006. CMOSens ® ist ein eingetragenes Warenzeichen der Firma Sensirion AG (Schweiz) Allgemeine Funktion Die MFC der Typen 8626, 8716, 8712 und 8710 sind Kompaktgeräte, mit denen...

  • Page 46: Sensor

    Die Sollwertvorgabe (w) erfolgt elektrisch über ein Normsignal oder einen Feldbus. Der vom Sensor erfasste Istwert (x) wird im Regler mit dem Sollwert verglichen. Als Stellgröße wird vom Regler ein pulsweitenmoduliertes Spannungssignal an das Stellglied gegeben. Das Tastverhältnis des Spannungssignals wird entspre- chend der festgestellten Regelabweichung variiert.

  • Page 47: Inline-Sensor (Typen 8626 / 8006; 8716 / 8706)

    Inline-Sensor (Typen 8626 / 8006; 8716 / 8706) Dieser Sensor arbeitet als Heißfilm-Anemometer im sogenannten CTA-Betriebs- modus (Constant Temperature Anemometer) . Dabei sind zwei direkt im Medien- strom befindliche Widerstände mit präzise spezifiziertem Temperaturkoeffizienten und drei außerhalb der Strömung befindliche Widerstände zu einer Brücke ver- schaltet.

  • Page 48: Bypass-Sensor In Cmosens®-Technologie (Typen 8712 / 8702)

    Bypass-Sensor in CMOSens ® -Technologie (Typen 8712 / 8702) Der Massendurchfluss wird bei dieser Technologie in einem speziell geformten Strömungskanal gemessen, dessen Wandung an einer Stelle einen Si-Chip mit einer freigeätzten Membran enthält. Auf dieser Membran sind in CMOSens ® Technologie ein Heizwiderstand sowie symmetrisch zu diesem stromaufwärts und stromabwärts zwei Temperatursensoren aufgebracht.

  • Page 49: Bypass-Sensor In Konventioneller Technik (Typen 8710 / 8700)

    Bypass-Sensor in konventioneller Technik (Typen 8710 / 8700) Gemessen wird ebenfalls nach dem Bypass-Prinzip. Ein Laminar-Flow-Element im Hauptkanal erzeugt einen geringen Druckabfall. Dieser treibt einen zum Gesamt- durchfluss proportionalen kleinen Fluss durch das eigentliche Sensorröhrchen. Auf das dünne Edelstahlröhrchen sind zwei Heizwiderstände aufgewickelt, die in einer Messbrücke verschaltet sind.

  • Page 50: Regelelektronik

    Regelelektronik Die Verarbeitung der aktuellen Soll- und Ist-Durchflüsse und die Ansteuerung des Stellgliedes wird von einer Mikroprozessorelektronik durchgeführt. Das Sensorsignal wird von der Regelelektronik gefiltert und mit Hilfe der im Gerät hinterlegten Kalibrierkurve in einen dem Ist-Durchfluss entsprechenden Wert umgewandelt. Damit auch kritische Prozesse geregelt werden können, in denen zu schnelle Durchflussänderungen nicht zulässig sind, kann über die Software "MassFlowCommunicator"...

  • Page 51: Proportionalventil

    Der Sollwert wird je nach Geräteausführung alternativ über den Normsignalein- gang als analoges Signal oder digital über die Feldbusschnittstelle vorgegeben. Unabhängig vom Regelzustand wird der aktuelle, vom Sensor gemessene Durch- flusswert analog über den Normsignalausgang bzw. digital über die Feldbus- schnittstelle ausgegeben.
  • Page 52 Aus dem gewünschten Nenndurchfluss Q und den Drücken p und p ist in nenn diesem Falle analog zu Gl. (1) oder (2) zunächst der minimale Durchflussbeiwert der Gesamtanlage k zu ermitteln. Über die Beziehung Vges      ...
  • Page 53 HINWEIS Die Anlage darf von ihrem Strömungsbeiwert (k ) her nicht so knapp ausgelegt sein, dass beim gewünschten Nenndurchfluss schon der weitaus größte Teil des verfügbaren Druckabfalles dort verbraucht und dann die Ventilnennweite des MFC so groß gewählt wird (k >>...

  • Page 54: Technische Daten

    TECHNISCHE DATEN Umweltprüfungen • Temperaturwechsel nach EN 60068-2-14, Nb und EN 60068-2-33 • Feuchte Wärme nach EN 60068-2-38, Z/AD • Schocken nach EN 60068-2-27 • Schwingen nach EN 60068-2-6 • IP-Schutzart nach EN 60529 • Freifallen nach EN 60068-2-32 • UPS-Falltest nach DIN ISO 2248 und DIN ISO 2206 Elektromagnetische Verträglichkeit (EMV) Alle Geräte sind CE-konform für den Bereich Industrie und haben die damit ver-...

  • Page 55: Typ 8626 / 8006 Mass Flow Inline

    24 V DC ± 10 %; Restwelligkeit < 5 % Anschlussquerschnitt min. 0,5 mm² (0,75 mm² bei Ventil Typ 2836) 20 W - max. 50 W (Typ 8626, abh. vom Ventil) 22,5 W - max. 52,5 W (Typ 8626 Bus, abh. vom Leistungsaufnahme...

  • Page 56: Typ 8716 / 8706 Mass Flow Inline

    Typ 8716 / 8706 MASS FLOW INLINE Endwertebereich (Q 25 bis 1500l /min (Bezugsmedium N nenn neutrale, nicht kontaminierte Gase; Betriebsmedien andere auf Anfrage max. Betriebsdruck 10 bar, abhängig von der Ventilnennweite Kalibriermedium Betriebsgas oder Luft Mediumstemperatur -10 bis + 70 °C Umgebungstemperatur -10 bis + 45 °C Messgenauigkeit...

  • Page 57: Typ 8712 / 8702 Mass Flow Cmosens

    Typ 8712 / 8702 MASS FLOW CMOSens ® Endwertebereich (Q 0,02 bis 50 l /min (Bezugsmedium N nenn neutrale, nicht kontaminierte Gase, Betriebsmedien andere auf Anfrage max. Betriebsdruck 10 bar, abhängig von der Ventilnennweite Kalibriermedium Betriebsgas oder Luft Mediumstemperatur -10 bis + 70 °C Umgebungstemperatur -10 bis + 50 °C Messgenauigkeit...

  • Page 58: Typ 8710 / 8700 Mass Flow Bypass Standard

    Typ 8710 / 8700 MASS FLOW Bypass Standard Endwertebereich (Q 0,05 bis 30 l / min (Bezugsmedium N nenn neutrale, nicht kontaminierte Gase, Betriebsmedien andere auf Anfrage max. Betriebsdruck 10 bar, abhängig von der Ventilnennweite Kalibriermedium Betriebsgas oder Luft Mediumstemperatur -10 bis + 70 °C Umgebungstemperatur -10 bis + 55 °C...

  • Page 59: Montage, Installation Und Inbetriebnahme

    MONTAGE, INSTALLATION UND INBETRIEBNAHME Maßzeichnungen Bild: Typ 8626/8006 MASS FLOW INLINE Bild: Typ 8716/8706 MASS FLOW INLINE Bild: Typ 8712/8702 MASS FLOW CMOSens ® MFC/MFM - 57...

  • Page 60: Allgemeine Hinweise Zu Installation Und Betrieb

    Bild: Typ 8710 / 8700 MASS FLOW Bypass Standard Allgemeine Hinweise zu Installation und Betrieb Beachten Sie vor der Installation: Schalten Sie geeignete Filter vor, um die Sauberkeit des Betriebsmediums zu gewährleisten. Beachten Sie die Einbaulage (siehe Kalibrierdaten). Sehen Sie ein Netzteil mit ausreichender Leistung vor. Beachten Sie die max.

  • Page 61: Verschraubungen

    Bitte wählen Sie die entsprechende Verschraubung aus der Tabel- le im Anhang B aus. Anschlüsse am MFC/MFM Standard-Einschraubgewinde Sonder-Einschraubgewinde G 1/4" G 3/8" G 1/2" G 3/4" NPT 1/4 NPT 3/8 NPT1/2 NPT3/4 8626 8006 8716 8706 8712 8702...

  • Page 62: Montage Von Klemmringverschraubungen

    Montage von Klemmringverschraubungen ACHTUNG! Achten Sie bei geringen Durchflüssen und hohen Drücken besonders auf die Dichtheit des Systems, um Fehldosierungen bzw. die Leckage von Gasen zu vermeiden. Um das System einwandfrei abzudichten, gehen Sie bei der Montage wie folgt vor: Rohrverbindungen spannungsfrei montieren (gegebenenfalls Kompensato- ren verwenden).
  • Page 63 Relais 2 - Öffner DGND (für RS232-Schnittstelle) HINWEIS Soll ein Gerät des Typs 8626/8006 vor Baujahr 2003 durch ein neueres (ab Baujahr 2003) ersetzt werden, so kann dies mit Hilfe eines Adapters (siehe Anhang A) ohne zusätzlichen Verkabelungs- aufwand geschehen.
  • Page 64 Anschlussbelegung Typ 8716 / 8706 9pol. Sub-D-Buchse (nur bei Busausführung) PROFIBUS DP DeviceNet Schirm (FE) Funktionserde N. C. (not connected) CAN_L Datenleitung RxD/TxD-P B-Leitung RTS Steuersignal für Repeater N. C. GND Datenübertragungspotential N. C. N. C. Versorgungsspannung + (P5V) N. C. CAN_H Datenleitung RxD/TxD-N A- Leitung N.
  • Page 65 Anschlussbelegung Typ 8712 / 8702 9pol. Sub-D-Buchse (nur bei Busausführung) PROFIBUS DP DeviceNet Schirm (FE) Funktionserde N. C. (not connected) CAN_L Datenleitung RxD/TxD-P B-Leitung RTS Steuersignal für Repeater N. C. GND Datenübertragungspotential N. C. N. C. Versorgungsspannung + (P5V) N. C. CAN_H Datenleitung RxD/TxD-N A- Leitung N.

  • Page 66: Anschlussbelegung Typ 8710 / 8700

    Anschlussbelegung Typ 8710 / 8700 15pol. Sub-D-Stecker Relaisausgang - Öffner Relaisausgang - Schliesser Relaisausgang - Mittelkontakt 24V-Versorgung GND 24V-Versorgung + 8V-Ausgang (nur werksinterne Verwendung) Sollwerteingang GND Sollwerteingang + Istwertausgang GND Istwertausgang + GND (für Binäreingänge) Binäreingang 1 Binäreingang 2 zum Anschluss eines PC nur über Adapter 14/15 (siehe Zubehör in Anhang A) 64 - MFC/MFM...

  • Page 67: Ein- / Ausgänge

    Der Istwertausgang gibt den aktuellen Durchflusswert als Normsignal aus. Busanschaltung Die Typen 8626, 8006, 8716, 8706, 8712 und 8702 sind als Bus-Versionen erhält- lich. Soll- und Istwert werden hier in digitaler Form über den Bus empfangen bzw. rückgemeldet. Es kann zwischen einer PROFIBUS DP- und einer DeviceNet- Anschaltung gewählt werden (siehe auch Ergänzung zur Bedienungsanleitung für...

  • Page 68: Leuchtdioden Zur Anzeige Des Betriebszustandes (Default-Belegung)

    Leuchtdioden zur Anzeige des Betriebszustandes (Default-Belegung) POWER LED leuchtet Das Gerät ist mit Betriebsspannung versorgt. blinkt Autotune Funktion aktiv (grün) COMMUNICATION LED leuchtet Das Gerät kommuniziert über Bus oder RS232. bei 8710/8700 nicht vorhanden) (gelb) LIMIT (y) LED leuchtet Bei MFC: zeigt an, dass die Stellgröße des Ventils nahezu 100 % erreicht hat.

  • Page 69: Binärausgänge (Default-Belegung)

    Binärausgänge (Default-Belegung) Die Binärausgänge sind als Relaisausgänge (potentialfreie Wechsler) ausgeführt. Funktionen Relais 1 LIMIT (y) Relais 2* ERROR (bei schwerwiegendem Fehler, z.B. Sensorbruch oder Fehler bei interner Spannungsversorgung) * (bei 8710/00 nicht vorhanden) HINWEIS Die Funktionen der LED’s (POWER- und ERROR-LED nicht verän- derbar), Normsignalein- und ausgänge und der Binärein- und ausgänge sind Einstellungen im Auslieferungszustand.

  • Page 70: Standard-Regelbetrieb

    Standard-Regelbetrieb Dies ist der Betriebszustand, in dem sich der MFC sofort nach dem Einschalten und einer kurzen Initialisierungsphase befindet. Im LED-Feld leuchtet nur die grüne Power-LED. Der Durchfluss wird auf den vorgegebenen Sollwert mit einer hohen Dynamik ausgeregelt. Störungen, z.B. infolge von Druckschwankungen, werden durch entsprechende Anpassung der Öffnung des Regelventils schnell ausgeglichen.

  • Page 71: Sicherheitsfunktion

    HINWEIS Jeder MFC hat die Autotune-Routine im Werk während der End- prüfung bei dem im Kalibrierprotokoll angegebenen Betriebsdruck durchlaufen. Für einen sicheren Regelbetrieb in einer Anlage ist das erneute Auslösen dieser Funktion nach der Inbetriebnahme nicht zwingend erforderlich. Wir empfehlen sie auszulösen, wenn der Betriebsdruck um mehrere bar vom Kalibrierdruck abweicht oder wenn die Kennlinie des Proportionalventils infolge einer niedrigen Ventilautorität (siehe Proportionalventil ) stark beeinflusst wird.

  • Page 72: Wartung

    Neukalibrierung erübrigt. Falls nach längerem Betrieb mit einem verschmutzten Medium größere Mengen von Partikeln eingetragen wurden, kann bei den Typen 8626, 8006, 8716, 8706, 8712 und 8702 nach Lösen der eingangsseitigen Flanschplatte das dann zugäng- liche Edelstahldrahtgitter gereinigt oder ersetzt werden (siehe Anhang B).

  • Page 73: Störung / Fehlersuche

    STÖRUNG / FEHLERSUCHE Problem mögliche Ursache Abhilfe "POWER" LED keine elektrische Versorgung Prüfen Sie die elektrischen leuchtet nicht Anschlüsse. "POWER" LED blinkt Autotune aktiv siehe Kapitel Betreibszustände "POWER" LED Spannungsversorgung bricht Wählen Sie die Spannungs- erlischt periodisch periodisch zusammen - versorgung mit ausreichender Gerät führt Reset aus Leistung.
  • Page 74 Kalibrierdruck Anpassung an die Betriebs- ( → erhöhteEigenkonvektion kein Durchfluss; bedingungen durch. Istwertausgang zeigt nur bei 8716 und 8626) aber geringen falsche Einbaulage Bauen Sie den MFC in der Durchfluss an ( → erhöhte Eigenkonvektion kalibrierten Einbaulage ein oder nur bei 8716 und 8626) führen Sie eine Autotune zur...

  • Page 75: Anhang A: Zubehör (Elektrisch)

    RS232-Adapter zum Anschluss eines PC in Verbindung mit einem Verlängerungskabel 654757 (Best.Nr. 917039) Anschlussadapter (DB9/m-DB15HD/m) zum Ersatz eines Gerätes Typ 8626/8006 (vor Baujahr 2003) 787923 durch ein neueres gleichen Typs (ab Baujahr 2003) → kein IP65 Schutz SUB-D-Buchse 15pol. mit Lötkelchanschluss 918274 SUB-D-Haube für 15pol.

  • Page 76: Anhang B: Zubehör (Fluidisch)

    Weiteres Zubehör für den Fluidischen Anschluss des MFC/MFM finden Sie unter Typ 1013 im Bürkert-Zubehör-Katalog. Ersatzteile Bezeichnung Best.-Nr. Edelstahlgitter für 8626/8006 und 8716/8706 (Standardgehäuse) 646808 Edelstahlgitter für 8626/8006 und 8716/8706 (AF60 Gehäuse) 651694 Edelstahlgitter für 8712/8702 654733 74 - MFC/MFM...

  • Page 77: Anhang C: Massflowcommunicator (Pc-Software)

    ANHANG C: MassFlowCommunicator (PC-SOFTWARE) Das PC-Programm MassFlowCommunicator ist für die Kommunikation mit den Geräten aus der MassFlowController-Familie der Firma Bürkert konzipiert. Es dient zur Konfiguration, zum Auslesen und Schreiben diverser Parameter. HINWEIS Das Programm arbeitet auf der Windows-Plattform und benötigt eine serielle Schnittstelle (RS 232) für die Kommunikation mit den MassFlowControllern bzw.
  • Page 78 76 - MFC/MFM...
  • Page 79 Fonctionnement général ........................Capteurs ..............................Principe de mesure thermique ....................Capteur Inline (types 8626 / 8006; 8716 / 8706) ............. Capteur bypass en technologie CMOSens® (types 8712 / 8702) ....... Capteur bypasse en technique classique (types 8710 / 8700) ......
  • Page 80 Raccords ............................... Montage de raccords à bague de serrage ................. Raccordements électriques ......................Brochage des connecteurs type 8626 / 8006 ..............Brochage des connecteurs type 8716 / 8706 ............... Brochage des connecteurs type 8712 / 8702 ............... Brochage des connecteurs type 8710 / 8700 ...............

  • Page 81: Remarques Generales

    REMARQUES GENERALES Symboles de représentation Les symboles de représentation suivants sont utilisés dans ces instructions de service: désigne une étape de travail devant être exécutée. ATTENTION! désigne une mise en garde dont l'inobservation pourrait mettre en danger votre santé ou l'intégrité. REMARQUE désigne des informations supplémentaires, conseils et recommandations importantes.

  • Page 82: Fourniture

    Contrôler dès réception de l'envoi que le contenu n'a subi aucun dommage et qu'il correspond bien à la fourniture spécifiée. Celle-ci comprend généralement: • MFC ou MFM type 8626, 8006 ou 87xx • les instructions de service sur papier (le cas échéant sur support de données)

  • Page 83: Description Du Systeme

    Sensirion SA (Suisse). Fonctionnement général Les MFC du type 8626, 8716, 8712 et 8710 sont des appareils compatibles dont la fonction et de contrôler le débit massique de gaz. Ils assurent la régulation en fonction d'une consigne de débit prédéterminée, indépendamment des grandeurs...

  • Page 84: Capteurs

    La définition de la consige (w) s'effectue électriquement via un signal normalisé ou un bus de terrain. La valeur instantanée (x) détectée par le système est comparée à l'intérieur du régulateur avec la valeur de consigne. Le régulateur délivre comme valeur réglante un signal en tension modulé à largeur d'impulsion variable à...

  • Page 85: Capteur Inline (Types 8626 / 8006; 8716 / 8706)

    Capteur Inline (types 8626 / 8006; 8716 / 8706) Ce capteur fonctionne selon le principe de l'anémomètre à film chaud dans le mode dit CTA (Constant Temperature Anemometer) . Avec ce système, deux résistances avec coefficients de température définis avec précision sont directement exposées au flux gazeux, et trois autres résistances hors de ce flux...

  • Page 86: Capteur Bypass En Technologie Cmosens® (Types 8712 / 8702)

    Capteur bypass en technologie CMOSens ® (types 8712 / 8702) Avec cette technologie, le débit massique est mesuré dans un canal d'écoulement de forme spéciale, dont la paroi contient une puce Si sur une membrane décapée ® en un point. Sur cette membrane sont appliqués en technologie CMOSens résistance de chauffage et symétriquement en amont et en aval de celle-ci deux capteurs de température.

  • Page 87: Capteur Bypasse En Technique Classique (Types 8710 / 8700)

    Capteur bypasse en technique classique (types 8710 / 8700) La mesure repose également sur le principe de bypass (dérivation). Un élement d'écoulement laminaire dans le canal principal crée une faible perte de charge. Celle-ci entraîne un faible débit, proportionnel au débit total, dans le tube du capteur proprement dit.

  • Page 88: Electronique De Régulation

    Electronique de régulation Le traitement des valeurs de consigne et des débits instantanés ainsi que le pilotage de l'organe de réglage sont exécutés par une électronique à microprocesseurs. Le signal du capteur est filtré par l'électronique du régulateur, puis est converti en une valeur reflétant le débit instantané...

  • Page 89: Vanne Proportionnelle

    Selon l’exécution de l’appareil, la valeur de consigne peut être appliquée soit via l’entrée normalisée comme signal analogique, soit comme signal numérique via l’interface de bus de terrain. Indépendamment de l’état de la régulation, la variable de débit actuelle, mesurée par le capteur, est délivrée comme signal analogique via la sortie normalisée, ou comme signal numérique via l’interface de bus de terrain.
  • Page 90 A partir du débit nominal désiré Q et des pressions p et p , on déterminera nenn ensuite, de manière analogue à l'équation Gl. (1) ou (2), le coefficient minimum de l'installation complète k . L'équation: Vges    ...
  • Page 91 L’installation ne doit pas être dimensionnée trop chichement sur la REMARQUE base du coefficient de débit (k ), pour que la majeure partie de la perte de charge disponible ne soit pas déjà absorbée au débit nominal désiré, et que la dimension nominale de la vanne du MFC ne doive pas être choisie plus grande (kvs >>...

  • Page 92: Caracteristiques Techniques

    CARACTERISTIQUES TECHNIQES Facteurs liés à l'environnement • Fluctuations de température selon EN 60068-2-14, Nb et EN 60068-2-33 • Chaleur humide selon EN 60068-2-38, Z/AD • Chocs selon EN 60068-2-27 • Oscillations selon EN 60068-2-6 • Degrée de protection IP selon EN 60529 •...

  • Page 93: Type 8626 / 8006 Mass Flow Inline

    0,5 mm² (0,75 mm² avec vanne type 2836) Puissance absorbée 20 W - max. 50 W (type 8626, selon vanne) 22,5 W - max. 52,5 W (type 8626 bus selon vanne) 10 W (type 8006) 12,5 W (type 8006 bus)

  • Page 94: Type 8716 / 8706 Mass Flow Inline

    Type 8716 / 8706 MASS FLOW INLINE Gamme de valeur finale (Q 25 à 1500l /min (fluide de référence N nenn Fluides de service gaz neutres, non contaminés, autres sur demande Pression max. de service 10 bar, selon le diamètre nominal de la vanne Fluide d'étalonnage Gaz de servie ou air Température du fluide...

  • Page 95: Type 8712 / 8702 Mass Flow Cmosens

    Type 8712 / 8702 MASS FLOW CMOSens ® Gamme de valeur (Q 0,02 à 50 l /min (fluide de référence N nenn Fluides de service gaz neutres, non contaminés, autres sur demande Pression max. de service 10 bar, selon le diamètre nominal de la vanne Fluide d'étalonnage Gaz de service ou air Température du fluide...

  • Page 96: Type 8710 / 8700 Mass Flow Bypass Standard

    Type 8710 / 8700 MASS FLOW Bypass Standard Gamme de valeur finale (Q 0,05 à 30 l / min (fluide de référence N nenn Fluides de service gaz neutres, non contaminés, autres sur demande Pression max. de service 10 bar, selon le diamètre nominal de la vanne Fluide d'étalonnage Gaz de service ou air Température du fluide...

  • Page 97: Montage, Installation Et Mise En Service

    MONTAGE, INSTALLATION ET MISE EN SERVICE Dessins cotés Figure: Type 8626/8006 MASS FLOW INLINE Figure: Type 8716/8706 MASS FLOW INLINE Figure: Type 8712/8702 MASS FLOW CMOSens ® MFC/MFM - 95...

  • Page 98: Recommandations Générales Pour L'installation Et La Mise En Sericve

    Figure: Type 8710 / 8700 MASS FLOW Bypass Standard Recommandations générales pour l'installation et la mise en sericve Avant l'installation, observer les points suivants: Prévoir en amont des filtres appropriés afin de garantir la propreté du fluide de service. Observer la position de montage (voir les données d'étalonnage). Prévoir une unité...

  • Page 99: Exploitation Avec Robinet D'arrêt Supplémentaire

    Prière de sélectionner le raccord correspondant dans le tableau de l’annexe B. Raccords sur MFC/MFM Filetages standard Filetages spéciaux Type G 1/4" G 3/8" G 1/2" G 3/4" NPT 1/4 NPT 3/8 NPT1/2 NPT3/4 8626 8006 8716 8706 8712 8702...

  • Page 100: Montage De Raccords À Bague De Serrage

    Montage de raccords à bague de serrage ATTENTION! En cas de faible débit et de pression élevée, accorder son attention à l’étanchéité du circuit afin d’éviter les erreurs de dosage ou de fuites de gaz. Pour assurer une bonne étanchéité du système, procéder au montage comme suit: Monter les raccords de tuyauterie sans tension (le cas échéant, utiliser des compensateurs).

  • Page 101: Brochage Des Connecteurs Type 8626 / 8006

    Relais 2 - contact de travail REMARQUE Si l’on doit remplacer un appareil du type 8626/8006 d’avant 2003 par un modèle plus récent (à partir de 2003), ceci peut être fait à l’aide d’un adaptateur (voir l’annexe A) sans nécessiter de câblage supplémentaire.

  • Page 102: Brochage Des Connecteurs Type 8716 / 8706

    Brochage des connecteurs type 8716 / 8706 Prise SUB-D 9 pôle (exécution bus seulement) PROFIBUS DP DeviceNet Blindage (FE) terre fonctionnelle CAN_L ligne de N. C. (non connecté) données RxD/TxD-P ligne B RTS signal de commande pour N. C. répétiteur GND potentiel de transmission des N.

  • Page 103: Brochage Des Connecteurs Type 8712 / 8702

    Brochage des connecteurs type 8712 / 8702 Prise SUB-D 9 pôle (exécution bus seulement) PROFIBUS DP DeviceNet Blindage (FE) terre fonctionnelle CAN_L ligne de N. C. (not connecté) données RxD/TxD-P ligne B RTS signal de commande pour N. C. répétiteur GND potentiel de transmission des N.

  • Page 104: Brochage Des Connecteurs Type 8710 / 8700

    Brochage des connecteurs type 8710 / 8700 Prise SUB-D 15 pôles Sortie à relais - contact de repos Sortie à relais - contact de travail Sortie à relais - contact central Alimentation 24 V GND Alimentation 24 V + Sortie 8 V (utilisation interne seulement) Entrée valeur de consigne GND Entrée valeur de consigne + Sortie variable instantanée GND...

  • Page 105: Entrées / Sorties

    Branchement de bus Les types 8626, 8006, 8716, 8706, 8712 et 8702 sont disponibles en version bus. La valeur de consigne et la variable instantanée sont émises et reçues via le bus sous forme de signaux numériques. On a le choix entre le branchement PROFI- BUS DP ou DeviceNet (voir le complément aux instructions de service pour...

  • Page 106: Diodes Luminescentes Pour L'affichage Des Modes Opérationnels (Dispositions De Base)

    Diodes luminescentes pour l'affichage des modes opérationnels (dispositions de base) LED POWER allumée L'appareil se trouve sous tension de service. clignote Fonction Autotune active (verte) LED COMMUNICATION allumée L'appareil communique via le bus ou RS232. non prévue sur 8710/8700) (jaune) LED LIMIT (y) allumée Sur MFC: indique que la variable réglante de la vanne...

  • Page 107: Sorties Binaires (Configuration Par Défaut)

    Sorties binaires (configuration par défaut) Les entrées binaires sont réalisées sous forme de sortie à relais (contacts inverseurs hors potentiel). Fonctions Relais 1 LIMIT (y) Relais 2* ERROR (en cas d'erreur critique, par ex. rupture de capteur ou défaut interne d'alimentation) * (non disponible sur 8710/00) Les fonctions des LED (LED POWER et ERROR non REMARQUE...

  • Page 108: Mode De Régulation Standard

    Mode de régulation standard Il s’agit du mode normal d’exploitation, que le MFC adopte immédiatement après la mise sous tension et une courte phase d’initialisation. Dans la zone des LED, seule la LED Power verte est allumée. Le débit est réglé sur la valeur de consigne spécifiée avec une dynamique élevée. Les perturbations, suite par exemple à...

  • Page 109: Fonction De Sécurité

    REMARQUE Durant le contrôle final en usine, chaque MFC a subi la routine Autotune avec la pression de service spécifiée dans le rapport d’étalonnage. Pour assurer une régulation sûre de l’installation, il n’est pas impérativement nécessaire de répéter cette fonction après la mise en service.

  • Page 110: Entretien

    En cas d’infiltration d’une grande quantité de particules après une longue période d’exploitation avec un fluide contaminé, il est possible, sur les types 8626, 8006, 8716, 8706, 8712 et 8702 de nettoyer ou de remplacer le tamis en acier inoxydable après avoir déposé...

  • Page 111: Depannage / Localisation Des Defauts

    DEPANNAGE / LOCALISATION DES DEFAUTS Problème Cause probable Correction La LED "POWER" Pas d'alimentation électrique Contrôler le branchement ne s'allume pas électrique. La LED "POWER" Autotune en cours Voir le chapitre Modes clignote opérationnels. La LED "POWER" La tension d'alimentation est Adoptez une unité...
  • Page 112 (→ Convexion propre accrue, actuelles. faible débit. seulement sur 8716 et 8626) Position de montage erronées Monter le MFC à la position (→ Convexion propre accrue, spécifiée pour l'étalonnage ou seulement sur 8716 et 8626) exécuter un Autotune pour...

  • Page 113: Annexe A: Accessoires (Electriques)

    Adaptateur RS232 pour raccordement d'un PC avec un câble 654757 rallonge (n° de commande 917039) Adaptateur de raccordement (DB9/m-DB15HD/m) pour remplacement d'un appareil type 8626/8006 (avant année 787923 2003) par un type plus récent (dès année 2003) → pas de protection IP 65 Prise SUB-D 15 pôle, connexion soudée...

  • Page 114: Annexe B: Accessoires (Fluidiques)

    MFM sous le type 1013 du catalogue d'accessoires Bürkert. Pièces de rechange Désignation N° de commande Tamis acier inoxydable pour 8626/8006 et 8716/8706 (boîtier standard) 646808 Tamis acier inoxydable pour 8626/8006 et 8716/8706 (boîtier AF60) 651694 Tamis acier inoxydable pour 8712/8702...

  • Page 115: Annexe C: Massflowcommunicator (Logiciel Pc)

    ANNEXE C: MassFlowCommunicator (LOGICIEL PC) Le logiciel PC MassFlowCommunicator a été conçu pour assurer les communications avec les appareils de la famille MassFlowController de la société Bürkert. Il est utilisé pour la configuration, la lecture et l'écriture de différents paramètres. REMARQUE Ce programme fonctionne sur une plate-forme Windows et nécessite une interface sérielle (RS 232) pour communiquer avec...
  • Page 116 114 - MFC/MFM...
  • Page 118 Int.(+46 8)724 60 22, Nat.(08)724 60 22 Bürkert Contromatic, S.A.R.L. 13/15 rue Eugène Hénaff BC-SA South Africa, Südafrika F-93012 Bobigny Z.I. Burkert Contromatic Pty. Ltd. Phone: Int.(+331)48 10 31 10,Nat.(01)48 10 31 10 P.O.Box 26260 Fax: Int.(+331)48 43 61 04,Nat.(01)48 43 61 04 East Rand 1462...
  • Page 119 Addresses of BC offices/Adressliste BC Länder APAC BC-MAL Malaysia, Malaysia BC-HKG (China) Hong Kong, Hongkong Burkert Contromatic Singapore Pte Ltd Burkert Contromatic (China/HK) Ltd. Representative Office Unit 708 Prosperity Centre, 77 - 81, c/o TBP 222, Jalan Baru Container Port Road 137000 Perai, Penang Kwai Chung, N.T.
  • Page 120 Addresses of BC offices/Adressliste BC Länder NAFTA C-BRA Brazil, Brasilien Burkert Contromatic Brasil Ltda. Rua Américo Brasiliense, 2171- cj.1007 04715-005 São Paulo - SP Brazil Phone: Int.(+55 11)5182 0612, Nat.(011)5182 0612 Fax: Int.(+55 11)5182 8899, Nat.(011)5182 8899 BC-CDN Canada, Kanada Burkert Contromatic Inc.
  • Page 121 Adressliste Bürkert Fluid Control Systems Deutschland Vertriebs-Center Nord Holzener Straße 70 Berlin 58708 Menden Bruno-Taut-Straße 4 Telefon: Int. (+492373)968161, Nat. (02373)968161 12524 Berlin Fax: Int. (+492373)968165, Nat. (02373)968165 Telefon: Int. (+4930)6797170, Nat. (030)6797170 Fax: Int. (+4930)67971766, Nat. (030)67971766 Süd Christian-Bürkert-Straße 13-17 Hannover 74653 Ingelfingen Rendsburger Straße 12...
  • Page 124 The smart choice of Fluid Control Systems www.buerkert.com...

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