Table des Matières
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Operating Instructions
Bedienungsanleitung
Instructions de Service
Type 8626, 8716, 8712, 8710 Mass Flow Controller (MFC)
Type 8006, 8706, 8702, 8700 Mass Flow Meter (MFM)
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Sommaire des Matières pour Burkert 8626

  • Page 40 38 - MFC/MFM...
  • Page 78 76 - MFC/MFM...
  • Page 79 Fonctionnement général ........................Capteurs ..............................Principe de mesure thermique ....................Capteur Inline (types 8626 / 8006; 8716 / 8706) ............. Capteur bypass en technologie CMOSens® (types 8712 / 8702) ....... Capteur bypasse en technique classique (types 8710 / 8700) ......
  • Page 80 Raccords ............................... Montage de raccords à bague de serrage ................. Raccordements électriques ......................Brochage des connecteurs type 8626 / 8006 ..............Brochage des connecteurs type 8716 / 8706 ............... Brochage des connecteurs type 8712 / 8702 ............... Brochage des connecteurs type 8710 / 8700 ...............
  • Page 81: Remarques Generales

    REMARQUES GENERALES Symboles de représentation Les symboles de représentation suivants sont utilisés dans ces instructions de service: désigne une étape de travail devant être exécutée. ATTENTION! désigne une mise en garde dont l'inobservation pourrait mettre en danger votre santé ou l'intégrité. REMARQUE désigne des informations supplémentaires, conseils et recommandations importantes.
  • Page 82: Fourniture

    Contrôler dès réception de l'envoi que le contenu n'a subi aucun dommage et qu'il correspond bien à la fourniture spécifiée. Celle-ci comprend généralement: • MFC ou MFM type 8626, 8006 ou 87xx • les instructions de service sur papier (le cas échéant sur support de données)
  • Page 83: Description Du Systeme

    Sensirion SA (Suisse). Fonctionnement général Les MFC du type 8626, 8716, 8712 et 8710 sont des appareils compatibles dont la fonction et de contrôler le débit massique de gaz. Ils assurent la régulation en fonction d'une consigne de débit prédéterminée, indépendamment des grandeurs...
  • Page 84: Capteurs

    La définition de la consige (w) s'effectue électriquement via un signal normalisé ou un bus de terrain. La valeur instantanée (x) détectée par le système est comparée à l'intérieur du régulateur avec la valeur de consigne. Le régulateur délivre comme valeur réglante un signal en tension modulé à largeur d'impulsion variable à...
  • Page 85: Capteur Inline (Types 8626 / 8006; 8716 / 8706)

    Capteur Inline (types 8626 / 8006; 8716 / 8706) Ce capteur fonctionne selon le principe de l'anémomètre à film chaud dans le mode dit CTA (Constant Temperature Anemometer) . Avec ce système, deux résistances avec coefficients de température définis avec précision sont directement exposées au flux gazeux, et trois autres résistances hors de ce flux...
  • Page 86: Capteur Bypass En Technologie Cmosens® (Types 8712 / 8702)

    Capteur bypass en technologie CMOSens ® (types 8712 / 8702) Avec cette technologie, le débit massique est mesuré dans un canal d'écoulement de forme spéciale, dont la paroi contient une puce Si sur une membrane décapée ® en un point. Sur cette membrane sont appliqués en technologie CMOSens résistance de chauffage et symétriquement en amont et en aval de celle-ci deux capteurs de température.
  • Page 87: Capteur Bypasse En Technique Classique (Types 8710 / 8700)

    Capteur bypasse en technique classique (types 8710 / 8700) La mesure repose également sur le principe de bypass (dérivation). Un élement d'écoulement laminaire dans le canal principal crée une faible perte de charge. Celle-ci entraîne un faible débit, proportionnel au débit total, dans le tube du capteur proprement dit.
  • Page 88: Electronique De Régulation

    Electronique de régulation Le traitement des valeurs de consigne et des débits instantanés ainsi que le pilotage de l'organe de réglage sont exécutés par une électronique à microprocesseurs. Le signal du capteur est filtré par l'électronique du régulateur, puis est converti en une valeur reflétant le débit instantané...
  • Page 89: Vanne Proportionnelle

    Selon l’exécution de l’appareil, la valeur de consigne peut être appliquée soit via l’entrée normalisée comme signal analogique, soit comme signal numérique via l’interface de bus de terrain. Indépendamment de l’état de la régulation, la variable de débit actuelle, mesurée par le capteur, est délivrée comme signal analogique via la sortie normalisée, ou comme signal numérique via l’interface de bus de terrain.
  • Page 90 A partir du débit nominal désiré Q et des pressions p et p , on déterminera nenn ensuite, de manière analogue à l'équation Gl. (1) ou (2), le coefficient minimum de l'installation complète k . L'équation: Vges    ...
  • Page 91 L’installation ne doit pas être dimensionnée trop chichement sur la REMARQUE base du coefficient de débit (k ), pour que la majeure partie de la perte de charge disponible ne soit pas déjà absorbée au débit nominal désiré, et que la dimension nominale de la vanne du MFC ne doive pas être choisie plus grande (kvs >>...
  • Page 92: Caracteristiques Techniques

    CARACTERISTIQUES TECHNIQES Facteurs liés à l'environnement • Fluctuations de température selon EN 60068-2-14, Nb et EN 60068-2-33 • Chaleur humide selon EN 60068-2-38, Z/AD • Chocs selon EN 60068-2-27 • Oscillations selon EN 60068-2-6 • Degrée de protection IP selon EN 60529 •...
  • Page 93: Type 8626 / 8006 Mass Flow Inline

    0,5 mm² (0,75 mm² avec vanne type 2836) Puissance absorbée 20 W - max. 50 W (type 8626, selon vanne) 22,5 W - max. 52,5 W (type 8626 bus selon vanne) 10 W (type 8006) 12,5 W (type 8006 bus)
  • Page 94: Type 8716 / 8706 Mass Flow Inline

    Type 8716 / 8706 MASS FLOW INLINE Gamme de valeur finale (Q 25 à 1500l /min (fluide de référence N nenn Fluides de service gaz neutres, non contaminés, autres sur demande Pression max. de service 10 bar, selon le diamètre nominal de la vanne Fluide d'étalonnage Gaz de servie ou air Température du fluide...
  • Page 95: Type 8712 / 8702 Mass Flow Cmosens

    Type 8712 / 8702 MASS FLOW CMOSens ® Gamme de valeur (Q 0,02 à 50 l /min (fluide de référence N nenn Fluides de service gaz neutres, non contaminés, autres sur demande Pression max. de service 10 bar, selon le diamètre nominal de la vanne Fluide d'étalonnage Gaz de service ou air Température du fluide...
  • Page 96: Type 8710 / 8700 Mass Flow Bypass Standard

    Type 8710 / 8700 MASS FLOW Bypass Standard Gamme de valeur finale (Q 0,05 à 30 l / min (fluide de référence N nenn Fluides de service gaz neutres, non contaminés, autres sur demande Pression max. de service 10 bar, selon le diamètre nominal de la vanne Fluide d'étalonnage Gaz de service ou air Température du fluide...
  • Page 97: Montage, Installation Et Mise En Service

    MONTAGE, INSTALLATION ET MISE EN SERVICE Dessins cotés Figure: Type 8626/8006 MASS FLOW INLINE Figure: Type 8716/8706 MASS FLOW INLINE Figure: Type 8712/8702 MASS FLOW CMOSens ® MFC/MFM - 95...
  • Page 98: Recommandations Générales Pour L'installation Et La Mise En Sericve

    Figure: Type 8710 / 8700 MASS FLOW Bypass Standard Recommandations générales pour l'installation et la mise en sericve Avant l'installation, observer les points suivants: Prévoir en amont des filtres appropriés afin de garantir la propreté du fluide de service. Observer la position de montage (voir les données d'étalonnage). Prévoir une unité...
  • Page 99: Exploitation Avec Robinet D'arrêt Supplémentaire

    Prière de sélectionner le raccord correspondant dans le tableau de l’annexe B. Raccords sur MFC/MFM Filetages standard Filetages spéciaux Type G 1/4" G 3/8" G 1/2" G 3/4" NPT 1/4 NPT 3/8 NPT1/2 NPT3/4 8626 8006 8716 8706 8712 8702...
  • Page 100: Montage De Raccords À Bague De Serrage

    Montage de raccords à bague de serrage ATTENTION! En cas de faible débit et de pression élevée, accorder son attention à l’étanchéité du circuit afin d’éviter les erreurs de dosage ou de fuites de gaz. Pour assurer une bonne étanchéité du système, procéder au montage comme suit: Monter les raccords de tuyauterie sans tension (le cas échéant, utiliser des compensateurs).
  • Page 101: Brochage Des Connecteurs Type 8626 / 8006

    Relais 2 - contact de travail REMARQUE Si l’on doit remplacer un appareil du type 8626/8006 d’avant 2003 par un modèle plus récent (à partir de 2003), ceci peut être fait à l’aide d’un adaptateur (voir l’annexe A) sans nécessiter de câblage supplémentaire.
  • Page 102: Brochage Des Connecteurs Type 8716 / 8706

    Brochage des connecteurs type 8716 / 8706 Prise SUB-D 9 pôle (exécution bus seulement) PROFIBUS DP DeviceNet Blindage (FE) terre fonctionnelle CAN_L ligne de N. C. (non connecté) données RxD/TxD-P ligne B RTS signal de commande pour N. C. répétiteur GND potentiel de transmission des N.
  • Page 103: Brochage Des Connecteurs Type 8712 / 8702

    Brochage des connecteurs type 8712 / 8702 Prise SUB-D 9 pôle (exécution bus seulement) PROFIBUS DP DeviceNet Blindage (FE) terre fonctionnelle CAN_L ligne de N. C. (not connecté) données RxD/TxD-P ligne B RTS signal de commande pour N. C. répétiteur GND potentiel de transmission des N.
  • Page 104: Brochage Des Connecteurs Type 8710 / 8700

    Brochage des connecteurs type 8710 / 8700 Prise SUB-D 15 pôles Sortie à relais - contact de repos Sortie à relais - contact de travail Sortie à relais - contact central Alimentation 24 V GND Alimentation 24 V + Sortie 8 V (utilisation interne seulement) Entrée valeur de consigne GND Entrée valeur de consigne + Sortie variable instantanée GND...
  • Page 105: Entrées / Sorties

    Branchement de bus Les types 8626, 8006, 8716, 8706, 8712 et 8702 sont disponibles en version bus. La valeur de consigne et la variable instantanée sont émises et reçues via le bus sous forme de signaux numériques. On a le choix entre le branchement PROFI- BUS DP ou DeviceNet (voir le complément aux instructions de service pour...
  • Page 106: Diodes Luminescentes Pour L'affichage Des Modes Opérationnels (Dispositions De Base)

    Diodes luminescentes pour l'affichage des modes opérationnels (dispositions de base) LED POWER allumée L'appareil se trouve sous tension de service. clignote Fonction Autotune active (verte) LED COMMUNICATION allumée L'appareil communique via le bus ou RS232. non prévue sur 8710/8700) (jaune) LED LIMIT (y) allumée Sur MFC: indique que la variable réglante de la vanne...
  • Page 107: Sorties Binaires (Configuration Par Défaut)

    Sorties binaires (configuration par défaut) Les entrées binaires sont réalisées sous forme de sortie à relais (contacts inverseurs hors potentiel). Fonctions Relais 1 LIMIT (y) Relais 2* ERROR (en cas d'erreur critique, par ex. rupture de capteur ou défaut interne d'alimentation) * (non disponible sur 8710/00) Les fonctions des LED (LED POWER et ERROR non REMARQUE...
  • Page 108: Mode De Régulation Standard

    Mode de régulation standard Il s’agit du mode normal d’exploitation, que le MFC adopte immédiatement après la mise sous tension et une courte phase d’initialisation. Dans la zone des LED, seule la LED Power verte est allumée. Le débit est réglé sur la valeur de consigne spécifiée avec une dynamique élevée. Les perturbations, suite par exemple à...
  • Page 109: Fonction De Sécurité

    REMARQUE Durant le contrôle final en usine, chaque MFC a subi la routine Autotune avec la pression de service spécifiée dans le rapport d’étalonnage. Pour assurer une régulation sûre de l’installation, il n’est pas impérativement nécessaire de répéter cette fonction après la mise en service.
  • Page 110: Entretien

    En cas d’infiltration d’une grande quantité de particules après une longue période d’exploitation avec un fluide contaminé, il est possible, sur les types 8626, 8006, 8716, 8706, 8712 et 8702 de nettoyer ou de remplacer le tamis en acier inoxydable après avoir déposé...
  • Page 111: Depannage / Localisation Des Defauts

    DEPANNAGE / LOCALISATION DES DEFAUTS Problème Cause probable Correction La LED "POWER" Pas d'alimentation électrique Contrôler le branchement ne s'allume pas électrique. La LED "POWER" Autotune en cours Voir le chapitre Modes clignote opérationnels. La LED "POWER" La tension d'alimentation est Adoptez une unité...
  • Page 112 (→ Convexion propre accrue, actuelles. faible débit. seulement sur 8716 et 8626) Position de montage erronées Monter le MFC à la position (→ Convexion propre accrue, spécifiée pour l'étalonnage ou seulement sur 8716 et 8626) exécuter un Autotune pour...
  • Page 113: Annexe A: Accessoires (Electriques)

    Adaptateur RS232 pour raccordement d'un PC avec un câble 654757 rallonge (n° de commande 917039) Adaptateur de raccordement (DB9/m-DB15HD/m) pour remplacement d'un appareil type 8626/8006 (avant année 787923 2003) par un type plus récent (dès année 2003) → pas de protection IP 65 Prise SUB-D 15 pôle, connexion soudée...
  • Page 114: Annexe B: Accessoires (Fluidiques)

    MFM sous le type 1013 du catalogue d'accessoires Bürkert. Pièces de rechange Désignation N° de commande Tamis acier inoxydable pour 8626/8006 et 8716/8706 (boîtier standard) 646808 Tamis acier inoxydable pour 8626/8006 et 8716/8706 (boîtier AF60) 651694 Tamis acier inoxydable pour 8712/8702...
  • Page 115: Annexe C: Massflowcommunicator (Logiciel Pc)

    ANNEXE C: MassFlowCommunicator (LOGICIEL PC) Le logiciel PC MassFlowCommunicator a été conçu pour assurer les communications avec les appareils de la famille MassFlowController de la société Bürkert. Il est utilisé pour la configuration, la lecture et l'écriture de différents paramètres. REMARQUE Ce programme fonctionne sur une plate-forme Windows et nécessite une interface sérielle (RS 232) pour communiquer avec...
  • Page 116 114 - MFC/MFM...

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