Installatie; Gebruiksaanwijzingen - Varian 969-9085 Série Mode D'emploi

ALGEMENE INFORMATIE
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens
het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet
aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht
nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet
hiervoor opgeleid personeel,
toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke
nationale wetgeving.
De pompen van de serie Turbo-V2000HT zijn turbomoleculaire
pompen voor hoge en ultrahoge vacu¸mtoepassingen, die in staat
zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn niet
geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes.
Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende
turbine (max. 33000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een
elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De Turbo-
V2000HT pompen zijn volledig vrij van verontreinigingen en zijn
dus ook geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacu¸m
verlangen.
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te
verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage
"Technical information".
Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen:
!
GEVAAR!
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt
op een speciale procedure of methode die, indien niet correct
uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
!
ATTENTIE
Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.
OPMERKING
De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is
gelicht.
OPSLAG
Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de
Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen, moeten de
volgende voorschriften in acht worden genomen:
•
tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet
aan de volgende omgevingscondities worden voldaan:
•
temperatuur: van ñ20 QC tot 70 QC
•
relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet condenserend)
•
de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft-
Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de
eerste keer in werking worden gesteld
•
de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10
maanden vanaf de verzenddatum.
!
ATTENTIE!
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de
pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie
wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke
vertegenwoordiger van Varian.
UITPAKKEN
De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking
geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het
transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen
met het plaatselijke verkoopkantoor.
Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen of stoten
te verduren krijgt.
Laat de verpakking niet
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de
EEG milieurichtlijn 85/399.
reparaties waarvoor geen
!
ergens buiten achter. Het
!
Om ontgassingsproblemen
componenten die met het vacu¸m in aanraking komen niet
met de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd
handschoenen of een andere geschikte bescherming.
De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan
de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om
de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem
wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt
voorkomen.

INSTALLATIE

!
De pomp moet, in verband met haar gewicht, met speciale hef- en
vervoerswerktuigen verplaatst worden.
Gebruik voor dit doel de specifieke hijsogen die in de M8
schroefdraadopeningen in het pompomhulsel geschroefd moeten
worden.
Controleer of de pomp geschikt voor de eigen toepassing is. De pomp
is ontworpen voor gebruik binnen PVD pompsystemen of in het
algemeen voor toepassingen waarvoor een ìschoonî vacu¸m is vereist.
Neem contact op met Varian Vacuum Technologies of uw leverancier
voor andere toepassingen.
!
Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem
wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop
verwijderd worden.
11

GEBRUIKSAANWIJZINGEN

ATTENTIE
!
te voorkomen, mogen
OPMERKING
GEVAAR!
ATTENTIE
!
87-900-914-01(F)
de