Varian 969-9085 Série Mode D'emploi page 19

Pumpen m ikke installeres eller bruges i omgivelser, der
udsÊtter den for forvitring (regn, frost, sne), st¯v, Êtsende
luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller stor
brandfare.
NEJ!
!
ADVARSEL!
For at undg personskader m fingre eller andre genstande
aldrig indsÊttes i turbopumpens indl¯bsdysen. Det anbefales
at anvende beskyttelsesnettet
anvendes en befugter eller en blÊsebÊlg af metal pÂ
indl¯bsdysen, skal turbopumpen altid fastg¯res til basen.
F¯lgende betingelser skal overholdes under driften:
- maksimaltryk: 2 bar (over atmosfÊrisk tryk)
- temperatur: fra +5RC til +35RC
- relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende).
Hvis der findes magnetfelter m pumpen afskÊrmes. Se bilag
ìTechnical Informationî for yderligere detaljer.
TurbomolekulÊrpumperne i Turbo-V2000HT serien m kun
anvendes med en af de sÊrlige Varian kontrolapparater (serie
969-9462, 969-9562) og skal forbindes med en primÊr pumpe
(se skemaet i "Technical Information").
Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling.
!
ADVARSEL!
Pumpens effektniveau skal tilpasses i forhold til den pumpede
gastype. Ved at benytte styreenheden (se brugsanvisningen for
styreenheden) er det muligt at vÊlge LUFT eller ARGON
(standardindstilling: ARGON). Kontakt venligst Varian, hvis
pumpen skal benyttes til andre gastyper.
Den fastspÊndes ved, at
fastg¯res til en fast modflange, der er i stand til at modst et
drejningsmoment p 20000 Nm omkring aksen.
Turbopumperne med ISO indl¯bsflange skal fastspÊndes til
vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer. F¯lgende
tabel angiver det n¯dvendige antal af klemmer og det anvendte
tilspÊndingsmoment for de enkelte flangedimensioner og typer af
klemmer.
FLANGE KLEMMETYPE
ISO 250 Dobbelt klemme,
gevind M10
Enkelt klemme,
gevind M10
Turbopumpen med ISO F 250 indgangsflange (fastboltet) skal
fastg¯res til vakuumkammeret ved hjÊlp af 12 M10 bolte.
Turbopumpen med indl¯bsflange ConFlat skal fastspÊndes til
vakuumkammeret ved hjÊlp af de specielle fastg¯relsesdele fra
Varian. For detaljer henvises til îTechnical Informationî.
Se "Technical Information" for montering af optionals.
(optional). SÂfremt der
turbopumpens indgangsflange
ANT. DREJNINGS-
MOMENT
12 22 Nm
12 22 Nm
ANVENDELSE
Al vejledning angÂende turbopumpens korrekte drift er beskrevet i
hÂndbogen til kontrolenheden.
LÊs den nÊvnte hÂndbog omhyggeligt f¯r brugen.
For at opn bedre grÊnsetryk kan pumpebeklÊdningen
opvarmes. I forbindelse
vakuumkammeret m temperaturen for indgangsflangen og
rotoren ikke overskride 120R C. Brug altid vandafk¯ling under
opvarmningen.
!
R¯r ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbeh¯r under
opvarmningsman¯vrerne. Den h¯je temperatur kan forÂrsage
kvÊstelser p personer.
Til pumpens luftafl¯b anvendes luft eller en inaktiv luftart, der er fri
for st¯v og partikler. Indgangstrykket gennem den sÊrlige Âbning
skal vÊre under 2 bar.
Undg sammenst¯d, vibrationer eller bratte bevÊgelser i
forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for beskadi-
gelse af lejerne.
Til pumpning af Êtsende luftarter er disse pumper forsynet med
en sÊrlig Âbning, hvortil den passive luftart (argon eller kvÊlstof)
skal sluttes for at beskytte lejerne (se bilaget ìTechnical
Informationî).
!
NÂr pumpen anvendes til pumpning af giftige, brandfarlige eller
radioaktive gasser, skal de gÊldende forskrifter for den enkelte
gastype strengt overholdes.
Pumpen m ikke anvendes i eksplosionsfarlige milj¯er.
VEDLIGEHOLDELSE
Pumperne af Turbo-V2000HT typen beh¯ver ikke nogen
vedligeholdelse. Ethvert indgreb p pumpen skal foretages af
autoriseret personale.
!
Inden der foretages noget som helst indgreb p turbopumpen,
skal str¯mmen f¯rst afbrydes og luften lukkes ud af pumpen ved,
at man Âbner den sÊrlige ventil og venter indtil rotoren er standset
helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end 50RC.
Hvis pumpen gÂr i stykker, kan man benytte sig af Varians
reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange Service",
hvorved man kan f en repareret pumpe i bytte for den, der er gÂet
i stykker.
Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller til
"Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen
"Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne hÂndbog og tilsende den til
den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlÊgges i
pakken med pumpen ved tilbagesendelsen.
Hvis en pumpe skal
overensstemmelse med det pÂgÊldende lands sÊrlige love.
14
BRUGSANVISNING
med eventuel opvarmning
ADVARSEL!
!
VIGTIGT!
!
VIGTIGT!
!
VIGTIGT!
ADVARSEL!
ADVARSEL!
BEM8RK
skrottes, skal dette
87-900-914-01(F)
af
foreg i