Varian 969-9085 Série Mode D'emploi page 23

Table des Matières

Publicité

Under bruk m f¯lgende forhold respekteres:
-
maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfÊrisk trykk)
-
temperatur: fra +5MC til +35MC
-
relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens).
NEI!
!
ADVARSEL!
For  unng personskader m du aldri stikke inn fingrene eller
annet i turbopumpens inngangsÂpning. Vi anbefaler bruk av
beskyttelsesnettet (tilbeh¯r). Dersom en vibrasjonsdemper
eller en fleksibel metallbelge brukes p inngangsÂpningen mÂ
turbopumpen alltid festes til fundamentet.
Ved magnetfelt m pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer.
Se ìTeknisk informasjonî for detaljer.
Turbo-V2000HT serien turbo-molekulÊre pumper m kun brukes
med en av de spesielle Varian kontrollere (serie 969-9462, 969-
9562), og m koples til hovedpumpen (se skjema i "Teknisk
informasjon ").
Turbopumpen kan monteres i en valgfri stilling.
!
ADVARSEL!
EffektnivÂet til pumpen m stilles inn i forhold til gassen som
pumpes. Det er mulig  velge LUFT eller ARGON ved hjelp av
styreenheten (se styreenhetens veiledning) (standardinnstilling:
ARGON). Ta kontakt med Varian dersom pumpen skal brukes til
andre gasstyper.
Fest turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen festet
mot en koplingsflens med et dreiemoment p 20000 Nm rundt
aksen.
Turbopumpene
med
ISO
vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. F¯lgende
tabell angir det n¯dvendige antall klemmer og det relevante
strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene og typer
klemmer.
FLENS
TYPE KLEMME ANT.
ISO 250
Dobbel
klemme,
gjenge M10
Enkel
klemme,
gjenge M10
Turbopumpen med inngangsflens ISO F 250 (fastboltet) skal
festes til vakuumkammeret ved bruk av 12 M10 bolter.
Turbopumpen
med
innl¯psflens
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle lÂsedelene fra Varian.
For detaljer henvises det til ìTechnical Informationî.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk informasjon.
innl¯psflens
skal
festes
STRAMME-
MOMENT
12
22 Nm
12
22 Nm
ConFlat
skal festes
BRUK
Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i
kontrollenhetens manual.
Les n¯ye gjennom denne manualen f¯r pumpen tas i bruk.
For  ¯ke trykkgrensene kan pumpehuset varmes opp med en
varmer som kan fÂs som ekstrautstyr. I tilfelle trykkammeret
varmes opp, m ikke temperaturen til inngangsflensen og rotoren
overskride 120MC.
Bruk alltid vannavkj¯ling under oppvarmingen..
Ikke ber¯r turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen. De h¯ye temperaturene kan f¯re til brannskader.
Bruk st¯v- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av
pumpen. Trykket ved inngangen m ikke vÊre mindre enn 2 bar
(over atmosfÊrisk trykk).
UnngÂ
st¯t,
svingninger
turbinpumpen nÂr den er i funksjon. Lagrene kan skades.
Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med en
spesiell Âpning. Til denne Âpningen skal flyt av inaktive gasser
(argon eller kvelstoff) koples for  beskytte lagrene (se ìTeknisk
informasjonî).
NÂr pumpen brukes for  pumpe giftige, brannfarlige eller
radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte
gasstypene f¯lges.
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige milj¯er.
VEDLIKEHOLD
Turbo-V2000HT serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid pÂ
pumpen m kun utf¯res av autorisert personell.
F¯r noe arbeid gj¯res p turbopumpen m den frakoples
til
tilf¯rselen, den m luftes ved  Âpne den aktuelle ventilen og
deretter
vente
overflatetemperatur er lavere enn 50MC.
Dersom pumpen stanser, m du ta kontakt med Varians
reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice som
kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ¯delagte pumpen.
F¯r pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller som
innbytte for en overhalt pumpe, m det vedlagte skjemaet "Helse
og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale salgskontoret. En
kopi av dette arket m vedlegges pumpen som sendes tilbake.
Dersom en pumpe skal kasseres, m dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.
18
BRUKERVEILEDNING
!
ADVARSEL!
!
FORSIKTIG!
!
FORSIKTIG!
eller
plutselige
bevegelser
!
FORSIKTIG!
!
ADVARSEL!
!
ADVARSEL!
til
rotoren
har
stanset
MERK
87-900-914-01(F)
av
og
pumpens

Publicité

Table des Matières
loading

Ce manuel est également adapté pour:

969-9084 sérieTurbo-v 2000ht

Table des Matières