Dimensions des sondes, des wafers et de la cellule
Cellule de white pour échantil-
lonnage
Cellule de white pour échantillonnage
(E)
Cellule pour échantillonnage
Volume interne
Cellule pour échantillonnage à double fenêtre
Volume interne
Cellule pour échantillonnage (PFA)
Volume interne
Cellule de white
Volume interne
OPL
Longueur
➊
10 000 mm
250 mm
(393.7")
(9.8")
OPL
Diamètre
200 mm
20 mm
(7.9")
(0.8")
400 mm
20 mm
(15.7")
(0.8")
800 mm
20 mm
(31.5")
(0.8")
1 000 mm
20 mm
(39.4")
(0.8")
OPL
Diamètre
200 mm
20 mm
(7.9")
(0.8")
400 mm
20 mm
(15.7")
(0.8")
800 mm
20 mm
(31.5")
(0.8")
1 000 mm
20 mm
(39.4")
(0.8")
OPL
Diamètre
1 000 mm
20 mm
(39.4")
(0.8")
OPL
Diamètre
260 mm
55 mm
(10.2")
(2.2")
Longueur
➋
Longueur
➌
432 mm
S/O
(17.0")
S/O
Volume approx.
39 ml
71 ml
134 ml
165 ml
Volume approx.
31 ml
63 ml
126 ml
157 ml
Volume approx.
157 ml
Volume approx.
618 ml
Longueur
➍
250 mm
(9.8")
75