Table des Matières
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Dimensions des sondes, des wafers et de la cellule
Sonde sans purge (NP)
avec filtre
Sonde sans purge (NP)
Sonde sans purge (NP)
Sonde sans purge (NP)
Remarque : Les dimensions
standard de 100 mm (3.94") et à une épaisseur de bride de 20 mm (0.79").
Pour connaître les dimensions relatives à la longueur totale de la sonde avec d'autres
distances d'écartement, veuillez vous reporter au configurateur de produit.
OPL
Longueur
200 mm
138 mm
(7.9")
(5.4")
400 mm
238 mm
(15.7")
(9.4")
800 mm
438 mm
(31.5")
(17.2")
➋
dans le tableau ci-dessus s'appliquent aux distances d'écartement
➊
Longueur
➋
Longueur
288 mm
161,5 mm
(11.3")
(6.4")
388 mm
261,5 mm
(15.3")
(10.3")
588 mm
461,5 mm
(23.1")
(18.2")
➌
Longueur
➍
138 mm
(5.4")
238 mm
(9.4")
438 mm
(17.2")
59
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