Table des Matières
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10 Mise hors service, stockage et mise au rebut ..........................................................145
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Dimensions et schémas .......................................................................................... 56
Branchements électriques ....................................................................................... 83
5.1 Sécurité électrique et mise à la terre ................................................................... 85
5.2 Branchements sur la tête de sonde..................................................................... 88
5.3 Branchements sur le M400 ..............................................................................103
Service .................................................................................................................105
6.1 Connexion d'un PC ..........................................................................................105
6.2 Le logiciel MT-TDL ...........................................................................................106
6.2.1 Tendance ppm.......................................................................................107
6.2.2 Tendance de transmission ......................................................................108
6.2.3 Enregistrement des données ...................................................................109
6.2.4 Sondes externes .................................................................................... 110
6.2.5 Diagnostic ............................................................................................ 110
6.2.6 Données d'étalonnage ............................................................................ 111
6.2.7 Sorties analogiques (en option) ............................................................... 112
6.3 Visionneuse .................................................................................................... 114
Fonctionnement, maintenance et étalonnage ........................................................... 115
7.1 M400 ............................................................................................................ 115
7.1.1 Démarrage de l'instrument ...................................................................... 115
7.1.2 Arrêt de l'instrument ............................................................................... 115
7.2 Étalonnage de l'analyseur GPro 500 .................................................................. 116
7.2.1 Étalonnage en un point pour GPro 500 ..................................................... 116
7.2.2 Étalonnage procédé des analyseurs de gaz GPro 500 ................................ 117
7.3 Maintenance ................................................................................................... 118
7.3.1 Maintenance de routine .......................................................................... 118
7.3.2 Retrait de la sonde ou du wafer du procédé .............................................. 119
7.3.3 Retrait et nettoyage du cube d'angle ......................................................... 119
7.3.4 Nettoyage de la fenêtre de procédé de la sonde .........................................120
7.3.5 Retrait et nettoyage du filtre ..................................................................... 121
7.4 Étalonnage .....................................................................................................123
7.4.1 Étalonnage procédé ...............................................................................123
7.4.2 Utilisation des cellules d'étalonnage .........................................................123
7.5 Dangers résiduels ...........................................................................................123
7.5.1 Raccords défectueux ..............................................................................123
7.5.2 Panne d'électricité .................................................................................. 124
7.5.3 Protection thermique .............................................................................. 124
7.5.4 Influences externes ................................................................................ 124
Protection anti-explosion .......................................................................................125
8.1 ATEX .............................................................................................................. 125
8.2 Conformité FM (version USA) - Mesure d'oxygène ...............................................138
Dépannage ............................................................................................................143
9.1 Messages d'erreur sur l'unité de commande .......................................................143
10.1 Mise hors service ............................................................................................145
10.2 Stockage ........................................................................................................145
10.3 Mise au rebut .................................................................................................145
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