Figure 10 Configuration De Purge Pour Sonde Wafer (W); Figure 11 Configuration De Purge Pour Sonde Wafer À Double Fenêtre - Mettler Toledo TDLS GPro 500 Mode D'emploi

Figure 10 Configuration de purge pour sonde wafer (W)

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• Filtre en option
Figure 11 Configuration de purge pour sonde wafer à double fenêtre
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2,3 Entrée de purge côté procédé (clapets anti-retour nécessaires).
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• Filtre en option
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Arrivée du gaz de purge côté instrument (en bleu).
La sortie de purge est orientée à 90 degrés vers l'extérieur et n'est pas illustrée.
Arrivée du gaz de purge côté procédé 1. Un clapet anti-retour doit être installé.
Arrivée du gaz de purge côté procédé 2. Un clapet anti-retour doit être installé.
Connexion pour la sonde de température.
1
Entrée de purge côté instrument (en bleu).
La sortie de purge est orientée à 90 degrés vers l'extérieur et n'est pas illustrée.
Connexion pour la sonde de température.
Entrée de purge du cube d'angle.
La sortie de purge est orientée à 90 degrés vers l'extérieur et n'est pas illustrée.
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