Mettler Toledo TDLS GPro 500 Mode D'emploi page 6

Figure 1
Figure 2
Figure 3
Figure 4
Figure 5
Figure 6
Figure 7
Figure 8
Figure 9
Figure 10 Configuration de purge pour sonde wafer (W) .....................................................42
Figure 11 Configuration de purge pour sonde wafer à double fenêtre .....................................42
Figure 12 Configuration de purge pour cellule pour échantillonnage (E) ............................... 43
Figure 13 Configuration de purge pour la double fenêtre de cellule pour échantillonnage ........ 43
Figure 14 Configuration de purge pour cellule pour échantillonnage PFA ............................... 43
Figure 15 Configuration de purge pour cross-pipe .............................................................. 44
Figure 16 Raccordement de la conduite de purge au raccord de purge côté procédé .............. 45
Figure 17 Raccords du rotamètre sur une sonde avec purge standard (SP) .......................... 45
Figure 18 Raccord procédé cross-pipe...............................................................................47
Figure 19 Kit de positionnement du faisceau ..................................................................... 48
Figure 20 Emplacement des vis de réglage ....................................................................... 48
Figure 21 Croix de réglage .............................................................................................. 49
Figure 22 Installation de l'outil de positionnement du faisceau (cible/pointeur laser)
Figure 23 Positionnement du faisceau laser - Position directe ..............................................51
Figure 24 Dimensions de la sonde standard (SP) .............................................................. 56
Figure 25 Dimensions de la sonde sans purge (NP) avec filtre ............................................ 58
Figure 26 Dimensions de la sonde sans purge avec fonction de refoulement (B) ................... 60
Figure 27 Sonde B avec fonction de refoulement connectée au M400 (électrovanne
Figure 28 Sonde B avec fonction de refoulement connectée au M400 (électrovanne
Figure 29 Dimensions de la sonde wafer (W) ................................................................... 64
Figure 30 Dimensions de la sonde wafer (W) à double fenêtre ............................................ 65
Figure 31 Dimensions de la sonde cross-pipe ................................................................... 68
Figure 32 Dimensions de la cellule pour échantillonnage (E) .............................................. 69
Figure 33 Dimensions de la cellule pour échantillonnage à double fenêtre .............................70
Figure 34 Dimensions de la cellule pour échantillonnage PFA ..............................................72
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Schéma de la sonde avec purge standard (SP) ....................................................19
GPro 500équipé de différents raccords procédé .................................................. 20
Boîtier de raccordement (GHG 731 de Malux) (EX-e) ............................................21
Transmetteur M400 Type 3 ................................................................................21
Espace libre minimum autour de la bride de procédé ............................................32
Optimisation du débit de purge .......................................................................... 38
Configuration de la purge en cas d'utilisation d'une sonde
avec purge standard (SP) ..................................................................................41
Configuration de purge pour sonde sans purge (NP) avec et sans filtre ...................41
Configuration de purge pour sonde sans purge (B) avec fonction de refoulement .....41
sur la tête TDL ................................................................................................. 50
raccordée au relais CC) .................................................................................... 62
raccordée au relais CA) .................................................................................... 63
FIGURES