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NEIN!
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GEFAHR!
Um Verletzungen auszuschlieflen, darf auf auf keinen
Fall in die Einlaflˆffnung der Turbopumpe gegriffen oder
irgendwelche Gegenst‰nde eingef¸hrt werden. Es wird emp-
fohlen, ein Schutzgitter zu installieren (Sonderzubehˆr). Bei
Installation eines Ersch¸tterungsd‰mpfers oder eines flexib-
len Metallbalges auf der Einlaflˆffnung mufl die Turbopumpe
immer am Unterteil fest installiert sein.
Die Turbomolekularpumpen der Baureihe Turbo-V 70 d¸rfen
ausschliefllich mit einer der Varian-Spezialsteuerungen betrieben
werden (Baureihen 969-9405, 969-9505, 969-9507 oder 969-
9508) und m¸ssen an eine Prim‰rpumpe angeschlossen werden
(siehe Schema ìTechnical Informationî).
Die Turbopumpen kˆnnen in jeder Position installiert werden.
Befestigen Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position, indem
Sie den Eingangsflansch der Pumpe an einen festen Gegen-
flansch anschlieflen, der um die eigene Achse einem Drehmo-
ment von 200 Nm um seine eigene Achse aush‰lt, oder den als
Option erh‰ltlichen Bausatz f¸r die Befestigung am Sockelteil
benutzen
Turbopumpen mit ISO-Eingangsflansch m¸ssen mittels doppel-
ten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkammer ange-
schlossen werden. In der nachstehenden Tabelle sind die Anzahl
der jeweils erforderlichen Klemmschellen sowie der jeweilige An-
zugsmoment angegeben.
FLANSCH
SCHELLENART
ISO 63
Doppelklemme mit
NM10-Gewinde
Einzelklemme
mit
NM8-Gewinde
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch m¸ssen mit dem
speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer
angeschlossen werden. Weitere Hinweise siehe Anhang ìTechni-
cal Informationî.
Wenn die Pumpen ¸ber ihr Unterteil installiert werden sollen,
m¸ssen in die Bohrungen des Unterteils 3 M4-Schrauben einge-
setzt werden. Die Schrauben m¸ssen eine Dehngrenze von
2
500N/mm
haben und mit einem Anzugsmoment 0,9 Nm angezo-
gen werden.
Installation Sonderzubehˆr: siehe Anhang ìTechnical Informationî.
ANZAHL ANZUGSMOMENT
4
22 Nm
4
11 Nm
ANWENDUNG
S‰mtliche Hinweise f¸r den korrekten Betrieb der Turbopumpe
sind im Handbuch der Steuereinheit enthalten.
Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen
werden.
Um einen optimalen Enddruck zu erhalten, kann das Pumpenge-
h‰use mit einer Heizmanschette (Optional) ausgeheizt werden.
Damit die Flanschgrenztemperatur der Turbopumpe 120[C nicht
¸berschreitet, sollte immer bei ausheizbaren Vakuumsystemen
die TP mit Wasserk¸hlung arbeiten.
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eventuelle heifle Anschluflteile ber¸hrt werden, denn es besteht
Verbrennungsgefahr.
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F¸r die Bel¸ftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie
Luft, oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Bel¸f-
tungsanschlufl mufl kleiner als 2 bar sein.
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W‰hrend des Betriebs sind Stofl- und Vibrationseinwirkungen
sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die
Lager besch‰digt werden kˆnnten.
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Zum Pumpen von aggressiven Gasen d¸rfen nur Sonderausf¸h-
rungen der Pumpe Turbo-V 70 benutzt werden. Diese Pumpen
haben einen Anschlufl, durch die ein Edelgasstrom von 0,4 bis 1
mbar ltr/sec flieflen mufl.
WARTUNG
Die Pumpen der Baureihe Turbo-V 70 sind wartungsfrei. Eventu-
elle Eingriffe d¸rfen nur von autorisierten Fachkr‰ften vorgenom-
men werden.
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Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen,
die Pumpe ¸ber ÷ffnung des entsprechenden Ventils bel¸ften,
warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am
Pumpengheh‰use unter 50[C abgesunken ist.
Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " advanced
exchange service" in Anspruch genommen werden.
Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian mufl
das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgef¸llt an Varian geschickt und best‰tigt wer-
den. Eine Kopie mufl den Frachtpapieren beigelegt werden.
Eine eventuelle Verschrottung mufl unter Einhaltung der ein-
schl‰gigen landes¸blichen Vorschriften erfolgen.
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GEBRAUCHSANLEITUNG
GEFAHR!
ACHTUNG!
ACHTUNG!
ACHTUNG!
GEFAHR!
ANMERKUNG
87-900-860-01(E)
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