Varian 969-9360 Série Mode D'emploi page 19

NEJ!
!
ADVARSEL!
For at udg kvÊstelser m man aldrig af nogen som helst
Ârsag stikke fingrene eller ting ind i turbopumpens
indgangsÂbning. Det anbefales at anvende et beskyttelsesnet
(p eftersp¯rgsel). Hvis der anvendes en vibrationsdÊmper
eller en b¯jelig metaldÊmper p pumpeÂbningen, skal
turbopumpen altid fastg¯res til underlagspladen.
Turbopumpen kan monteres i hvilken som helst stilling. Den
fastspÊndes ved, at turbopumpens indgangsflange fastg¯res til
en fast modflange, der er i stand til at modst et drejningsmoment
p 200 Nm omkring aksen. Pumpen kan ogs fastspÊndes ved
hjÊlp af det sÊrlige udstyr, der fÂs p eftersp¯rgsel.
Turbopumperne med ISO indl¯bsflange skal fastspÊndes til
vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer. F¯lgende
tabel angiver det n¯dvendige antal af klemmer og det anvendte
tilspÊndingsmoment for de enkelte flangedimensioner og typer af
klemmer.
FLANGE KLEMMETYPE
ISO 63 Dobbelt klemme,
gevind M10
Enkelt klemme,
gevind M8
Turbopumpen med indl¯bsflange ConFlat skal fastspÊndes til
vakuumkammeret ved hjÊlp af de specielle fastg¯relsesdele fra
Varian. For detaljer henvises til ìTeknisk informationî.
For at fastspÊnde pumpen til fundamentet er det n¯dvendigt at
anvende tre M4-skruer, som indsÊttes i hullerne p pumpens
fundament. Skruerne skal klare en belastning p 500 N/mm
skruernes korrekte tilspÊndingsmoment er 0,9 Nm.
Se "Technical Information" for montering af optionals.
ANVENDELSE
Al vejledning angÂende turbopumpens korrekte drift er beskrevet i
hÂndbogen til kontrolenheden.
LÊs den nÊvnte hÂndbog omhyggeligt f¯r brugen.
For at opn bedre grÊnsetryk kan pumpebeklÊdningen
opvarmes. Hvis vakuumkammeret opvarmes, m temperaturen pÂ
indgangsflangen ikke overstige 120RC.
Brug altid vandafk¯ling under opvarmningen.
ANTAL TILSPENDING-
SMOMENT
4 22 Nm
4 11 Nm
2
!
R¯r ikke ved turbopumpen eller eventuelt tilbeh¯r under
opvarmningsman¯vrerne. Den h¯je temperatur kan forÂrsage
kvÊstelser p personer.
Til pumpens luftafl¯b anvendes luft eller en inaktiv luftart, der er fri
for st¯v og partikler. Indgangstrykket gennem den sÊrlige Âbning
skal vÊre under 2 bar.
Undg sammenst¯d, vibrationer eller bratte bevÊgelser i
forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for
beskadigelse af lejerne.
Brug kun specialpumperne af Turbo - V 70 typen til pumpning af
Êtsende luftarter. Disse pumper er forsynede med en sÊrlig
Âbning, gennem hvilken den passive luftarts str¯mning skal ligge
mellem 0.4 og 1 mbar l/s.
VEDLIGEHOLDELSE
Pumperne af TURBO-V
vedligeholdelse. Ethvert indgreb p pumpen skal foretages af
autoriseret personale.
!
Inden der foretages noget som helst indgreb p turbopumpen,
skal str¯mmen f¯rst afbrydes og luften lukkes ud af pumpen ved,
at man Âbner den sÊrlige ventil og venter indtil rotoren er standset
helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end 50RC..
Hvis pumpen gÂr i stykker, kan man benytte sig af Varians
reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange Service",
hvorved man kan f en repareret pumpe i bytte for den, der er gÂet
i stykker.
Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller til
"Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen
"Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne hÂndbog og tilsende den til
den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlÊgges i
pakken med pumpen ved tilbagesendelsen.
Hvis en pumpe skal
overensstemmelse med det pÂgÊldende lands sÊrlige love.
14
BRUGSANVISNING
ADVARSEL!
!
PAS P@
!
PAS P@
!
PAS P@
70 typen beh¯ver ikke nogen
ADVARSEL!
BEM7RK
skrottes, skal dette
87-900-860-01(E)
foreg i