Specifiche Tecniche - WIKA WUD-20 Mode D'emploi

9. Specifiche tecniche

9. Specifiche tecniche
Specifiche tecniche
Campo di misura
Sovrapressione di
sicurezza
1)
Pressione di scoppio
1)
Campo di misura
Sovrapressione di
sicurezza
1)
Pressione di scoppio
1)
Principio di misura
Materiale
Parti a contatto con
il fluido
Custodia
Prova di tenuta con elio
"inboard"
Qualità superficiale
Manuale d'uso WIKA, trasduttore Ultra High Purity, modello WUD-2x
Modelli WUD-20, WUD-25 e WUD-26
psi - 30 60
bar - 2 4
psi 120 120 120
psi 1,800 1,800 1,800
psi
bar
psi
psi
Sensore a film sottile
Attacco al processo Acciaio inox 316L secondo SEMI F20 (opzione: 316L VIM/VAR)
Sensore di pressione 2.4711 / UNSR 30003
Parte inferiore 304 SS
Testa in plastica PBT
Tastiera TPE
Cappuccio del PC
display
< 1 x 10-9 mbar l/sec (atm STD cc/sec) secondo SEMI F1
Elettrolucidata, typ. Ra ≤ 0,13 µm (RA 5); max. Ra ≤ 0,18 µm (RA 7) secondo SEMI F19
WUD-20 / WUD-25
WUD-26
100 160 250
7 11 17
210 320 500
2,200 2,600 4,800
350 500 1,000
25 36 70
750 1,100 2,100
6,200 7,400 8,000
2,000 3,000 5,000
145 225 360
4,200 6,600 10,000
10,500 10,500 10,500
1,500
100
3,000
IT
10,500
135