Spécifications - WIKA WUD-20 Mode D'emploi

9. Spécifications
9. Spécifications
Spécifications
Etendue de mesure
FR
Limite de surpression
Pression d'éclatement
Etendue de mesure
Limite de surpression
Pression d'éclatement
Principe de mesure
Matériau
Parties en contact avec
le fluide
Boîtier
Test d'étanchéité hélium
à l'intérieur
Qualité de surface
Zone de rétention
Fluides admissibles
1) 1 psi = 0,069 bar
100
Types WUD-20, WUD-25 et WUD-26
psi - 30
bar - 2
psi 120 120
1)
psi 1,800 1,800
1)
psi
bar
psi
1)
psi
1)
Capteur couche mince
Raccord process
Capteur de pression
Partie inférieure
Tête en plastique
Clavier
Couvercle d'afficheur
< 1 x 10 mbar l/sec (atm STD cc/sec) selon SEMI F1
-9
Electropoli, typ. Ra ≤ 0,13 µm (RA 5); max. Ra ≤ 0,18 µm (RA 7) selon SEMI F19
WUD-20 < 1,5 cm , WUD-25 < 1 cm
3
Gaz spéciaux, brouillard, liquides
Mode d'emploi WIKA, transducteur Ultra Haute Pureté, type WUD-2x
WUD-20 / WUD-25
WUD-26
60 100 160 250
4 7 11 17
120 210 320 500
1,800 2,200 2,600 4,800
Acier inox 316L, selon SEMI F20 (en option : 316L VIM/VAR)
2.4711 / UNSR 30003
304 SS
PBT
TPE
PC
, WUD-26 < 1 cm
3
350 500 1,000
25 36 70
750 1,100 2,100
6,200 7,400 8,000
2,000 3,000 5,000
145 225 360
4,200 6,600 10,000
10,500 10,500 10,500
3
1,500
100
3,000
10,500