Informations Pour Les Commandes De Capteur - Honeywell Satellite XT 9602-0400 FTT Guide D'utilisation

8.1

Informations pour les commandes de capteur

Substance/Capteur
AsH3 Arsine (3 élec.)
AsH3 Arsine (2 élec.)
AsH3 Arsine (2 élec.)
B2H6 Diborane
Br2 Brome
C4F6 Hexafluorobutadiène
C5F8 Octafluorocyclopentène
CH3F Fluorure de méthyle
CH4 Méthane
Cl2 Chlore
ClF3 Trifluorure de chlore
ClO2 Dioxyde de chlore
CO Monoxyde de carbone
COCl2 Phosgène
DCE 1,2 Dichloroéthylène 1,2
C2H4O Oxyde d'éthylène
F2 Fluor
F2 Fluor
GeH4 Germane
H2 Hydrogène (1 %)
H2 Hydrogène (4 %)
H2S Hydrogène sulfuré
H2S Hydrogène sulfuré (org.)
H2Se Séléniure d'hydrogène
HBr Bromure d'hydrogène
HCl Chlorure d'hydrogène
HCN Cyanure d'hydrogène
HF Fluorure d'hydrogène
HMDS Hexaméthyldisilazane
HMDS Hexaméthyldisilazane
N2H4 Hydrazine
NF3 Trifluorure d'azote
NH3 Ammoniac (100 ppm)
NH3 Ammoniac (1 000 ppm)
NO Monoxyde d'azote
NO2 Dioxyde d'azote
O2 Oxygène
O3 Ozone
O3 Ozone
PH3 Phosphine (3 élec.)
PH3 Phosphine (2 élec.)
SF6 Hexafluorure de soufre
SiH4 Silane
SO2 Dioxyde de soufre
TEOS Orthosilicate de tétraéthyle
TMB Borate de triméthyle
Version FTT du Satellite XT
Informations de référence - Section 8
Référence de Plage
capteur nominale
9602-6004 0 ... 1,00
9602-6000 0 ... 1,00
9602-6002 0 ... 10,0
9602-6202 0 ... 1,00
9602-6800 0 ... 5,00
9602-9732 0 ... 50,0
9602-9730 0 ... 20,0
9602-9720 0 ... 0,500
9602-9900 0 ... 100
9602-5300 0 ... 5,00
9602-7410 0 ... 1,00
9602-7400 0 ... 1,00
9602-5400 0 ... 500
9602-6600 0 ... 1,00
9602-9600 0 ... 1 000
9602-8000 0 ... 20,0
9602-6400 0 ... 5,00
9602-6401 0 ... 30
9602-6902 0 ... 5,0
9602-5100 0 ... 1 000
9602-5101 0 ... 4,00
9602-5200 0 ... 100
9602-5201 0 ... 30,0
9602-5601 0 ... 5,00
9602-7000 0 ... 30,0
9602-5800 0 ... 30,0
9602-5700 0 ... 30,0
9602-6500 0 ... 10,0
9602-6714 0 ... 500
9602-6715 0 ... 0,500
9602-7600 0 ... 1,00
9602-9700 0 ... 50,0
9602-6704 0 ... 100
9602-6705 0 ... 1 000
9602-7200 0 ... 250
9602-7300 0 ... 25,0
9602-5500 0 ... 25,0
9602-7100 0 ... 1,00
9602-7101 0 ... 1,00
9602-6102 0 ... 1,00
9602-6100 0 ... 1,00
9602-9710 0 ... 0,500
9602-6301 0 ... 50,0
9602-5900 0 ... 25,0
9602-7500 0 ... 100
9602-7510 0 ... 500
Unité Remarque Filtre
ppm
ppm 1)
ppm 1)
ppm
ppm
ppm 3)
ppm 3)
% vol. 3)
% de LIE 4)
ppm
ppm
ppm
ppm
ppm
ppm 3)
ppm
ppm
ppm
ppm
% vol.
% vol. 2)
ppm
ppm 1)
ppm
ppm
ppm
ppm
ppm
ppm
% vol.
ppm
ppm 3)
ppm
ppm 2)
ppm
ppm
% vol.
ppm
ppm 1)
ppm
ppm 1)
% vol. 3)
ppm
ppm
ppm
ppm
antipoussière
autorisé
Oui
Oui
Oui
Oui
Non
pas de données
pas de données
pas de données
pas de données
Oui
Non
Non
Oui
Oui
pas de données
pas de données
Non
Non
Oui
Oui
Oui
Oui
Oui
Non
Non
Non
Non
Non
Oui
Oui
Non
pas de données
Non
Non
Oui
Oui
Oui
Non
Non
Oui
Oui
pas de données
Oui
Oui
Non
Non
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