Table des Matières
Publicité
Anvendelse
Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse
af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger
udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må
indløbsflangens temperatur ikke overstige 80 °C. Rotorens
temperatur må aldrig overskride 120 °C i forbindelse med brug af
pumpen.
Operatøren skal kontrollere, at den korrekte funktion er indstillet i
forhold til gastypen, som skal pumpes: 1 til kvælstof og lettere
gasarter, 0 til argon (default indstilling). Vedrørende yderligere
detaljer henvises til bilaget "Technical Information".
ADVARSEL!
Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet
vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af lukkeflangen.
Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med
opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i skade på
personer.
Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug af
FORSIGTIG!
turbopumpen. Der er risiko for beskadigelse af lejerne. Pumpen skal forsynes
med luft eller ædelgasser, der ikke indeholder støv eller faste partikler.
Indgangstrykket ved den specielle dør skal være mindre end 1 bar (over
atmosfærisk tryk). I forbindelse med pumpning af gasser, der indeholder partikler
og andre aggressive foruredningsmidler, der skader lejerne, er disse pumper
udstyret med en dør, igennem hvilken det er nødvendigt at forsyne pumpen med
ædelgasser (kvælstof eller helium) for at beskytte lejerne (se bilaget "Technical
Information").
Pumpen må aldrig bruges hvis der er gasser eller ætsende dampe, der kan
FORSIGTIG!
beskadige pumpens indvendige dele.
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01
Istruktionsbog
Anvendelse
(C)
7
131/374
Publicité
Table des Matières
