Table des Matières
Publicité
Bruk
Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet. Les nøye
gjennom denne manualen før systemet tas i bruk.
Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved
inngangsflensen ikke overskride 80 °C.
Mens pumpen er i funksjon må rotorens temperatur aldri overstige
120 °C.
Operatøren må passe på å stille inn riktig driftsmodus i henhold til
gassen som skal pumpes: 1 for nitrogen og lettere gasser, 0 for argon
(standardmodus) i 157 tilkoblingen for seriell kontroll. For ytterligere
detaljer, se vedlegget "Technical Information".
ADVARSEL!
Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret,
eller ikke er lukket med lukkeflensen. Ikke berør turbopumpen eller noe av
tilleggsutstyret under oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til
brannskader.
Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen når den er i
FORSIKTIG!
funksjon. Lagrene kan skades. Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved
forsyning av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 1 bar
(over atmosfærisk trykk). Ved pumping av gasser som inneholder partikler eller
stoffer som er forurensende for lagrene, er disse pumpene utstyrt med en
spesiell dør, som det er nødvendig å bruke for å mate pumpen med en strømning
av uvirksom gass (nitrogen eller helium) for å beskytte lagrene (se vedlegget
"Technical Information").
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01
Instruksjon Manual
(C)
9
Bruk
167/374
Publicité
Table des Matières
