Table des Matières

Publicité

Liens rapides

Manuale di istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de mode d'emploi
Manual de istrucciones
Manual de istruções
Bedrijfshandleiding
Istrukstionsbog
Bruksanvisning
87-900-946-01 (N)
12/2017
TV 301 Navigator
Pump models: 9698918, 9698919,
9698920, 9698921
Kit models: 9698824, 9698825, 9698826,
9698827, 9698828, 9698829, 9698830,
9698831
Controller models: 9698972, 9698973
Instruksjon manual
Ohjekäsikirja
Felhasználói kézikönyv
Podrecznik instrukcji
Návod k použití
Návod na obsluhu
Priročnik za navodila
User Manual

Publicité

Table des Matières
loading

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies TV 301

  • Page 1 TV 301 Navigator Pump models: 9698918, 9698919, 9698920, 9698921 Kit models: 9698824, 9698825, 9698826, 9698827, 9698828, 9698829, 9698830, 9698831 Controller models: 9698972, 9698973 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções...
  • Page 2 Do not “Restricted computer software” as proceed beyond a WARNING notice defined in FAR 52.227-19 (June 1987) until the indicated conditions are or any equivalent agency regulation or fully understood and met. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 3 TV 301 Navigator TV 301 Navigator TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 3/284...
  • Page 4 TV 301 Navigator 4/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 5: Table Des Matières

    Informazioni Generali Immagazzinamento 17 Preparazione per l’installazione 18 Installazione Manutenzione 24 Smaltimento Gebrauchsanleitung 27 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen Lagerung Vor der Installation 32 Installation 33 Gebrauch Wartung Entsorgung 39 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 5/284...
  • Page 6 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general 57 Almacenamiento Preparación para la instalación 60 Instalación 61 Mantenimiento 66 Eliminación 67 Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 70 Informações gerais 71 Armazenagem 73 6/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 7 Algemene informatie Opslag Uitpakken 88 Installatie Gebruik Onderhoud 94 Afvalverwerking 95 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information 99 Opbevaring 100 Forberedelser før installation 101 Installation 102 Anvendelse 104 Vedligeholdelse 107 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 7/284...
  • Page 8 Användning 116 Underhåll Bortskaffning Instruksjon Manual 121 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 123 Lagring Klargjøre til installasjon 125 Installasjon 126 Bruk Vedlikehold 131 Eliminering 132 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Yleisiä tietoja 8/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 9 Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 146 Általános információ 147 Tárolás Előkészítés telepítésre Telepítés Használat Karbantartás Megsemmisítés 156 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje 159 Magazynowanie 160 Przygotowanie do instalacji 162 Instalacja Użytkowanie TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 9/284...
  • Page 10 Použití Údržba Likvidace Návod na Obsluhu 183 Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie Údržba Likvidácia Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 196 10/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 11 Maintenance Disposal Technical Information 219 Description of the TV 301 Navigator 221 Technical Specification 226 TV 301 Navigator Outline 228 Interconnections How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 11/284...
  • Page 12 Vibration Isolator Installation 266 Purge Valve Installation 266 Serial Cable Installation 267 TV 301Controller Installation 268 Pump Used with Corrosive Gases 274 Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 277 12/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 13: Istruzioni Per L'uso

    TV 301 Navigator User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 18 Installazione Accensione ed Uso del TV 22 Arresto del TV 301 Navigator Arresto di Emergenza 23 Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali...
  • Page 14: Indicazioni Di Sicurezza Per Pompe Turbomolecolari

    Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è AVVERTENZA! necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale! 14/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 15: Informazioni Generali

    Il TV 301 Navigator è un sistema integrato costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e dal relativo controller. Il sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso, ma non è...
  • Page 16 I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. NOTA 16/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 17: Immagazzinamento

    10 mesi dalla data di spedizione. Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre ATTENZIONE! reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 17/284...
  • Page 18: Preparazione Per L'installazione

    Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il TV 301 Navigator e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente.
  • Page 19: Installazione

    In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. Il TV 301 Navigator deve essere collegato ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information"). TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 20 ATTENZIONE! sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. Il TV 301 Navigator ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia accessibile.
  • Page 21: Uso

    Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 21/284...
  • Page 22: Accensione Ed Uso Del Tv

    Istruzioni per l’uso Accensione ed Uso del TV 301 Navigator Per accendere il TV 301 Navigator è sufficiente fornire la tensione di alimentazione. Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa.
  • Page 23: Arresto Del Tv 301 Navigator

    Istruzioni per l’uso Arresto del TV 301 Navigator Per arrestare il TV 301 Navigator è sufficiente togliere la tensione di alimentazione. Il controller incorporato arresta immediatamente la pompa. AVVERTENZA! Per la sicurezza dell'operatore il controller Turbo-V deve essere alimentato con un cavo di alimentazione a 3 fili (vedere la tabella delle parti ordinabili) dotato di una spina (approvata a livello internazionale).
  • Page 24: Manutenzione

    Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione Il TV 301 Navigator non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
  • Page 25: Smaltimento

    Per maggiori informazioni riferirsi a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 25/284...
  • Page 26 Istruzioni per l’uso Smaltimento 26/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 27: Gebrauchsanleitung

    TV 301 Navigator User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Lagerung Vor der Installation Installation Gebrauch Einschaltung und Gebrauch von Modell TV 301 Navigator Stoppen von Modell TV 301 Navigator Not-Aus Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 27/284...
  • Page 28: Sicherheitshinweise Für Turbomolekularpumpen

    Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden. Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener WARNUNG! vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise! 28/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 29: Allgemeine Informationen

    Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung. Modell TV 301 Navigator ist ein integriertes System, das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuumanwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller, besteht. Das System eignet sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch für die Förderung von Flüssigstoffen oder...
  • Page 30 Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen WARNUNG! Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text HINWEIS hervorgehoben werden. 30/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 31: Lagerung

    Speditionsdatum. Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gründen die genannte Frist VORSICHT! überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 31/284...
  • Page 32: Vor Der Installation

    Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefasst werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden. Abbildung 1 Modell TV 301 Navigator kann durch die Umgebung an sich keine Schäden HINWEIS erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden.
  • Page 33: Installation

    Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information". Modell TV 301 Navigator ist an eine Primärpumpe anzuschließen (siehe Schema in "Technical Information"). TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 34 Installation Modell TV 301 Navigator kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell TV 301 Navigator ist stabil zu befestigen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 1000 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
  • Page 35: Gebrauch

    Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 35/284...
  • Page 36: Einschaltung Und Gebrauch Von Modell Tv 301

    Modus mittels der Software freizugeben (siehe Abschnitt "RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION" im Anhang "Technical Information"). Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 301 gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb.
  • Page 37: Stoppen Von Modell Tv 301 Navigator

    Controller entwickeln, können zu schweren Schäden oder zum Tod führen. Vor den Wartungsarbeiten innerhalb der Einheit die Stromkabel trennen. Not-Aus Zur Stillsetzung von Mod. TV 301 Navigator in Notsituationen ist vom Controller das Netzkabel abzuziehen. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 37/284...
  • Page 38: Wartung

    Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Modell TV 301 Navigator erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C...
  • Page 39: Entsorgung

    Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat. Für weitere Informationen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 39/284...
  • Page 40 Gebrauchsanleitung Entsorgung 40/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 41: Mode D'emploi

    Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Preparation pour l’installation Installation Utilisation Mise en marche et utilisation du TV 301 Navigator 50 Arrêt du TV 301 Navigator 51 Arrêt d'urgence Entretien Mise au rebut 53 Traduction de la mode d’emploi originale...
  • Page 42: Normes De Sécurité Pour Pompe Turbomoléculaires

    être libérée. AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites dans ce manuel! 42/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 43: Indications Générales

    à une turbine tournant à vitesse élevée (56000 tr/min maxi), mue par un moteur électrique triphasé à haut rendement. Le TV 301 Navigator est totalement exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les applications exigeant un vide "propre".
  • Page 44 Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions Les notes contiennent des renseignements importants isolés du texte. NOTE 44/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 45: Stockage

    à compter de la date d'expédition. En cas de dépassement du temps de stockage pour toutes raisons, la pompe ATTENTION! doit être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 45/284...
  • Page 46: Preparation Pour L'installation

    Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber le TV 301 Navigator et à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration. Ne pas abandonner l'emballage dans la nature.
  • Page 47: Installation

    En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le TV 301 Navigator doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical Information").
  • Page 48 à vide à l'aide des éléments mécaniques Agilent prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice "Technical Information". Le TV 301 Navigator ne peut être fixé par sa base. NOTE Le TV 301 Navigator appartient à la deuxième catégorie d'installations (ou ATTENTION! surtension) prévue par la norme EN 61010-1.
  • Page 49: Utilisation

    Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 49/284...
  • Page 50: Mise En Marche Et Utilisation Du Tv 301 Navigator

    "Soft Start", il est nécessaire d'activer ce mode opératoire à l'aide du logiciel (Cf. paragraphe "RS232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION" dans l'appendice "Technical Information"). La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du TV 301 indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions opérationnelles du système: allumée fixe: la pompe est en rotation normale;...
  • Page 51: Arrêt Du Tv 301 Navigator

    Mode d’emploi Utilisation Arrêt du TV 301 Navigator Pour arrêter le TV 301 Navigator, il suffit de retirer la tension d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la pompe. AVERTISSEMENT! Pour la sécurité de l’opérateur, le contrôleur Turbo-V doit être alimenté...
  • Page 52: Entretien

    Mode d’emploi Entretien Entretien Le TV 301 Navigator n'exige aucun entretien particulier. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
  • Page 53: Mise Au Rebut

    œuvre le processus de collecte et mise au rebut. Pour plus d’informations, rendez-vous à l’adresse: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 53/284...
  • Page 54 Mode d’emploi Mise au rebut 54/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 55: Manual De Istrucciones

    Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Información general Almacenamiento Preparación para la instalación 60 Instalación Encendido y Uso del TV 301 Navigator Parada del TV 301 Navigator 65 Parada de Emergencia 65 Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales...
  • Page 56: Indicaciones De Seguridad Para Bombas Turbomoleculares

    ¡ADVERTENCIA! Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el presente manual! 56/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 57: Información General

    El TV 301 Navigator es un sistema integrado compuesto por una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacío integrada por el controler correspondiente.
  • Page 58 Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Las notas contienen información importante extraída del texto. NOTA 58/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 59: Almacenamiento

    En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de ¡ATENCIÓN! almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Agilent. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 59/284...
  • Page 60: Preparación Para La Instalación

    Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga el TV 301 Navigator y de no someterlo a golpes o vibraciones. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente.
  • Page 61: Instalación

    Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical Information” para más detalles. El TV 301 Navigator ha de conectarse a una bomba primaria (véase diagrama en “Technical Information”). TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 62 Agilent. Para más detalles véase el anexo “Technical Information”. El TV 301 Navigator no puede fijarse utilizando su base. NOTA El TV 301 Navigator pertenece a la segunda categoría de instalación (o ¡ATENCIÓN! sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para...
  • Page 63: Uso

    (véase el anexo “Technical Information”). ¡ADVERTENCIA! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 63/284...
  • Page 64: Encendido Y Uso Del Tv 301 Navigator

    Manual de istrucciones Encendido y Uso del TV 301 Navigator Para encender el TV 301 Navigator basta con suministrar la tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y de arranque y activa la bomba.
  • Page 65: Parada Del Tv 301 Navigator

    Manual de istrucciones Parada del TV 301 Navigator Para parar el TV 301 Navigator nte con desenchufarlo de la corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la bomba. ¡ADVERTENCIA! Para seguridad del operador el controlador Turbo-V debe ser alimentado con cable de alimentación de 3 hilos (véase tabla de partes disponibles para pedido) provisto de un enchufe (aprobado internacionalmente).
  • Page 66: Mantenimiento

    Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento El TV 301 Navigator no necesita ningún mantenimiento. Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
  • Page 67: Eliminación

    Para mayor información, remitirse a: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 67/284...
  • Page 68 Manual de istrucciones Eliminación 68/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 69: Manual De Istruções

    Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Utilização Acendimento e Utilização do TV 301 Navigator 78 Paragem do TV 301 Navigator Paragem de Emergência Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 69/284...
  • Page 70: Indicações De Segurança Para Bombas Turbomoleculares

    ATENÇAO! Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste manual! 70/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 71: Informações Gerais

    às normas nacionais específicas. O TV 301 Navigator é um sistema integrado, constituído por uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, integrada no relativo controller. O sistema é capaz de bombear qualquer tipo de gás ou de composto gasoso, mas não é...
  • Page 72 As mensagens de atenção atraem a atenção do operador num procedimento ou uma prática específica que, se não executada de modo correto, poderiam provocar graves lesões pessoais. As notas contém informações importantes estrapoladas pelo texto. NOTA 72/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 73: Armazenagem

    Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será CUIDADO! necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Agilent. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 73/284...
  • Page 74: Preparação Para A Instalação

    Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O TV 301 Navigator é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.
  • Page 75: Instalação

    “Technical Information”) humidade relativa: 0 – 95 % (não condensante). Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical Information". TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 75/284...
  • Page 76 Manual de Istruções Instalação O TV 301 Navigator deve ser ligado a uma bomba primária (consultar esquema em "Technical Information"). O TV 301 Navigator pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o TV 301 Navigator em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um torque de 1000 Nm ao redor do próprio eixo.
  • Page 77: Utilização

    (consultar o apêndice "Technical Information”). ATENÇAO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 77/284...
  • Page 78: Acendimento E Utilização Do Tv 301 Navigator

    Manual de Istruções Utilização Acendimento e Utilização do TV 301 Navigator Para ligar o TV 301 é suficiente fornecer a tensão de alimentação. O controller incorporado reconhece automaticamente os sinais de interlock e de activação, e acciona a bomba. O modo Soft Start é previsto para ligar a bomba após um longo período de paragem.
  • Page 79: Paragem Do Tv 301 Navigator

    Manual de Istruções Utilização Paragem do TV 301 Navigator Para parar o TV 301 Navigator é suficiente desligar a tensão de alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba. ATENÇAO! Para a segurança do operador, o controller Turbo-V deve ser alimentado com um cabo de alimentação com 3 fios (ver a tabela das partes que...
  • Page 80: Manutenção

    Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TV 301 Navigator não requer qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até...
  • Page 81: Eliminação

    Para maiores informações consultar: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 81/284...
  • Page 82 Manual de Istruções Eliminação 82/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 83: Bedrijfshandleiding

    TV 301 Navigator User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Opslag Uitpakken Installatie Gebruik Inschakeling en gebruik van de TV 301 Navigator 92 Afzetten van de TV 301 Navigator Noodstop Onderhoud Afvalverwerking 95 Vertaling van de originele instructies 83/284...
  • Page 84: Veiligheidsinstructies Voor Turbomoleculaire Pompen

    WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen, moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd! 84/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 85: Algemene Informatie

    De TV 301 Navigator is een geïntegreerd systeem dat uit een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen plus bijbehorende controller bestaat. Het systeem is in staat om elk type gas of gasverbinding te pompen, maar is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes.
  • Page 86 Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPMERKING 86/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 87: Opslag

    Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer VOORZICHTIG! naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 87/284...
  • Page 88: Uitpakken

    Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming. Figuur 1 De TV 301 Navigator kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de OPMERKING atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen.
  • Page 89: Installatie

    “Technical Information”) relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).  In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 89/284...
  • Page 90 Agilent. Zie voor meer informatie de bijlage "Technical information". De TV 301 Navigator kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd. OPMERKING De TV 301 Navigator behoort tot de tweede installatiecategorie (of VOORZICHTIG! overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is voorzien.
  • Page 91: Gebruik

    Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van giftige, brandbare of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 91/284...
  • Page 92: Inschakeling En Gebruik Van De Tv 301 Navigator

    (zie paragraaf “RS 2327485 COMMUNICATION DESCRIPTION” in de bijlage “Technical Information”). De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de TV 301 geeft door de frequentie van zijn knipperen, de werkcondities van het systeem aan: brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;...
  • Page 93: Afzetten Van De Tv 301 Navigator

    Maak de voedingskabel los alvorens onderhoudswerkzaamheden in het systeem uit te voeren. Noodstop Om de TV 301 Navigator in noodomstandigheden te stoppen, moet de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 93/284...
  • Page 94: Onderhoud

    Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De TV 301 Navigator is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd perso¬neel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is...
  • Page 95: Afvalverwerking

    Kijk voor meer informatie op: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 95/284...
  • Page 96 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 96/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 97: Istruktionsbog

    TV 301 Navigator User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Opbevaring Forberedelser før installation Installation Anvendelse Start og anvendelse af TV 301 Navigator 105 Stop af TV 301 Navigator Nødstop Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 97/284...
  • Page 98: Sikkerhedsanvisninger For Molekylære Turbopumper

    For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er ADVARSEL! det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning! 98/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 99: Generel Information

    Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (56000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt. TV 301 Navigator er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum. TV 301 Navigator har endvidere hjælpestik, der gør det muligt at forsyne ventilator, styre ventilationsventilen og fjernstyre den ved hjælp af en værtscomputer gennem seriel forbindelse (RS 232/RS...
  • Page 100: Opbevaring

     forsendelsesdatoen. Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt FORSIGTIG! at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Agilent repræsentant. 100/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 101: Forberedelser Før Installation

    TV 301 Navigator leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TV 301 Navigator ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
  • Page 102: Installation

    0 – 95 % (ikke kondenserende) Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Technical Information” for yderligere oplysninger. TV 301 Navigator skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Technical Information”). 102/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 103 Istruktionsbog Installation TV 301 Navigator kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør TV 301 Navigator i en stabil position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på 1000 Nm omkring akselen. Flangen ISO 100 K kan for eksempel fastgøres med klemmer af højstyrkestål (type Agilent-model IC 63250 DCMZ).
  • Page 104: Anvendelse

    ædelgasser (kvælstof eller argon) for at beskytte lejerne (se bilaget “Technical Information”) ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. 104/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 105: Start Og Anvendelse Af Tv 301 Navigator

    Istruktionsbog Anvendelse Start og anvendelse af TV 301 Navigator For at starte TV 301 er det tilstrækkeligt at tilslutte et forsyningsstik. Den indbyggede styreenhed genkender blokerings- og startsignaler automatisk, og starter pumpen. “Soft Start” moden bruges for at tænde pumpen efter lang stilstand.
  • Page 106: Stop Af Tv 301 Navigator

    Istruktionsbog Anvendelse Stop af TV 301 Navigator For at afbryde TV 301 Navigator er det tilstrækkeligt at afbryde strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpen. ADVARSEL! For operatørens sikkerhed skal Turbo - V controller'en strømforsynes med et 3-trådet-fødekabel (se tabellen over de bestilbare stykker) fødekablet skal være udstyret med et stik (som skal være godkendt på...
  • Page 107: Vedligeholdelse

    Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse TV 301 Navigator behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
  • Page 108: Bortskaffelse

    For yderligere oplysninger, ret henvendelse til: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 108/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 109: Bruksanvisning

    TV 301 Navigator User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 110 Allmän information Förvaring Förberedelser för installation Installation Användning Start och användning av TV 301 Navigator Att stänga av TV 301 Navigator 118 Nödstopp Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 109/284...
  • Page 110: Säkerhetsanvisningar För Molekylära Turbopumpar

    VARNING! För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här bruksanvisningen följas noga. 110/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 111: Allmän Information

    TV 301 Navigator, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. TV 301 Navigator har dessutom en hjälpkontakt som gör det möjlig att förse ström till en extra ventilator, att kontrollera avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp av en host-dator som är ansluten genom seriell förbindelse (RS 232/RS 485).
  • Page 112: Förvaring

    De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från  leveransdatumet. Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka OBSERVER! till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent -återförsäljaren för ytterligare information. 112/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 113: Förberedelser För Installation

    TV 301 Navigator levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TV 301 Navigator inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd.
  • Page 114: Installation

    I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. TV 301 Navigator måste anslutas till en huvudpump (se schemat i "Technical information"). 114/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 115 åt någon spänningsförande del. Kontrollera att anordningen som är ansluten till TV 301 Navigator har en lämplig isolering även vid ett enskilt fel enligt standard EN 61010-1.
  • Page 116: Användning

    (se bilagan “Technical information”). VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. 116/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 117: Start Och Användning Av Tv 301 Navigator

    Bruksanvisning Användning Start och användning av TV 301 Navigator För att starta TV 301 behöver du bara ansluta till ett eluttag. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen förreglings- och startsignaler, och startar pumpen. Läget “Sof Start” har förutsätts för att tända pumpen efter ett längre stillastående.
  • Page 118: Att Stänga Av Tv 301 Navigator

    Bruksanvisning Användning Att stänga av TV 301 Navigator Om du vill stänga av TV 301 Navigator behöver du bara dra ut elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion. VARNING! För operatörens säkerhet bör Turbo-V systemet vara anslutet med en strömkabel med 3 stycken ledare (se tabellen över ordinerbara delar)
  • Page 119: Underhåll

    Bruksanvisning Underhåll Underhåll TV 301 Navigator är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad som kan ersätta pumpen med en renoverad pump.
  • Page 120: Bortskaffning

    återförsäljaren, för att kunna starta uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor. För ytterligare information, se: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 120/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 121: Instruksjon Manual

    TV 301 Navigator User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 122 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon 126 Bruk Starte og bruke TV 301 Navigator Stoppe TV 301 Navigator Nødstopp Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 121/284...
  • Page 122: Sikkerhetsanvisninger For Turbomolekylære Pumper

    I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt. For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må ADVARSEL! installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen følges nøye! 122/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 123: Generell Informasjon

    å pumpe væsker eller faste partikler. Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 56000 opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. TV 301 Navigator har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum.
  • Page 124: Lagring

    Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra  sendedato. Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger, må pumpen FORSIKTIG! returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent -forhandleren for informasjon. 124/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 125: Klargjøre Til Installasjon

    TV 301 Navigator leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TV 301 Navigator pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
  • Page 126: Installasjon

    0 - 95% (uten kondens)  Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Technical Information” for detaljer. TV 301 Navigator må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Technical Information"). 126/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 127 Instruksjon Manual Installasjon TV 301 Navigator kan monteres i en valgfri stilling. Fest TV 301 Navigator i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast koplingsflens med et dreiemoment på 1000 Nm rundt aksen. For eksempel ISO 100 K flensen kan festes ved å bruke ekstra resistente stål klemmer (som Agilent modell IC 63250 DCMZ).
  • Page 128: Bruk

    (argon eller kvelstoff) koples for å beskytte lagrene (se “Technical Information). ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. 128/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 129: Starte Og Bruke Tv 301 Navigator

    Instruksjon Manual Bruk Starte og bruke TV 301 Navigator TV 301 startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten. Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings- og startsignaler, og starter pumpen. Modusen ”Soft Start” brukes når pumpen skal startes igjen etter å ha stått stille en lengre periode.
  • Page 130: Stoppe Tv 301 Navigator

    Før man utfører vedlikeholdsoperasjoner inne i enheten, er det nødvendig å kople fra strømkabelen. Nødstopp Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe TV 301 Navigator i en nødsituasjon. 130/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 131: Vedlikehold

    Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TV 301 Navigator er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
  • Page 132: Eliminering

    å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i kjøpekontrakten. For mer informasjon: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 132/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 133: Ohjekäsikirja

    TV 301 Navigator User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 134 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Käyttö 140 TV 301 Navigatorin käynnistys ja käyttö 141 TV 301 Navigatorin pysäyttäminen Hätäpysäytys 142 Huolto 143 Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 133/284...
  • Page 134: Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet

    Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 134/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 135: Yleisiä Tietoja

    TV 301 Navigator on kokonaisjärjestelmä, joka muodostuu valvojalla varustetusta turbomolekyylipumpusta korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisiä kaasuja tai kaasukoostumuksia. Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen.
  • Page 136: Varastointi

    Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta  toimituspäivästä. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa HUOMIO! tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta. 136/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 137: Valmistelut Asennusta Varten

    Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule HUOMIO! koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta. Kuva 1 TV 301 Navigator ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On HUOM kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen.
  • Page 138: Asennus

    +5 °C - +35 °C (ks. “Technical Information” -liitteen  kaaviota). suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä)  Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä. 138/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 139 TV 301 Navigator laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena olevaan osaan päästä käsiksi. Varmista, että TV 301 Navigator laitteeseen kytketyn laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä EN 61010-1 säännösten edellyttämällä tavalla.
  • Page 140: Käyttö

    (typpi tai argon) laakereiden suojaamiseksi (katso “Technical Information” -liite). VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. 140/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 141: Tv 301 Navigatorin Käynnistys Ja Käyttö

    “Soft Start” -menetelmällä, tulee yllämainittu on aktivoitava uudelleen ohjelmiston kautta (ks. kappale “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” “Technical Information” - liitteessä). Vihreä LED LD1, joka sijaitsee TV 301:n perustan paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet: palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti; ...
  • Page 142: Tv 301 Navigatorin Pysäyttäminen

    Ohjekäsikirja Käyttö TV 301 Navigatorin pysäyttäminen TV 301 Navigatorin pysäyttämiseen riittää, että se kytketään irti sähköverkosta. Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumpun välittömästi. VAROITUS! Käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi Turbo-V valvojan virran syötön on tapahduttava pistokkeella (kansainvälisesti hyväksyttyä tyyppiä) ja 3:lla johtimella varustettua sähkökaapelia käyttämällä (katso tilattavien osien taulukkoa).
  • Page 143: Huolto

    Ohjekäsikirja Huolto Huolto TV 301 Navigator ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.
  • Page 144: Hävittäminen

    Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot. Lisätietoja varten viitatkaa osoitteeseen: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 144/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 145: Felhasználói Kézikönyv

    TV 301 Navigator User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános informá 147 Tárolás 148 Előkészítés telepítésre 149 Telepítés Használat A TV 301 Navigator bekapcsolása és használata A TV 301 Navigator kikapcsolása 154 Vészleállítás 154 Karbantartás Megsemmisítés Az eredeti utasítás fordítása 145/284...
  • Page 146: Biztonsági Útmutató Turbómolekuláris Szivattyúkhoz

    érintkezése vagy a forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat. VESZÉLY! A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat szigorúan be kell tartani! 146/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 147: Általános Információ

    általi nem megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes bármely művelet miatt történtek. A TV 301 Navigator egy integrált rendszer turbo-molekuláris szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a megfelelő vezérlőjével. A rendszer bármely típusú gázt vagy gázkeveréket képes szivattyúzni.
  • Page 148: Tárolás

    Egy turbomolekuláris szivattyú raktározási ideje 10 hónap a  szállítás dátumától számítva. Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni FIGYELEM! a gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi Agilent vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez. 148/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 149: Előkészítés Telepítésre

    Mindig használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet. Ábra 1 A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a TV 301 Navigatort. MEGJEGYZÉS Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés bármely formáját.
  • Page 150: Telepítés

    0 – 95% (nem kondenzáló) Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért lásd „Technical Information”. A TV 301 Navigatort elsődleges szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd „Technical Information”). 150/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 151 Felhasználói Kézikönyv Telepítés A TV 301 Navigator bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a TV 301 Navigatort stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni 1000 Nm tengely körüli nyomatéknak. Például az ISO 100 K karima rögzíthető nagy teherbírású...
  • Page 152: Használat

    áramlását védelmet viselő szivattyú számára (lásd “Technical Information” függelék). VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, tűzveszélyes vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kövesse az egyes gázok kezelésére vonatkozó eljárásokat! Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében! 152/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 153: A Tv 301 Navigator Bekapcsolása És Használata

    Felhasználói Kézikönyv Használat A TV 301 Navigator bekapcsolása és használata A TV 301 Navigator bekapcsolásához rá kell kapcsolni a tápfeszültséget. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút. A “Soft Start” mód a szivattyú hosszabb leállást követő elindítására szolgál.
  • Page 154: A Tv 301 Navigator Kikapcsolása

    Mielőtt az egység belsejében karbantartási munkát végezne, kapcsolja le az egységről a tápfeszültség szolgáltató kábelt. Vészleállítás A TV 301 Navigator vészhelyzetben való azonnali leállításához el kell távolítani a tápkábelt a hálózati dugaszból. 154/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 155: Karbantartás

    Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TV 301 Navigator nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá...
  • Page 156: Megsemmisítés

    és feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy viszonteladó. Részletes információk végett forduljon az alábbi címhez: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 156/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 157: Podrecznik Instrukcji

    Turbomolekularnych Ogólne Informacje 159 Magazynowanie 160 Przygotowanie do instalacji 162 Instalacja Użytkowanie Włączenie i Użytkowanie systemu TV 301 Navigator Zatrzymanie systemu TV 301 Navigator Zatrzymanie Awaryjne 167 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Page 158: Wskazówki Dotyczące Bezpieczeństwa Dla Pomp Turbomolekularnych

    ZAGROZENIE! Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi! 158/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 159: Ogólne Informacje

    Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez obrotową turbinę o wysokiej prędkości (max. 56000 obr./min) napędzaną przez elektryczny silnik trójfazowy o wysokiej wydajności. System TV 301 Navigator jest całkowicie bez czynników zanieczyszczających, i dlatego też jest to system odpowiedni do zastosowań gdzie jest wymagana tzw.”czysta”...
  • Page 160: Magazynowanie

     klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp  turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić· w sposób Soft-Start czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10  miesięcy od daty wysyłki. 160/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 161 Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy UWAGA! odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 161/284...
  • Page 162: Przygotowanie Do Instalacji

    Należy zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie. ć System TV 301 Navigator, nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go na PRZYPIS działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.
  • Page 163: Instalacja

    W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Technical Information” TV 301 Navigator musi być podłączony do głównej pompy (patrz schemat w dodatku “Technical Information”) TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 163/284...
  • Page 164 Agilent. W celu dodatkowych informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Technical Information”. System TV 301 Navigator nie może być mocowany poprzez własną podstawę. PRZYPIS TV 301 Navigator należy do drugiej kategorii instalacji (lub nadnapięcia) UWAGA! przewidzianej przez normę...
  • Page 165: Użytkowanie

    (Azot Argon) dla zabezpieczenia łożysk (Patrz dodatek “Technical Information”). ZAGROZENIE! Kiedy pompa jest stosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów. Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 165/284...
  • Page 166 “Soft-Start”, należy włączyć w/w tryb poprzez oprogramowanie (patrz paragraf “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” w dodatku “Technical Information”). Zielona dioda led znajdująca się na panelu podstawy TV 301 Navigator wskazuje z częstotliwością własnego migania, stan operacyjny systemu: zaświecona na stałe: pompa znajduje się w normalnych obrotach;...
  • Page 167: Zatrzymanie Systemu Tv 301 Navigator

    Podrecznik Instrukcji Użytkowanie Zatrzymanie systemu TV 301 Navigator Aby zatrzymać TV 301 Navigator wystarczy odłączyć napięcie zasilania. Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompę. ZAGROZENIE! Dla zagwarantowania bezpieczeństwa operatorowi, kontroler Turbo-V powinien być zasilany kablem zasilającym o 3 przewodach (zobacz tabelę części dających się zamówić) i zamontowaną wtyczką (zgodna z międzynarodowymi normami).
  • Page 168: Konserwacja

    Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja System TV 301 Navigator nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie poniżej 50 °C.
  • Page 169: Przetworstwo Odpadow

    , po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu. W@ięcej informacji zamieszczono: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 169/284...
  • Page 170 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow 170/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 171: Návod K Použití

    Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 172 Všeobecné informace 173 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Použití Zapnutí a používání vývěvy TV 301 Navigator 179 Vypnutí vývěvy TV 301 Navigator 180 Nouzové zastavení Údržba Likvidace Překlad originálního návodu 171/284...
  • Page 172: Bezpečnostní Návod Pro Turbomolekulární Vývěvy

    NEBEZPEČÍ! Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za účelem prevence poškození zařízení a zranění obsluhy! 172/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 173: Všeobecné Informace

    činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných státních normách. Vývěva TV 301 Navigator je integrovaný systém s turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem pro takové aplikace, kde se požaduje vysoké a velmi vysoké vakuum. Zařízení může odčerpávat libovolný...
  • Page 174: Uskladnění

    10 měsíců ode dne  doručení. Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte POZOR! vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Agilent. 174/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 175: Příprava K Instalaci

    Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu. Postava 1 V normálním prostředí se vývěva TV 301 Navigator nemůže poškodit. Přesto POZNÁMKA doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem.
  • Page 176: Instalace

     V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze "Technical Information". Vývěva TV 301 Navigator se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz "Technical Information"). 176/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 177 Návod k Použití Instalace Vývěvu TV 301 Navigator lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu TV 301 Navigator upevněte v nějaké stabilní poloze a přívodní přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese torzní moment 1000 Nm kolem své osy. Např. přírubu ISO-K lze připevnit příchytkami z vysoce pevné oceli (jako je typ IC 63250 DCMZ firmy Agilent).
  • Page 178: Použití

    (např. N2, Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu “Technical Information”). NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. 178/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 179: Zapnutí A Používání Vývěvy Tv 301 Navigator

    Návod k Použití Použití Zapnutí a používání vývěvy TV 301 Navigator Pro uvedení vývěvy TV 301 Navigator do provozu je nutné přivést síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje blokování, přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do provozu. Režim „Soft Start“ slouží k zapnutí vývěvy po delším vyřazení z provozu.
  • Page 180: Vypnutí Vývěvy Tv 301 Navigator

    Návod k Použití Použití Vypnutí vývěvy TV 301 Navigator Pro vypnutí vývěvy TV 301 Navigator je nutné přerušit síťové napětí. Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví. NEBEZPEČÍ! Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně...
  • Page 181: Údržba

    Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TV 301 Navigator nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
  • Page 182: Likvidace

    Podrobnejší informace můžete získat na internetové stránce: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 182/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 183: Návod Na Obsluhu

    Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy Všeobecné informácie 185 Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 301 Navigator Vypnutie zariadenia TV 301 Navigator Núdzové zastavenie Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01...
  • Page 184: Bezpečnostné Pokyny Pre Turbomolekulárne Vývevy

    V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení rotora, sa može uvolniť rotačná energia. NEBEZPEČÍ! Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť dôsledne dodržované, aby nedošlo k poškodeniu zariadenia alebo k zraneniu obsluhy! 184/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 185: Všeobecné Informácie

    úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej krajiny. Zariadenie TV 301 Navigator predstavuje integrovaný systém s turbomolekulárnou vývevou pre vysoké a ultravysoké vákuové aplikácie s relevantným kontrolným modulom. Systém dokáže vyčerpať ľubovoľný typ plynu alebo zmesi plynov. Nie je vhodný na vyčerpávanie tekutín alebo pevných častí.
  • Page 186: Uchovávanie

     dňa dodania Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu POZOR! do závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis. 186/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 187: Príprava Na Inštaláciu

    Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Zariadenie TV 301 Navigator sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené...
  • Page 188: Inštalácia

    V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical Information“. Zariadenie TV 301 Navigator sa musí pripojiť k primárnej výveve (pozri „Technical Information“). 188/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 189 žiadna elektrická súčasť. Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k TV 301 Navigatoru má adekvátnu izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa smernice EN 61010-1.
  • Page 190: Použitie

    (napríklad N2, Ar) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok “Technical Information”). NEBEZPEČÍ! Ak vývevu používate na odčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. 190/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 191 Návod na Obsluhu Použitie Zapnutie a použitie zariadenia TV 301 Navigator Ak chcete zapnúť zariadenie TV 301 Navigator, musíte ho pripojiť ku zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul automaticky rozpozná prítomnosť signálov spojenia a spustenia a zapne vývevu. Režim „Soft Start“ slúži na zapnutie vývevy po dlšom vyradení z prevádzky.
  • Page 192: Vypnutie Zariadenia Tv 301 Navigator

    Návod na Obsluhu Použitie Vypnutie zariadenia TV 301 Navigator Ak chcete vypnúť zariadenie TV 301 Navigator, musíte ho odpojiť od zdroja napájania. Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví. NEBEZPEČÍ! Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné zariadenie napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré...
  • Page 193: Údržba

    Návod na Obsluhu Údržba Údržba Zariadenie TV 301 Navigator nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
  • Page 194: Likvidácia

    Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja. Podrobnejšie informácie môžete získať na internetovej stránke: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml 194/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 195: Priročnik Za Navodila

    Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Uporaba Vklop in uporaba naprave TV 301 Navigator Izklop naprave TV 301 Navigator 203 Zaustavitev v sili Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 195/284...
  • Page 196: Varnostna Navodila Za Turbomolekularne Črpalke

    V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija. SVARILO! Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika! 196/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 197: Splošne Informacije

    TV 301 Navigator je integriran sistem s turbomolekularno črpalko za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo s primernim krmilnikom. Sistem lahko črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje tekočine ali trdnih delcev.
  • Page 198: Shranjevanje

    Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od  datum pošiljanja. Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko POZOR! vrniti v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum. 198/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 199: Priprava Za Montažo

    Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo TV 301 Navigator je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte.
  • Page 200: Montaža

     V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information" . TV 301 Navigator morate priključiti na primarno črpalko (glej "Technical Information"). 200/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 201 Naprava TV 301 Navigator ima vhodne/izhodne in serijske priključke, ki jih je treba povezati na zunanja vezja tako, da noben električni del ni dosegljiv. Prepričajte se, da je izolacija naprave, priključene na TV 301 Navigator, primerna tudi v primerno ene napake, kar je opisano v direktivi EN 61010-1.
  • Page 202: Uporaba

    (kot N2, Ar) za zaščito nosilcev (glej prilogo “Technical Information”). SVARILO! Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. 202/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 203: Vklop In Uporaba Naprave Tv 301 Navigator

    Za zagon »Soft Start« načina je potrebno aktivirati ustrezen programski ukaz (glej odstavek »RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION« v prilogi “Technical Information”. Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči TV 301 Navigator, s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema: Brez utripanja: Č·rpalka je normalno vrti;...
  • Page 204: Vzdrževanje

    Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Naprave TV 301 Navigator ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
  • Page 205: Odlaganje Opadkov

    Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe. Za podrobnejše informacije si oglejte spletno stran: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 205/284...
  • Page 206 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov 206/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 207: Instructions For Use

    TV 301 Navigator User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps General Information Storage Preparation for Installation 211 Installation Switching on and Use of TV 301 Navigator TV 301 Navigator Switching off 215 Emergency Stop Maintenance Disposal Original Instructions 207/284...
  • Page 208: Safety Guideline For Turbomolecular Pumps

    WARNING! To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed! 208/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 209: General Information

    The TV 301 Navigator is an integrated system with a turbo-molecular pump for high and ultra-high vacuum applications with its relevant controller. The system can pumps any type of gas or gas compound. It is not suitable for pumping liquids or solid particles.
  • Page 210: Storage

    If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to CAUTION! the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations. 210/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 211: Preparation For Installation

    Instructions for Use Preparation for Installation Preparation for Installation The TV 301 Navigator is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it.
  • Page 212: Installation

    In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. The TV 301 Navigator must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). 212/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 213 Be sure that the insulation of the device connected to the TV 301 Navigator is adequate even in the case of single fault as per directive EN 61010-1.
  • Page 214: Use

    WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. 214/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 215: Switching On And Use Of Tv 301 Navigator

    Instructions for Use Switching on and Use of TV 301 Navigator To switch on the TV 301 Navigator it is necessary to supply the mains. The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump. “Soft Start”...
  • Page 216: Maintenance

    Instructions for Use Maintenance Maintenance The TV 301 Navigator does not require any maintenance. Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,...
  • Page 217: Disposal

    Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale. For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 217/284...
  • Page 218 Instructions for Use Disposal 218/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 219: Technical Information

    TV 301 Navigator User Manual Technical Information Description of the TV 301 Navigator 221 Pump Description Controller Description Technical Specification TV 301 Navigator Outline Interconnections P3 - Vent P5 – External Fan J5 – In-Out Signal Description How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller 237 How to Connect the Outputs of the Controller 241 J6 –...
  • Page 220 Technical Information Vent Accessories 263 TV 301 Navigator Controller Compatible Vent Valve mod. 9699834 TV-301 AG Rack Controller Compatible Vent Valve mod. 9699844 Vibration Isolator Installation Purge Valve Installation Serial Cable Installation TV 301Controller Installation Bottom Mounting Side Mounting Connection A - High Vacuum Flange 270...
  • Page 221: Description Of The Tv 301 Navigator

    Description of the TV 301 Navigator Description of the TV 301 Navigator The TV 301 Navigator pumping system consists of a pump with a dedicated controller fixed to it. The system is available in various models that differ in the high vacuum flange and the controller.
  • Page 222: Pump Description

    The turbine is made of high-strength aluminium al-loy, machined from a single block. Figure 3 Model 9698921, Model 9698827, Model 9698831 222/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 223 Technical Information Description of the TV 301 Navigator Figure 4 Model 9698919, Model 9698825, Model 9698829 Figure 5 Model 9698918, Model 9698824, Model 9698828 Figure 6 Model 9698920, Model 9698826, Model 9698830 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 223/284...
  • Page 224 The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 16 NW flange (KF25 – optional). 224/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 225: Controller Description

    AC mains supply into a 3-phase, low voltage, medium frequency output which is required to power the pump. The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection. A Windows-based software is available (optional). TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 225/284...
  • Page 226: Technical Specification

    Input voltage: 100 - 240 Vac Input freq.: 50 - 60 Hz Max input pwr: 300 VA Stand-by pwr: 10 W Max oper. power: 150 W with water or air cooling 226/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 227 Turbopump fitted with a ConFlat flange and using the recommended pre-vacuum pump). When the TV 301 Navigator has been stored at a temperature less than 5°C, NOTE wait until the system has reached the above mentioned temperature.
  • Page 228: Tv 301 Navigator Outline

    Technical Information TV 301 Navigator Outline TV 301 Navigator Outline The following figure shows the TV 301Navigator outline (dimensions are in inches [mm]). Figure 8 TV 301 Navigator outline 228/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 229 Technical Information TV 301 Navigator Outline Figure 9 Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Figure 10 Graph of compression ratio vs foreline pressure TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 229/284...
  • Page 230 Technical Information TV 301 Navigator Outline Figure 11 Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump Figure 12 Graph of nitrogen throughput test 230/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 231: Interconnections

    Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TV 301 interconnections. Figure 13 TV 301 interconnections P3 - Vent Figure 14 P3-Vent This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 232: P5 - External Fan

    This connector carries all the input and output sig-nals to remote control the TV 301 Navigator. It is a 15-pins D type connector; the available sig-nals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use. 232/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 233: Signal Description

    +24 Vdc pin and the interlock (-) signal to the GROUND pin. Soft start: this input is used to provide a "soft start" to the pump; in this condition the ramp-up time could be up to 45 min. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 233/284...
  • Page 234 Programmable analog signal: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power) set by the user. The default setting is the frequency (see the following example diagram). 234/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 235 (in % of the threshold value) to avoid bouncing. For example: reference quantity: frequency  threshold: 500 Hz  hysteresis: 1%  activation type: "high level"  TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 235/284...
  • Page 236 When no external input-output device is available this connector must be closed with the supplied mating connector that short-circuits the START and INTERLOCK inputs with the GROUND input (see the following figure). 236/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 237: How To Connect The Open Collector Inputs Of The Controller

    2. the customer does not supply the 24 Vdc Please note that on the connector a 24 Vdc, 60 mA voltage, a GROUND signal and the open collector pin are available. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 237/284...
  • Page 238 Technical Information How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller Figure 21 Case 1 238/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 239 Technical Information How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller Figure 22 Case 2 with relay utilisation TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 239/284...
  • Page 240 Technical Information How to Connect the Open Collector Inputs of the Controller Figure 23 Case 2 with transistor utilisation 240/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 241: How To Connect The Outputs Of The Controller

    Figure 24 J6 – Serial Figure 25 9 pin connector This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the TV 301. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 241/284...
  • Page 242 Note that the vent valve can also be controlled by means of the serial NOTE connection A serial communication kit with a serial cable and the Navigation software is available (optional). 242/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 243: Input Power Connection On The Model 9698972

    RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the Navigator software. Communication Format 8 data bit  no parity  TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 243/284...
  • Page 244: Communication Protocol

    (from ‘000’ to ‘999’); for the meaning of each window see the relevant paragraph. <COM> (Command) = 0x30 to read the window, 0x31 to write into  the window 244/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 245 Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one NOTE used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned to the ADDRESS <ADDR> TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 245/284...
  • Page 246 Win Disabled 1 byte (0x35) The specified window is Read Only or temporarily disabled (for ex-ample you can’t write the Soft Start when the Pump is running) 246/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 247 RS 232/RS 485 communication description Examples: Command: START Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: STOP Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 247/284...
  • Page 248 RS 232/RS 485 communication description Command: SOFT-START (ON) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR Command: SOFT-START (OFF) Source: PC Destination: Controller ADDR WINDOW Source: Controller Destination: PC ADDR 248/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 249: Window-Meanings

    Set point hysteresis (in % of 0 to 100 threshold) (default = 2) Water cooling 0 = NO 1 = YES Active Stop (write only in 0 = NO stop) 1 = YES TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 249/284...
  • Page 250 (expressed in 0.2 sec) (corresponding to 0 to 13107 sec) Reserved to Agilent service Pump current in mA dc Pump voltage in Vdc Pump power in W (pump current x pump voltage duty cycle) 250/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 251 CRC Parameter structure "XXXX" Reserved to Agilent service RS 485 address 0 to 31 (default = 0) Serial type select 0 = RS 232 1 = RS 485 (default = 0) TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 251/284...
  • Page 252 TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP. OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP. AUX FAIL POWER FAIL Figure 27 Window N. 206 Bit Description 252/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 253: Inlet Screen Installation

    The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10 %. The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 253/284...
  • Page 254 Technical Information Inlet Screen Installation Figure 30 The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure. Figure 31 254/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 255 Technical Information Inlet Screen Installation The following figure shows the overall flange di-mensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange. Figure 32 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 255/284...
  • Page 256: Heater Band Installation

    80 °C. The heater band must be mounted such that there is perfect thermal contact with the pump wall to obtain fast and efficient heating. Figure 34 256/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 257 If the chamber of the system is "baked" at a high temperature, a shield should CAUTION! be installed to prevent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump. The maximum temperature allowed for the inlet flange is 120 °C. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 257/284...
  • Page 258: Air Cooling Kit Installation

    The fan bracket is shaped so that it can be mounted close to the pump. When the pump is supplied by the rack C.U. 9699437 or 9699537 please utilize the special fan extension cable 9699949. To fix the fan to the TV 301 case execute the following procedure (see the following figure): 258/284...
  • Page 259 Fix the fan to the suitable bracket by means of the furnished screws; Fix the bracket to the pump body between the pump and the controller; Connect the fan supply to the P4 connector of the controller. Figure 36 Figure 37 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 259/284...
  • Page 260: Water Cooling Kit Installation

    The two model part numbers are: 9699337 (metallic model), and 9699347 (plastic model). Figure 38 Model 9699337 Figure 39 Model 9699347 260/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 261 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. The metallic model is assembled as shown in the figure. Figure 41 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 261/284...
  • Page 262 3 and 5 bar. This allows a flow of about 200 l/h. The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance NOTE is higher, in closed water circuit, the use of up to 20% of Ethyl-Glycole is suggested. 262/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 263: Vent Accessories

    This time can be increased up to about 220 min. by means of a setting of the Navigator software (optional). To install the vent valve, unscrew the threaded plug (see figure below). Figure 43 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 263/284...
  • Page 264: Ag Rack Controller Compatible Vent Valve Mod

    CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller (see the preceding paragraph “INTERCONNECTIONS”). TV-301 AG Rack Controller Compatible Vent Valve mod. 9699844 Figure 45 264/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 265 Screw the flange mod. 9699108 on the pump, taking care of the oring right position. Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp. Figure 47 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 265/284...
  • Page 266: Vibration Isolator Installation

    9699334 for CFF 6” flange;  model 9699335 for CFF 8” flange.  They typically reduce the vibration transmitted from the TV 301 Navigator to the system by a factor of 20. Please refer to the relevant instruction manual. Purge Valve Installation A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump.
  • Page 267: Serial Cable Installation

    Figure 49 Serial Cable Installation The supplied serial cable must be installed when the TV 301 Navigator or the optional vent valve have to be controlled by means of a remote computer. The cable is installed fixing the 9 pin D-type connector into the P2 serial connector as shown in the following figure.
  • Page 268: Tv 301Controller Installation

    Plug the line cord and connect the pump cable to the pump; Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump. Figure 51 Mounting 1 268/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 269: Side Mounting

    Turn the pump again; 10 Plug the line cord and connect the pump cable to the pump; 11 Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 269/284...
  • Page 270: Connection A - High Vacuum Flange

    Connection A - High Vacuum Flange To connect the Turbo-V301 pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. Figure 53 270/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 271 Attach the units and tighten each one in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces meet. Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the CAUTION! envelope as this may cause the pump rotor to lock. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 271/284...
  • Page 272: Connection Configurations

    The Turbo-V 301 pump is characterized by its high compression ratio also for oil NOTE vapors. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent oil back-streaming. 272/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 273: Connection C - Electrical

    If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60 °C, the sensor automatically cuts out the power supply. TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 273/284...
  • Page 274: Pump Used With Corrosive Gases

    Turbo-V pump, with the chamber or the Turbo-V vent valve opened, to avoid system overpressures. If the vent valve can't be kept opened, the backing pump should be left operating. 274/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 275 Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve Figure 57 Purge layout TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 275/284...
  • Page 276: Pump Used In Presence Of Magnetic Fields

    However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Agilent's specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. 276/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 277: Accessories And Spare Parts

    Purge valve KF16-M12 20 SCCM 9699241 Purge valve 7/16-M12 20 SCCM 9699242 Foreline flange KF25 1/4 gas 9699130 Forepump DS 302, with 1 ph., universal motor 9499325 Forepump SH 110 SH01101UNIV TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N) 277/284...
  • Page 278 Technical Information Accessories and Spare Parts 278/284 TV 301 Navigator User Manual / 87-900-946-01 (N)
  • Page 284 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd 121 Hartwell Avenue Unit Nos 105-116 Unit 201, Level 2 uptown 2, Lexington, MA 02421 - USA...

Table des Matières