Page 1 TwisTorr 304 FS Pump models: X3500-64000, X3500-64001, X3500-64002, X3500-64003, X3500-64004, X3500-64005, X3500-64006, X3500-64007, X3500-64010 Manuale di istruzioni Instruksjon manual Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji Manual de istruções Návod k použití Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu Istrukstionsbog Priročnik za navodila...
Page 2 Use, duplication or disclosure of Software is subject to The material contained in this Agilent Technologies’ standard © Agilent Technologies, Inc. 2013 document is provided “as is,” and is commercial license terms, and non- subject to being changed, without...
Page 3 TwisTorr 304 FS Pump TwisTorr 304 FS Pump TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 3/304...
Page 4 TwisTorr 304 FS Pump 4/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Page 5 Contents Contents Istruzioni per l’uso 15 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16 Informazioni Generali 17 Immagazzinamento 19 Preparazione per l’installazione 20 Installazione 22 Fissaggio della pompa 24 Uso della TwisTorr 304 FS 25 Manutenzione 27 Smaltimento 28 Gebrauchsanleitung 29 Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 ...
Page 6 Contents Entsorgung 42 Mode d’emploi 43 Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 44 Indications générales 45 Stockage 47 Préparation pour l’installation 48 Installation 50 Fixation de la pompe 52 Utilisation de la TwisTorr 304 FS 53 Entretien 55 Mise au rebut 56 ...
Page 7 Contents Manual de Istruções 71 Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 72 Informações gerais 73 Armazenagem 75 Preparação para a instalação 76 Instalação 78 Fixação da bomba 80 Utilização do TwisTorr 304 FS 81 Manutenção 83 Eliminação 84 Bedrijfshandleiding 85 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 86 ...
Page 8 Contents Generel information 101 Opbevaring 103 Forberedelser før installation 104 Installation 106 Fastgøring af pumpen 108 Anvendelse af TwisTorr 304 FS 109 Vedligeholdelse 111 Bortskaffelse 112 Bruksanvisning 113 Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 114 Allmän information 115 Förvaring 117 Förberedelser för installation 118 Installation 120 ...
Page 9 Contents Klargjøre til installasjon 132 Installasjon 134 Festing av pumpen 136 Bruk av TwisTorr 304 FS 137 Vedlikehold 139 Eliminering 140 10 Ohjekäsikirja 141 Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 142 Yleisiä tietoja 143 Varastointi 145 Valmistelut asennusta varten146 Asennus 148 Pumpun kiinnitys 150 TwisTorr 304 FS käyttö...
Page 10 Contents A szivattyú rögzítése 164 A TwisTorr 304 FS használata 165 Karbantartás 167 Megsemmisítés 168 12 Podrecznik Instrukcji 169 Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych 170 Ogólne Informacje 171 Magazynowanie 173 Przygotowanie do instalacji 174 Instalacja 176 Mocowanie pompy 178 Użytkowanie pompy TwisTorr 304 FS 179 ...
Page 11 Contents Údržba 195 Likvidace 196 14 Návod na Obsluhu 197 Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 198 Všeobecné informácie 199 Uchovávanie 201 Príprava na inštaláciu 202 Inštalácia 204 Upevnenie vývevy 206 Použitie vývevy TwisTorr 304 FS 207 Údržba 209 Likvidácia 210 15 Priročnik za Navodila 211 ...
Page 12 Contents 16 Instructions for Use 225 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 226 General Information 227 Storage 229 Preparation for installation 230 Installation 232 Pump Fixing 234 Use of TwisTorr 304 FS 235 Maintenance 237 Disposal 238 17 Technical Information 239 Description of the TwisTorr 304 FS 241 ...
Page 13 Contents TwisTorr 304 FS On-board Controller Installation 288 Connection of the High Vacuum Flange 290 Connection of the Fore-Vacuum Pump 294 Pump Used with Corrosive Gases 295 Pump Used in Presence of Magnetic Fields 297 Accessories and Spare Parts 298 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 13/304...
Page 14 Contents 14/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Page 15 TwisTorr 304 FS User Manual Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Informazioni Generali Immagazzinamento Preparazione per l’installazione 20 Installazione Fissaggio della pompa 24 Uso della TwisTorr 304 FS 25 Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali 15/304...
Page 16 Istruzioni per l’uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori.
Page 17 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Informazioni Generali Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.
Page 18 Istruzioni per l’uso Informazioni Generali Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non ATTENZIONE! osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
Page 19 Istruzioni per l’uso Immagazzinamento Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle  pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: ...
Page 20 Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Preparazione per l’installazione La pompa TwisTorr 304 FS viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa TwisTorr 304 FS e a non sottoporla ad urti o vibrazioni.
Page 21 Istruzioni per l’uso Preparazione per l’installazione Figura 1 X3500-64000, X3500-64002, X3500-64004, X3500-64006, X3500-64010 Figura 2 X3500-64001, X3500-64003, X3500-64005, X3500-64007 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 21/304...
Page 22 Istruzioni per l’uso Installazione Installazione Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del ATTENZIONE! collegamento della turbopompa al sistema. Figura 3 Installare questo apparato solo in ambienti chiusi, ed in ogni caso non utilizzarlo in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Page 23 Istruzioni per l’uso Installazione I controller disponibili sono i seguenti: Tab. 1 PRODUCT NAME CONTROLLER PART NUMBER Controller AG Rack base X3506-64001 TwisTorr 304 FS AG Rack Controller AG Rack with X3506-64002 TwisTorr 304 FS AG Rack RS232/485 RS232/485 Controller AG Rack with X3506-64003 TwisTorr 304 FS AG Rack RS232/485 &...
Page 24 Istruzioni per l’uso Fissaggio della pompa Fissaggio della pompa AVVERTENZA! La mancata osservazione di queste istruzioni di installazione, nel caso in cui si verifichi un guasto del rotore, può provocare il distacco della pompa dal sistema, causando danneggiamenti, gravi ferite o morte. La TwisTorr 304 FS può...
Page 25 Istruzioni per l’uso Uso della TwisTorr 304 FS Uso della TwisTorr 304 FS Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo. Per raggiungere migliori pressioni limite è possibile riscaldare il sistema. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 °C con flangiatura ConFlat e a 80 °C con flangiatura ISO.
Page 26 Istruzioni per l’uso Uso della TwisTorr 304 FS AVVERTENZA! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. La pompa è progettata per avere un alto trasferimento di Azoto, Argon e gas più...
Page 27 Istruzioni per l’uso Manutenzione Manutenzione La TwisTorr 304 FS non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
Page 28 Istruzioni per l’uso Smaltimento Smaltimento Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata.
Page 29 TwisTorr 304 FS User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30 Allgemeine Lagerung Vor der Installation Installation Befestigung der Pumpe 38 Verwendung TwisTorr 304 FS Wartung Entsorgung Übersetzung der Originalanleitungen 29/304...
Page 30 Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie. Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
Page 31 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung.
Page 32 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermaßen hervorgehoben: WARNUNG! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten. Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei VORSICHT! Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
Page 33 Gebrauchsanleitung Lagerung Lagerung Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung  der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: Temperatur: von –40 °C bis 70 °C ...
Page 34 Gebrauchsanleitung Vor der Installation Vor der Installation Die Pumpe TwisTorr 304 FS wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Die TwisTorr 304 FS ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß...
Page 35 Gebrauchsanleitung Vor der Installation Abbildung 1 X3500-64000, X3500-64002, X3500-64004, X3500-64006, X3500-64010 Abbildung 2 X3500-64001, X3500-64003, X3500-64005, X3500-64007 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 35/304...
Page 36 Gebrauchsanleitung Installation Installation Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluss der VORSICHT! Turbopumpe an das System abnehmen. Abbildung 3 Der Apparat nur in geschlossenen Räumen installiert werden. Er darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, und nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen verwendet werden.
Page 37 Gebrauchsanleitung Installation Die Turbomolekularpumpen TwisTorr 304 FS dürfen nur mit einem der passenden Agilent-Controller verwendet werden und müssen an eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe Schema im Anhang „Technical Information“). Die verfügbaren Controller sind folgende: Tab. 1 PRODUKTNAMEN CONTROLLER PART NUMBER Controller AG Rack base X3506-64001 TwisTorr 304 FS AG Rack...
Page 38 Gebrauchsanleitung Befestigung der Pumpe Befestigung der Pumpe AVVERTENZA! Im Fall der Nichtbeachtung dieser Installationsanleitung kann sich bei einem Schaden am Rotor die Pumpe vom System lösen, was zu Sach- oder Personenschäden bis hin zu schweren Verletzungen und zum Tod führen kann.
Page 39 Gebrauchsanleitung Verwendung TwisTorr 304 FS Verwendung TwisTorr 304 FS Alle Anweisungen für den korrekten Betrieb der Turbopumpe sind im Handbuch der Kontrolleinheit enthalten. Bitte lesen Sie das Handbuch aufmerksam vor dem Gebrauch. Für den Erhalt besserer Grenzdruckwerte ist es möglich, das System zu erhitzen. Bei einer eventuellen Erhitzung der Vakuumkammer darf die Temperatur an dem Eintrittsflansch bei einem Flansch ConFlat nicht über 120 °C und bei einem ISO-Flansch nicht über 80 °C liegen.
Page 40 Gebrauchsanleitung Verwendung TwisTorr 304 FS Verwenden Sie die Pumpe nie, wenn korrosives Gas oder korrosive Dämpfe in VORSICHT! der Luft sind, die die Materialien der Pumpe schädigen könnten. Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder WARNUNG! radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen.
Page 41 Gebrauchsanleitung Wartung Wartung Die Pumpen TwisTorr 304 FS erfordern keine Wartung. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. WARNUNG! Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C abgesunken ist.
Page 42 Gebrauchsanleitung Entsorgung Entsorgung Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss.
Page 43 TwisTorr 304 FS User Manual Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Indications générales Stockage Préparation pour l’installation Installation Fixation de la pompe Utilisation de la TwisTorr 304 FS 53 Entretien Mise au rebut Traduction de la mode d’emploi originale 43/304...
Page 44 Mode d’emploi Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs rotors.
Page 45 Mode d’emploi Indications générales Indications générales Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par conséquent toute responsabilité...
Page 46 Mode d’emploi Indications générales Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre, risque de provoquer de graves lésions Les messages d’attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ATTENTION! ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l’appareillage.
Page 47 Mode d’emploi Stockage Stockage Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes Turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent  impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: température: de –40 °C à...
Page 48 Mode d’emploi Préparation pour l’installation Préparation pour l’installation La pompe TwisTorr 304 FS est livré dans un emballage de protection spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à...
Page 49 Mode d’emploi Préparation pour l’installation Figure 1 X3500-64000, X3500-64002, X3500-64004, X3500-64006, X3500-64010 Figure 2 X3500-64001, X3500-64003, X3500-64005, X3500-64007 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 49/304...
Page 50 Mode d’emploi Installation Installation Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au moment de ATTENTION! brancher la turbopompe au système. Figure 3 Installer cet appareil dans un endroit clos et ne jamais installer et/ou utiliser la pompe dans un endroit exposé aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à...
Page 51 Mode d’emploi Installation Les contrôleurs disponibles sont les suivants: Tab. 1 DÉSIGNATION CONTRÔLEUR N° DE RÉF. Controller AG Rack base X3506-64001 TwisTorr 304 FS AG Rack Controller AG Rack with X3506-64002 TwisTorr 304 FS AG Rack RS232/485 RS232/485 Controller AG Rack with X3506-64003 TwisTorr 304 FS AG Rack RS232/485 &...
Page 52 Mode d’emploi Fixation de la pompe Fixation de la pompe AVERTISSEMENT! En cas de panne du rotor, tout manquement au respect de ces instructions comporte des risques de décrochage de la pompe du système pouvant entraîner des dommages, des blessures graves ou la mort. Le TwisTorr 304 FS peut être installée dans n'importe quelle position.
Page 53 Mode d’emploi Utilisation de la TwisTorr 304 FS Utilisation de la TwisTorr 304 FS Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la turbo pompe sont contenues dans le manuel de l’unité de contrôle. Lire attentivement ce manuel avant l’emploi. Pour atteindre des pressions limites meilleures, on peut chauffer le système.
Page 54 Mode d’emploi Utilisation de la TwisTorr 304 FS N'utilisez jamais la pompe en présence de gaz ou de vapeurs corrosifs pouvant ATTENTION! endommager le matériau interne de la pompe. AVERTISSEMENT! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz.
Page 55 Mode d’emploi Entretien Entretien Le TwisTorr 304 FS ne demand aucun entretien. Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé. AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à...
Page 56 Mode d’emploi Mise au rebut Mise au rebut Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué...
Page 57 TwisTorr 304 FS User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 58 Información general Almacenamiento Preparación para la instalación 62 Instalación Fijación de la bomba Uso de la TwisTorr 304 FS 67 Mantenimiento Eliminación Traducción de las instrucciones originales 57/304...
Page 58 Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica de sus rotores.
Page 59 Manual de istrucciones Información general Información general Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
Page 60 Manual de istrucciones Información general Este manual utiliza las convenciones siguientes: ¡ADVERTENCIA! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una operación específica que, al no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no ¡ATENCIÓN! cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
Page 61 Manual de istrucciones Almacenamiento Almacenamiento Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las  bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: temperatura: entre –40 °C y 70 °C;...
Page 62 Manual de istrucciones Preparación para la instalación Preparación para la instalación La TwisTorr 304 FS se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.
Page 63 Manual de istrucciones Preparación para la instalación Figura 1 X3500-64000, X3500-64002, X3500-64004, X3500-64006, X3500-64010 Figura 2 X3500-64001, X3500-64003, X3500-64005, X3500-64007 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 63/304...
Page 64 Manual de istrucciones Instalación Instalación Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al conectar la bomba ¡ATENCIÓN! al sistema. Figura 3 Instalar esta bomba sólo en ambientes cerrados y, en ningún caso, utilizarla en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio.
Page 65 Manual de istrucciones Instalación Los controladores disponibles son los siguientes: Tab. 1 NOMBRE DEL PRODUCTO CONTROLADORES NÚMERO DE PIEZA Controller AG Rack base X3506-64001 TwisTorr 304 FS AG Rack Controller AG Rack with X3506-64002 TwisTorr 304 FS AG Rack RS232/485 RS232/485 Controller AG Rack with X3506-64003...
Page 66 Manual de istrucciones Fijación de la bomba Fijación de la bomba ¡ADVERTENCIA! La falta de cumplimiento de estas instrucciones de instalación, en caso de que se produzca una avería en el rotor, puede implicar la separación de la bomba del sistema, causando daños, heridas graves o la muerte. La TwisTorr 304 FS puede instalarse en cualquier posición.
Page 67 Manual de istrucciones Uso de la TwisTorr 304 FS Uso de la TwisTorr 304 FS En el manual de la unidad de control se encuentran todas las instrucciones para el correcto funcionamiento de la turbo-bomba. Leer atentamente este manual antes de su uso. Para obtener mejores presiones de máxima es posible calentar el sistema.
Page 68 Manual de istrucciones Uso de la TwisTorr 304 FS ¡ADVERTENCIA! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. La bomba está diseñada para tener una alta transferencia de Nitrógeno, Argón y gases más livianos.
Page 69 Manual de istrucciones Mantenimiento Mantenimiento La TwisTorr 304 FS no requiere ningún mantenimiento.Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado. ¡ADVERTENCIA! Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
Page 70 Manual de istrucciones Eliminación Eliminación Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el contrario, deberá...
Page 71 TwisTorr 304 FS User Manual Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 72 Informações gerais Armazenagem Preparação para a instalação Instalação Fixação da bomba 80 Utilização do TwisTorr 304 FS Manutenção Eliminação Tradução das instruções originais 71/304...
Page 72 Manual de Istruções Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores. Em caso de avaria do sistema, causada, por exemplo, por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação poderia ser liberada.
Page 73 Manual de Istruções Informações gerais Informações gerais Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas as informações adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas.
Page 74 Manual de Istruções Informações gerais Este manual utiliza as seguintes convenções: ATENÇAO! As mensagens de atenção atraem a atenção do operador num procedimento ou uma prática específica que, se não executada de modo correto, poderiam provocar graves lesões pessoais. As mensagens de cuidado são visualizadas antes de proceder que, se não CUIDADO! observadas, poderiam causar danos à...
Page 75 Manual de Istruções Armazenagem Armazenagem Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as seguintes prescrições: durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das  bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: temperatura: de -40 °C a 70 °C ...
Page 76 Manual de Istruções Preparação para a instalação Preparação para a instalação O TwisTorr 304 FS é fornecido numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.
Page 77 Manual de Istruções Preparação para a instalação Figura 1 X3500-64000, X3500-64002, X3500-64004, X3500-64006, X3500-64010 Figura 2 X3500-64001, X3500-64003, X3500-64005, X3500-64007 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 77/304...
Page 78 Manual de Istruções Instalação Instalação Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção somente no CUIDADO! momento de ligar a turbobomba ao sistema. Figura 3 Instalar este aparelho somente em ambientes fechados, e nunca usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio.
Page 79 Manual de Istruções Instalação Os controller disponíveis são os seguintes: Tab. 1 NOME DO PRODUTO CONTROLLER NÚMERO DA PEÇA Controller AG Rack base X3506-64001 TwisTorr 304 FS AG Rack Controller AG Rack with X3506-64002 TwisTorr 304 FS AG Rack RS232/485 RS232/485 Controller AG Rack with X3506-64003...
Page 80 Manual de Istruções Fixação da bomba Fixação da bomba ATENÇAO! A não observância destas instruções de instalação, no caso de haver uma avaria do rotor, pode provocar a desconexão da bomba do sistema, causando danos, ferimentos graves ou morte. O TwisTorr 304 FS pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o TwisTorr 304 FS em posição estável ligando o flange de entrada da turbobomba ao contraflange do sistema, com uma conexão capaz de resistir a um torque de 1000 Nm ao redor do próprio eixo.
Page 81 Manual de Istruções Utilização do TwisTorr 304 FS Utilização do TwisTorr 304 FS Todas as instruções para o correcto funcionamento da turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo. Ler com muita atenção este manual antes do uso. Para alcançar melhores pressões limite é...
Page 82 Manual de Istruções Utilização do TwisTorr 304 FS Nunca usar a bomba na presença de gases ou vapores corrosivos que possam CUIDADO! danificar os materiais internos da bomba. ATENÇAO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás.
Page 83 Manual de Istruções Manutenção Manutenção O TwisTorr 304 FS não necessita de qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. ATENÇAO! Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até...
Page 84 Manual de Istruções Eliminação Eliminação Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Page 85 TwisTorr 304 FS User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Algemene informatie Opslag Uitpakken Installatie Bevestiging van de pomp Gebruik van de TwisTorr 304 FS 95 Onderhoud Afvalverwerking 98 Vertaling van de originele instructies 85/304...
Page 86 Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren. In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
Page 87 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of...
Page 88 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik: WAARSCHUWING! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. Bij dit synbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgsd, schade VOORZICHTIG! aan apparatuur kunnen veroorzaken.
Page 89 Bedrijfshandleiding Opslag Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan  de volgende omgevingscondities worden voldaan: temperatuur: van -40 °C tot 70 °C ...
Page 90 Bedrijfshandleiding Uitpakken Uitpakken De TwisTorr 304 FS wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het trans¬port veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de TwisTorr 304 FS niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Page 91 Bedrijfshandleiding Uitpakken Figuur 1 X3500-64000, X3500-64002, X3500-64004, X3500-64006, X3500-64010 Figuur 2 X3500-64001, X3500-64003, X3500-64005, X3500-64007 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 91/304...
Page 92 Bedrijfshandleiding Installatie Installatie Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten VOORZICHTIG! mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. Figuur 3 Installeer dit apparaat alleen in afgesloten ruimten. In geen geval mag de pomp niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar.
Page 93 Bedrijfshandleiding Installatie De turbomoleculaire pompen TwisTorr 304 FS moeten uitsluitend met een van de speciale controllers van Agilent gebruikt worden en op een primaire pomp aangesloten worden (zie schema in de bijlage "Technical Information"). De beschikbare controllers zijn de volgende: Tab.
Page 94 Bedrijfshandleiding Bevestiging van de pomp Bevestiging van de pomp WAARSCHUWING! Indien deze instructies voor de installatie niet nageleefd worden en zich een defect van de rotor voordoet, kan de pomp loskomen van het systeem en schade, ernstige letsels of de dood veroorzaken. De TwisTorr 304 FS kan in alle standen worden geïnstalleerd.
Page 95 Bedrijfshandleiding Gebruik van de TwisTorr 304 FS Gebruik van de TwisTorr 304 FS Alle instructies voor de correcte werking van de turbopomp staan in de handleiding van de controle-eenheid. Lees de handleiding aandachtig alvorens de pomp in gebruik te nemen. Om een betere limietdruk te bereiken kan het systeem verwarmd worden.
Page 96 Bedrijfshandleiding Gebruik van de TwisTorr 304 FS Gebruik de pomp nooit in aanwezigheid van bijtende gassen of dampen die de VOORZICHTIG! interne materialen van de pomp kunnen beschadigen. WAARSCHUWING! Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van giftige, brandbare of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld.
Page 97 Bedrijfshandleiding Onderhoud Onderhoud De pompen TwisTorr 304 FS zijn onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
Page 98 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking Afvalverwerking Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld.
Page 99 TwisTorr 304 FS User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Generel information Opbevaring Forberedelser før installation Installation Fastgøring af pumpen 108 Anvendelse af TwisTorr 304 FS 109 Vedligeholdelse Bortskaffelse Oversættelse af originalinstruktionerne 99/304...
Page 100 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke vægt. Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
Page 101 Istruktionsbog Generel information Generel information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende lokale regler.
Page 102 Istruktionsbog Generel information I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker: ADVARSEL! Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære personskader. Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at FORSIGTIG! risikere maskinskader.
Page 103 Istruktionsbog Opbevaring Opbevaring Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Agilent: Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i  forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: temperatur: fra -40 °C til +70 °C ...
Page 104 Istruktionsbog Forberedelser før installation Forberedelser før installation TwisTorr 304 FS leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået under transporten. Sørg for, at TwisTorr 304 FS ikke tabes eller udsættes for stød ved udpakningen.
Page 105 Istruktionsbog Forberedelser før installation Figur 1 X3500-64000, X3500-64002, X3500-64004, X3500-64006, X3500-64010 Figur 2 X3500-64001, X3500-64003, X3500-64005, X3500-64007 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 105/304...
Page 106 Istruktionsbog Installation Installation Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen tilsluttes FORSIGTIG! systemet. Figur 3 Installér kun pumpen lukkede miljøer og anvend den ikke under nogen omstændigheder i miljøer, der udsættes for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø.
Page 107 Istruktionsbog Installation De controller, som står til rådighed, er følgende: Tab. 1 PRODUKTNAVN CONTROLLER VARENUMMER Controller AG Rack base X3506-64001 TwisTorr 304 FS AG Rack Controller AG Rack with X3506-64002 TwisTorr 304 FS AG Rack RS232/485 RS232/485 Controller AG Rack with X3506-64003 TwisTorr 304 FS AG Rack RS232/485 &...
Page 108 Istruktionsbog Fastgøring af pumpen Fastgøring af pumpen ADVARSEL! Manglende ovreholdelse af denne monteringsvejledning kan, i tilfælde af at rotoren går i stykker, medføre, at pumpen løsrives fra systemet og foråsager skader, alvorlige kvæstelser eller dødsfald. TwisTorr 304 FS kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør TwisTorr 304 FS i en stabil position ved at montere turbopumpens indløbsflange på...
Page 109 Istruktionsbog Anvendelse af TwisTorr 304 FS Anvendelse af TwisTorr 304 FS Alle instruktionerne for den korrekte funktion af turbopumpen er indeholdt i manualen for styreenheden. Læs omhyggeligt denne manual før den anvendes. For at opnå bedre begrænsnings-tryk er det muligt at opvarme systemet. Under den eventuelle opvarmning af vakuumkammeret må...
Page 110 Istruktionsbog Anvendelse af TwisTorr 304 FS ADVARSEL! Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser. Pumpen er konstrueret til at have en høj overførsel af kvælstof, argon og lettere gasser. Såfremt der er behov for at pumpe gasser, som er tungere end argon, skal man kontakte den tekniske kundeservice hos Agilent for yderligere oplysninger.
Page 111 Istruktionsbog Vedligeholdelse Vedligeholdelse Pumpen TwisTorr 304 FS kræver ikke nogen form for vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale. ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på...
Page 112 Istruktionsbog Bortskaffelse Bortskaffelse Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv "WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres på...
Page 113 TwisTorr 304 FS User Manual Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 114 Allmän information Förvaring Förberedelser för installation Installation Fastsättning av pumpen Användning av TwisTorr 304 FS 123 Underhåll Bortskaffning Översättning av originalinstruktionerna 113/304...
Page 114 Bruksanvisning Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa. I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
Page 115 Bruksanvisning Allmän information Allmän information Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Page 116 Bruksanvisning Allmän information I bruksanvisningen används följande standardrubriker: VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för OBSERVER! att inte risk för maskinskada skall uppstå.
Page 117 Bruksanvisning Förvaring Förvaring Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar: Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande  omgivningsförhållanden respekteras: Temperaturområde: -40 °C till +70 °C.  Relativ fuktighet: 0 till 90 % (utan kondens). ...
Page 118 Bruksanvisning Förberedelser för installation Förberedelser för installation Pumpen TwisTorr 304 FS levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TwisTorr 304 FS inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen.
Page 119 Bruksanvisning Förberedelser för installation Figur 1 X3500-64000, X3500-64002, X3500-64004, X3500-64006, X3500-64010 Figur 2 X3500-64001, X3500-64003, X3500-64005, X3500-64007 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 119/304...
Page 120 Bruksanvisning Installation Installation Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till OBSERVER! systemet. Figur 3 Installeraden här apparaten endast i stängda miljöer och använd den hur som helst inte i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
Page 121 Bruksanvisning Installation Följande kontrollsystem finns tillgängliga: Tab. 1 PRODUKTNAMN KONTROLLSYSTEM DELNUMMER Controller AG Rack base X3506-64001 TwisTorr 304 FS AG Rack Controller AG Rack with X3506-64002 TwisTorr 304 FS AG Rack RS232/485 RS232/485 Controller AG Rack with X3506-64003 TwisTorr 304 FS AG Rack RS232/485 &...
Page 122 Bruksanvisning Fastsättning av pumpen Fastsättning av pumpen VARNING! Om de här installationsinstruktionerna inte iakttas kan det leda till att pumpen kommer loss från systemet om det uppstår en skada på rotorn vilket orsakar allvarliga materialskador, kroppsskador eller döden. TwisTorr 304 FS kan installeras i valfri position. Fäst TwisTorr 304 FS i ett stabilt läge genom att montera pumpens intagsfläns till systemetskontrafläns med en anslutning som måste tåla ett vridmoment på...
Page 123 Bruksanvisning Användning av TwisTorr 304 FS Användning av TwisTorr 304 FS Alla instruktioner för en optimal prestanda och driftsäkerhet av turbopumparna finns i kontrollenhetens bruksanvisning. Instruktionsboken bör läsas mycket noggrannt innan användning. För att uppnå högre trycknivåer kan systemet värmas upp. Under en eventuell uppvärmning av vakuumkammaren, bör ej temperaturen på...
Page 124 Bruksanvisning Användning av TwisTorr 304 FS Användn aldrig pumpen om det finns frätande gas eller ångor som kan skada OBSERVER! materialen inuti pumpen. VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.
Page 125 Bruksanvisning Underhåll Underhåll TwisTorr 304 FS kräver inget som helst underhåll. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. VARNING! Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat system.
Page 126 Bruksanvisning Bortskaffning Bortskaffning Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Page 127 TwisTorr 304 FS User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Generell informasjon 129 Lagring Klargjøre til installasjon Installasjon Festing av pumpen Bruk av TwisTorr 304 FS Vedlikehold Eliminering Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen 127/304...
Page 128 Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper De turbomolekylære pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor. I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd på...
Page 129 Instruksjon Manual Generell informasjon Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på...
Page 130 Instruksjon Manual Generell informasjon Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan FORSIKTIG! føre til at utstyret skades.
Page 131 Instruksjon Manual Lagring Lagring For å garantere optimal drift og pålitelighet for Agilent turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende  miljøforhold overstiges: Temperatur: fra -40 °C til 70 °C.  Relativ fuktighet: fra 0 til 90 % (uten kondensering).
Page 132 Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Klargjøre til installasjon TwisTorr 304 FS leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TwisTorr 304 FS pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt.
Page 133 Instruksjon Manual Klargjøre til installasjon Figur 1 X3500-64000, X3500-64002, X3500-64004, X3500-64006, X3500-64010 Figur 2 X3500-64001, X3500-64003, X3500-64005, X3500-64007 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 133/304...
Page 134 Instruksjon Manual Installasjon Installasjon Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når turbopumpen koples til FORSIKTIG! systemet. Figur 3 Dette apparatet skal bare installeres i lukkede miljøer, og skal ikke installeres eller brukes systemet i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare.
Page 135 Instruksjon Manual Installasjon Følgende styreenheter kan brukes: Tab. 1 PRODUKTNAVN STYREENHET DELENUMMER Controller AG Rack base X3506-64001 TwisTorr 304 FS AG Rack Controller AG Rack with X3506-64002 TwisTorr 304 FS AG Rack RS232/485 RS232/485 Controller AG Rack with X3506-64003 TwisTorr 304 FS AG Rack RS232/485 &...
Page 136 Instruksjon Manual Festing av pumpen Festing av pumpen ADVARSEL! Manglende overholdelse av disse installasjonsinstruksene kan føre til at pumpen løsner fra systemet hvis rotoren ødelegges. Dette kan føre til materielle skader, alvorlige personskader eller død. TwisTorr 304 FS kan monteres i en valgfri stilling. Fest TwisTorr 304 FS i en stabil stilling ved å...
Page 137 Instruksjon Manual Bruk av TwisTorr 304 FS Bruk av TwisTorr 304 FS Anvisningene for korrekt bruk av turbopumpen er beskrevet i styreenhetens bruksanvisning. Les nøye denne manualen før du bruker pumpen. For å forbedre grensetrykket, er det mulig å varme opp pumpen. Mens oppvarmingen av vakuumkammeret pågår, må...
Page 138 Instruksjon Manual Bruk av TwisTorr 304 FS ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. Pumpen er utformet for å overføre nitrogen, argon og lettere gasser.
Page 139 Instruksjon Manual Vedlikehold Vedlikehold TwisTorr 304 FS er vedlikeholdsfri.Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert personell. ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Page 140 Instruksjon Manual Eliminering Eliminering Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt "WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må behandles som vanlig hus-industriavfall, men må...
Page 141 TwisTorr 304 FS User Manual Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 142 Yleisiä tietoja Varastointi Valmistelut asennusta varten Asennus Pumpun kiinnitys 150 TwisTorr 304 FS käyttö 151 Huolto Hävittäminen Alkuperäisen ohjeiden käännös 141/304...
Page 142 Ohjekäsikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan. Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua. VAROITUS! Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi! 142/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Page 143 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Yleisiä tietoja Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä...
Page 144 Ohjekäsikirja Yleisiä tietoja Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: VAROITUS! Varoitus-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö-tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. Huomio- merkinnät varoittavat toimenpiteistä, joiden laiminlyönti voi johtaa HUOMIO! laitteen vaurioitumiseen. Huomiot sisältävät tärkeää tekstistä otettua tietoa. HUOM 144/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Page 145 Ohjekäsikirja Varastointi Varastointi Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia  ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: lämpötila: -40 °C - 70 °C.  suhteellinen kosteus: 0 – 90 % (ei tiivistävä). ...
Page 146 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Valmistelut asennusta varten TwisTorr 304 FS pumppu toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TwisTorr 304 FS in putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei tule jättää...
Page 147 Ohjekäsikirja Valmistelut asennusta varten Kuva 1 X3500-64000, X3500-64002, X3500-64004, X3500-64006, X3500-64010 Kuva 2 X3500-64001, X3500-64003, X3500-64005, X3500-64007 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 147/304...
Page 148 Ohjekäsikirja Asennus Asennus Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään HUOMIO! järjestelmään. Kuva 3 Laite tulee asentaa vain suljettuihin tiloihin. Sitä ei saa missään tapauksessa käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara.
Page 149 Ohjekäsikirja Asennus TwisTorr 304 FS turbomolekyylipumppuja saa käyttää ainoastaan yhdessä tarkoitusta varten olevien Agilent valvojien kanssa ja ne on kytkettävä pääpumppuun (ks. "Technical Information" liitteen kaaviota). Saatavilla on seuraavan tyyppisiä valvojia: Tab. 1 TUOTTEEN NIMI VALVOJA OSANUMERO Controller AG Rack base X3506-64001 TwisTorr 304 FS AG Rack Controller AG Rack with...
Page 150 Ohjekäsikirja Pumpun kiinnitys Pumpun kiinnitys VAROITUS! Asennusohjeiden noudattamatta jättäminen, mikäli roottorissa syntyy vika, voi aiheuttaa pumpun irtoamisen järjestelmästä ja näin ollen vahinkoja, vakavia vammoja tai kuoleman. TwisTorr 304 FS voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnittäkää TwisTorr 304 FS vakaaseen asentoon asentamalla turbopumpun sisääntulolaippa järjestelmän vastalaippaan liitännällä, joka kestää...
Page 151 Ohjekäsikirja TwisTorr 304 FS käyttö TwisTorr 304 FS käyttö Kaikki turbopumpun oikeaan toimintaan liittyvät ohjeet löydät valvontayksikön käyttöoppaasta. Lue tämä käyttöopas huolellisesti ennen käytön aloittamista. Voit saavuttaa parhaat rajapaineet lämmittämällä järjestelmän. Tyhjiökammion mahdollisen lämmittämisen yhteydessä imulaipan lämpötilan ei tule nousta 120 °C yläpuolelle ConFlat laipoituksella ja 80 °C yläpuolelle ISO laipoituksella.
Page 152 Ohjekäsikirja TwisTorr 304 FS käyttö VAROITUS! Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. Pumppu on suunniteltu typen, argonin tai kevyempien kaasujen pumppaamiseen. Mikäli argoniin nähden painavampia kaasuja joudutaan pumppaamaan, ottakaa yhteyttä...
Page 153 Ohjekäsikirja Huolto Huolto TwisTorr 304 FS pumput eivät vaadi mitään huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi. VAROITUS! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.
Page 154 Ohjekäsikirja Hävittäminen Hävittäminen Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti. Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita) tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä...
Page 155 TwisTorr 304 FS User Manual Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Általános informáicó Tárolás Előkészítés telepítésre 160 Telepítés A szivattyú rögzítése A TwisTorr 304 FS használata Karbantartás Megsemmisítés 168 Az eredeti utasítás fordítása 155/304...
Page 156 Felhasználói Kézikönyv Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz A jelen gépkönyvben leírt turbómolekuláris szivattyúk nagy mozgási energiával rendelkeznek nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege miatt. A rendszer hibás működése – például a rotor és az állórész érintkezése vagy a forgórész széttörése –...
Page 157 Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Általános informáicó A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való...
Page 158 Felhasználói Kézikönyv Általános informáicó Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt használja: VESZÉLY! A veszélyt üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet. A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem FIGYELEM! tartanak be, az a berendezés károsodását okozhatja.
Page 159 Felhasználói Kézikönyv Tárolás Tárolás A Agilent turbomolekuláris szivattyúk maximális teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell követni: szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő  környezeti paramétereket nem szabad túllépni: hőmérséklettartomány: -40 °C - 70 °C  relatív páratartalom: 0 – 90 % (nem kondenzáló) ...
Page 160 Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Előkészítés telepítésre A TwisTorr 304 FSt különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához. TwisTorr 304 FS A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását. Ne ártalmatlanítsa a csomagoló...
Page 161 Felhasználói Kézikönyv Előkészítés telepítésre Ábra 1 X3500-64000, X3500-64002, X3500-64004, X3500-64006, X3500-64010 Ábra 2 X3500-64001, X3500-64003, X3500-64005, X3500-64007 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 161/304...
Page 162 Felhasználói Kézikönyv Telepítés Telepítés Ne távolítsa el az öntapadó csíkot és a védőkupakot, csak a turbószivattyú FIGYELEM! rendszerre csatlakoztatása előtt. Ábra 3 Ezt a berendezést csak zárt térbe telepítse, és semmiképpen se használja a szivattyút atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben.
Page 163 Felhasználói Kézikönyv Telepítés A TwisTorr 304 FS széria turbómolekuláris szivattyúit kizárólag a megfelelő Agilent vezérlő egységek egyikével szabad használni, és a szivattyúkat előzőleg egy elsődleges szivattyúra kell kötni (lásd a “Technical Information” mellékletben megadott rajzot). Az alkalmazható vezérlő egységek a következők: Tab.
Page 164 Felhasználói Kézikönyv A szivattyú rögzítése A szivattyú rögzítése VESZÉLY! Ezeknek a telepítési utasításoknak figyelmen kívül hagyása, amennyiben a rotor meghibásodik, a szivattyúnak a rendszerről való leválását eredményezheti úgy, hogy a dolgokban kárt, súlyos sérülést vagy halált okozhat. A TwisTorr 304 FS bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a TwisTorr 304 FSt stabil helyzetben, a turbószivattyú...
Page 165 Felhasználói Kézikönyv A TwisTorr 304 FS használata A TwisTorr 304 FS használata A turbószivattyú helyes alkalmazására vonatkozó minden utasítást megtalál a vezérlőegység kézikönyvében. Mielőtt a berendezést használná, figyelmesen olvassa el az említett kézikönyvet! A jobb nyomás-határértékek elérése érdekében a rendszert fel lehet melegíteni.
Page 166 Felhasználói Kézikönyv A TwisTorr 304 FS használata Soha ne használja a szivattyút olyan maró gázok vagy gőzök jelenlétében, FIGYELEM! amelyek a szivattyú belsejében lévő anyagokat károsíthatják. VESZÉLY! Amikor a szivattyút mérgező, tűzveszélyes vagy radioaktív gázok szivattyúzására használja, kövesse az egyes gázok kezelésére vonatkozó eljárásokat! Ne használja a szivattyút robbanó...
Page 167 Felhasználói Kézikönyv Karbantartás Karbantartás A TwisTorr 304 FS típusú szivattyúk nem igényelnek karbantartást. A rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie. VESZÉLY! A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú...
Page 168 Felhasználói Kézikönyv Megsemmisítés Megsemmisítés A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. A lent látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő...
Page 169 Podrecznik Instrukcji Megsemmisítés Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Ogólne Informacje Magazynowanie Przygotowanie do instalacji 174 Instalacja Mocowanie pompy Użytkowanie pompy TwisTorr 304 FS 179 Konserwacja Przetworstwo odpadow Tłumaczenie instrukcji oryginalnej TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 169/304...
Page 170 Podrecznik Instrukcji Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką ilość energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysoką prędkością obrotową razem z masą właściwą wirników. W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być...
Page 171 Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje Ogólne Informacje Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich...
Page 172 Podrecznik Instrukcji Ogólne Informacje W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia: ZAGROZENIE! Komunikaty zagrozeniu przyciągają uwagę operatora co do danej procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała. Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku UWAGA! ich braku przestrzegania, może dojść...
Page 173 Podrecznik Instrukcji Magazynowanie Magazynowanie W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalności i niezawodności pomp Turbomolekularnych Agilent należy przestrzegać następujących zaleceń: podczas transportu, przestawiania i magazynowania pomp, nie  należy przekraczać następujących warunków środowiskowych: temperatura: od -40 °C do 70 °C  względna wilgoć·od 0 do 90 % ( bez opar) ...
Page 174 Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Przygotowanie do instalacji Ponpa TwisTorr 304 FS jest dostarczana w specjanym ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń, do których mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży. Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę, aby nie upuścić...
Page 175 Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Posta 1 X3500-64000, X3500-64002, X3500-64004, X3500-64006, X3500-64010 Posta 2 X3500-64001, X3500-64003, X3500-64005, X3500-64007 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 175/304...
Page 176 Podrecznik Instrukcji Instalacja Instalacja Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający dopiero w momencie UWAGA! połączenia pompy do systemu. Posta 3 To urządznie należy instalować wyłącznie w pomieszczeniach zamkniętych i w żadnym przypadku nie wykorzystywać pompy w pomieszczeniach narażonych na oddziaływanie czynników atmosferycznych (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w pomieszczeniach z atmosferą...
Page 177 Podrecznik Instrukcji Instalacja Pompy turbomolekularnej TwisTorr 304 FS należy używać wyłącznie wraz ze specjalnym kontrolerem Agilent i należy ją podłączyć do pompy głównej (patrz schemat w załączniku "Technical Information"). Kontrolery będące w dyspozycji są następujące: Tab. 1 NAZWA WYROBU KONTROLER NR CZĘŚCI Controller AG Rack base X3506-64001...
Page 178 Podrecznik Instrukcji Mocowanie pompy Mocowanie pompy ZAGROZENIE! Nieprzestrzeganie tych instrukcji dotyczących instalacji może, w przypadku powstania usterki wirnika, spowodować odłączenie się pompy od systemu, a w konsekwencji doprowadzić do uszkodzeń sprzętu, obrażeń cielesnych osób a nawet śmierci. Pompa TwisTorr 304 FS może być zainstalowana w jakiejkolwiek pozycji.
Page 179 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie pompy TwisTorr 304 FS Użytkowanie pompy TwisTorr 304 FS Wszystkie instrukcje dotyczące prawidłowego funkcjonowania pompy turbinowej zostały opisane w instrukcji użytkowania jednostki kontroli. Przed użytkowaniem uważnie przeczytać wspomniane instrukcje. By uzyskać optymalne dopuszczalnie ciśnienie, przewidziane zostało ewentualne nagrzanie systemu. Podczas ewentualnego nagrzewania kamery próżniowej, temperatura na kołnierzu złącznym nie powinna przekraczać...
Page 180 Podrecznik Instrukcji Użytkowanie pompy TwisTorr 304 FS Absolutnie nie wylorzystywać pompy w środowisku zawierającym gazy lub opary UWAGA! powodujące korozję, ponieważ mogłoby to doprowadzić do uszkodzenia wewnętrznych elementów pompy. Kiedy pompa jest stosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo ZAGROZENIE! palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów.
Page 181 Podrecznik Instrukcji Konserwacja Konserwacja Pompa TwisTorr 304 FS nie wymaga żadnej konserwacji. Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony personel. ZAGROZENIE! Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać...
Page 182 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow Przetworstwo odpadow Objaśnienie znajdującego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”. Użyty poniżej symbol jest zgodny z wymogiem dyrektywy Unii Europejskiej nazywanej WEEE. Symbol ten (obowiązujący tylko w krajach Unii Europejskiej) oznacza, że wyrób, który nim został oznaczony NIE może być...
Page 183 TwisTorr 304 FS User Manual Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 184 Všeobecné informace 185 Uskladnění Příprava k instalaci Instalace Upevnění vývěvy Použití vývěvy TwisTorr 304 FS 193 Údržba Likvidace Překlad originálního návodu 183/304...
Page 184 Návod k Použití Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů. V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení...
Page 185 Návod k Použití Všeobecné informace Všeobecné informace Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem do zařízení...
Page 186 Návod k Použití Všeobecné informace Tento manuál používá následující standardní protokol: NEBEZPEČÍ! Varovná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz. Výstražná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení POZOR! mohly poškodit zařízení.
Page 187 Návod k Použití Uskladnění Uskladnění Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost turbomolekulárních vývěv firmy Agilent, musíte dodržovat následující pokyny: Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli  překračovat následující technické podmínky prostředí: Teplotní rozpětí: -40 °C až 70 °C ...
Page 188 Návod k Použití Příprava k instalaci Příprava k instalaci Vývěva TwisTorr 304 FS se dodává ve speciálním ochranném obalu. Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při vybalování dávejte pozor, aby vývěva TwisTorr 304 FS nespadla a chraňte ji před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Page 189 Návod k Použití Příprava k instalaci Obrázek 1 X3500-64000, X3500-64002, X3500-64004, X3500-64006, X3500-64010 Obrázek 2 X3500-64001, X3500-64003, X3500-64005, X3500-64007 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 189/304...
Page 190 Návod k Použití Instalace Instalace Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte adhezní a POZOR! ochranné víko. Obrázek 3 Toto zařízení instalujte výhradně do uzavřeného prostředí a nepoužívejte je v prostředí, které je vystaveno atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí...
Page 191 Návod k Použití Instalace Jsou k dispozici následující controllery: Tab. 1 NÁZEV VÝROBKU ŘÍDICÍ ZAŘÍZENÍ ČÍSLO DÍLU Controller AG Rack base X3506-64001 TwisTorr 304 FS AG Rack Controller AG Rack with X3506-64002 TwisTorr 304 FS AG Rack RS232/485 RS232/485 Controller AG Rack with X3506-64003 TwisTorr 304 FS AG Rack RS232/485 &...
Page 192 Návod k Použití Upevnění vývěvy Upevnění vývěvy NEBEZPEČÍ! Nedodržení těchto pokynů pro instalaci může v případě výskytu poruchy rotoru způsobit oddělení čerpadla od systému, s následným vážným zraněním nebo dokonce smrtí. Vývěvu TwisTorr 304 FS lze instalovat do libovolné polohy. Upevněte vývěvu TwisTorr 304 FS ve stabilní...
Page 193 Návod k Použití Použití vývěvy TwisTorr 304 FS Použití vývěvy TwisTorr 304 FS Veškeré pokyny pro správné používání turbočerpadla jsou uvedené v příručce řídicí jednotky. Před použitím čerpadla si tuto příručku pozorně přečtěte. Pro dosažení lepšího maximálního tlaku můžete systém čerpadla zahřát. Při zahřívání...
Page 194 Návod k Použití Použití vývěvy TwisTorr 304 FS NEBEZPEČÍ! Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů. Vývěva byla navržena pro vysoký přenos dusíku, argonu a dalších lehčích plynů. V případě, že by s ní...
Page 195 Návod k Použití Údržba Údržba Vývěva TwisTorr 304 FS nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby. NEBEZPEČÍ! Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová...
Page 196 Návod k Použití Likvidace Likvidace Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí...
Page 197 Návod na Obsluhu Likvidace Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 198 Všeobecné informácie Uchovávanie Príprava na inštaláciu Inštalácia Upevnenie vývevy206 Použitie vývevy TwisTorr 304 FS 207 Údržba Likvidácia Preklad originálneho návodu TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 197/304...
Page 198 Návod na Obsluhu Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy Turbomolekulárne vývevy, opísané v nasledujúcej príručke, sa vyznačujú vysokou kinetickou energiou, a to vďaka vysokej rýchlosti otáčania v kombinácii so špecifickou hmotnosťou svojich rotorov. V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora alebo pri zlomení...
Page 199 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Všeobecné informácie Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené...
Page 200 Návod na Obsluhu Všeobecné informácie Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia: NEBEZPEČÍ! Nebezpečie majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie. Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie POZOR! zariadenia. Poznámky upozorňujú...
Page 201 Návod na Obsluhu Uchovávanie Uchovávanie Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujúce pokyny: neprekračujte nasledujúce podmienky prostredia počas prevozu,  prenášania a uchovávania vývev: rozsah teplôt: -40 °C až 70 °C  rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 90 % (bez kondenzácie) ...
Page 202 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Príprava na inštaláciu Výveva TwisTorr 304 FS sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy), obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent. Pri vybaľovaní dávajte pozor, aby výveva TwisTorr 304 FS nespadla a chráňte ju pred náhodnými nárazmi, otrasmi alebo vibráciami.
Page 203 Návod na Obsluhu Príprava na inštaláciu Obrázok 1 X3500-64000, X3500-64002, X3500-64004, X3500-64006, X3500-64010 Obrázok 2 X3500-64001, X3500-64003, X3500-64005, X3500-64007 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 203/304...
Page 204 Návod na Obsluhu Inštalácia Inštalácia Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný uzáver skôr, než pripojíte turbovývevu k POZOR! systému. Obrázok 3 Toto zariadenie inštalujte výhradne do uzavretého prostredia a nepoužívajte ho v prostredí, ktoré je vystavené vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké...
Page 205 Návod na Obsluhu Inštalácia K dispozícii sú nasledujúce kontrolné zariadenia: Tab. 1 NÁZOV VÝROBKU RIADIACE ZARIADENIE ČÍSLO DIELU Controller AG Rack base X3506-64001 TwisTorr 304 FS AG Rack Controller AG Rack with X3506-64002 TwisTorr 304 FS AG Rack RS232/485 RS232/485 Controller AG Rack with X3506-64003 TwisTorr 304 FS AG Rack...
Page 206 Návod na Obsluhu Upevnenie vývevy Upevnenie vývevy NEBEZPEČÍ! Nedodržanie týchto pokynov pre inštaláciu môže, v prípade výskytu poruchy rotora, spôsobiť oddelenie vývevy od systému, s následným vážnym zranením alebo dokonca smrťou. Vývevu TwisTorr 304 FS je možné inštalovať v ľubovoľnej polohe. Upevnite vývevu TwisTorr 304 FS do stabilnej polohy, a to tak, že vstupnú...
Page 207 Návod na Obsluhu Použitie vývevy TwisTorr 304 FS Použitie vývevy TwisTorr 304 FS Všetky inštrukcie, potrebné pre správnu prevádzku turbočerpadla, sú uvedené v príručke kontrolnej jednotky. Pred použitím si túto príručku pozorne preštudujte. Aby sa dosiahli lepšie hraničné hodnoty tlaku, možno systém vyhriať. Pri zahrievaní...
Page 208 Návod na Obsluhu Použitie vývevy TwisTorr 304 FS NEBEZPEČÍ! Ak vývevu používate na odčerpávanie toxických, horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov. Výveva bola navrhnutá pre vysoký prenos Dusíka, Argónu a ďalších ľahších plynov.
Page 209 Návod na Obsluhu Údržba Údržba Výveva TwisTorr 304 FS nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál. NEBEZPEČÍ! Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať...
Page 210 Návod na Obsluhu Likvidácia Likvidácia Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE". Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí...
Page 211 TwisTorr 304 FS User Manual Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Splošne informacije Shranjevanje Priprava za montažo Montaža Pritrditev črpalke Uporaba črpalke TwisTorr 304 FS Vzdrževanje Odlaganje opadkov Prevod navodil v izvirniku 211/304...
Page 212 Priročnik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev. V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
Page 213 Priročnik za Navodila Splošne informacije Splošne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije, ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Page 214 Priročnik za Navodila Shranjevanje Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Agilent Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil: Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete  preseči naslednjih specifikacij: temperaturno območje: -40 °C do 70 °C  območje relativne vlažnosti: 0 do 90 % (brez kondenza) ...
Page 215 Priročnik za Navodila Priprava za montažo Priprava za montažo Črpalka TwisTorr 304 FS je dobavljena v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri odpiranju embalaže pazite pazite, da vam črpalka TwisTorr 304 FS ne pade iz rok in ne izpostavljajte je udarcem ali tresljajem. Embalaže ne odlagajte v okolje.
Page 216 Priročnik za Navodila Priprava za montažo Slika 1 X3500-64000, X3500-64002, X3500-64004, X3500-64006, X3500-64010 Slika 2 X3500-64001, X3500-64003, X3500-64005, X3500-64007 216/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Page 217 Priročnik za Navodila Montaža Montaža Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na POZOR! sistem. Slika 3 To napravo lahko namestite le v zaprte prostore, v nobenem primeru pa je ne uporabljajte v prostorih, ki so izpostavljeni vremenskim dejavnikome (dež, sneg, led), prahu, agresivnim plinom ali v okoljih kjer obstaja nevarnost požara.
Page 218 Priročnik za Navodila Montaža Primerni krmilniki so sledeči: Tab. 1 IME IZDELKA KRMILNIK ŠT. DELA Controller AG Rack base X3506-64001 TwisTorr 304 FS AG Rack Controller AG Rack with X3506-64002 TwisTorr 304 FS AG Rack RS232/485 RS232/485 Controller AG Rack with X3506-64003 TwisTorr 304 FS AG Rack RS232/485 &...
Page 219 Priročnik za Navodila Pritrditev črpalke Pritrditev črpalke SVARILO! Neupoštevanje teh navodil glede namestitve lahko v primeru okvare rotorja povzroči odklop črpalke s sistema s posledičnimi okvarami, hudimi poškodbami ali celo smrtjo. TwisTorr 304 FS lahko montirate v številne pozicije. TwisTorr 304 FS namestite v stabilen položaj tako, da pritrdite vhodno prirobnico turbočrpalke na števno prirobnico s tako spojko, ki lahko prenaša navor 1000 Nm okoli svoje osi.
Page 220 Priročnik za Navodila Uporaba črpalke TwisTorr 304 FS Uporaba črpalke TwisTorr 304 FS Vsa navodila za pravilno delovanje turbočrpalke se nahajajo v priročniku kontrolne enote. Pazljivo preberite ta priročnik pred uporabo. Za dosego boljših mejnih pritiskov je možno segreti sistem. Pri morebitnem segrevanju vakuumske komore temperatura dovodne prirobnice ne sme preseči 120 stopinj C s prirobnicami ConFlat in 80 stopinj C s prirobnicami ISO.
Page 221 Priročnik za Navodila Uporaba črpalke TwisTorr 304 FS SVARILO! Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov. Črpalka je zasnovana za prenos velike količine dušika, argona in lažjih plinov. Če bi želeli črpati pline, ki so težji od argona, se posvetujte s službo za tehnično pomoč...
Page 222 Priročnik za Navodila Vzdrževanje Vzdrževanje Črpalke TwisTorr 304 FS ne potrebujejo nikakršnega vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje. SVARILO! Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
Page 223 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov Odlaganje opadkov Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč...
Page 224 Priročnik za Navodila Odlaganje opadkov 224/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Page 225 TwisTorr 304 FS User Manual Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps General Information Storage Preparation for installation 230 Installation Pump Fixing234 Use of TwisTorr 304 FS 235 Maintenance Disposal Original Instructions 225/304...
Page 226 Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors.
Page 227 Instructions for Use General Information General Information This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards.
Page 228 Instructions for Use General Information This manual uses the following standard protocol: WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, CAUTION! could cause damage to the equipment.
Page 229 Instructions for Use Storage Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: when shipping, moving and storing pumps, the following  environmental specifications should not be exceeded: temperature range: -40 °C to 70 °C ...
Page 230 Instructions for Use Preparation for installation Preparation for installation The TV 304 TwisTorr pump is supplied in a special protective pack- ing. If this shows signs of damage which may have oc-curred during transport, contact your local sales office. When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to the TV 304 TwisTorr pump.
Page 231 Instructions for Use Preparation for installation Figure 1 X3500-64000, X3500-64002, X3500-64004, X3500-64006, X3500-64010 Figure 2 X3500-64001, X3500-64003, X3500-64005, X3500-64007 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 231/304...
Page 232 Instructions for Use Installation Installation Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump CAUTION! to the system. Figure 3 Install this device indoors only, and in any case do not use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, ice, snow), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk.
Page 233 Instructions for Use Installation Tab. 1 PRODUCT NAME CONTROLLER PART NUMBER Controller AG Rack base X3506-64001 TwisTorr 304 FS AG Rack Controller AG Rack with X3506-64002 TwisTorr 304 FS AG Rack RS232/485 RS232/485 Controller AG Rack with X3506-64003 TwisTorr 304 FS AG Rack RS232/485 &...
Page 234 Instructions for Use Pump Fixing Pump Fixing Failure to comply with these installation instructions could result in the pump WARNING! detaching from the system in the event of a rotor failure, which could cause property damage or serious injury or death. The TwisTorr 304 FS can be installed in any position.
Page 235 Instructions for Use Use of TwisTorr 304 FS Use of TwisTorr 304 FS All the instructions to correctly use the turbopump are contained in the controller manual. Read carefully this manual before use the pump. To obtain better limit pressures it is possible to heat the pump.
Page 236 Instructions for Use Use of TwisTorr 304 FS WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. The pump is designed to pump high throughput of N , Ar and lighter gas.
Page 237 Instructions for Use Maintenance Maintenance The TwisTorr 304 FS does not require any maintenance. Any work must be carried out by authorized personnel. WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C.
Page 238 Instructions for Use Disposal Disposal Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system.
Page 239 TwisTorr 304 FS User Manual Technical Information Description of the TwisTorr 304 FS Pump Description 246 Technical Specification TwisTorr 304 FS Outline Interconnections 270 Earth (Ground) Connection Connection C – Electrical Soft Start Inlet screen installation Air Cooling Kit Installation 276 Water Cooling Kit Connection Vent Accessories 281 TwisTorr 304 FS on board controller compatible Vent...
Page 240 Technical Information Disposal Connection of the High Vacuum Flange 290 Installation of ISO-K Flange 291 Installation of ConFlat Flange Connection of the Fore-Vacuum Pump 294 Pump Used with Corrosive Gases Pump Used in Presence of Magnetic Fields Accessories and Spare Parts 240/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Page 241 The TwisTorr 304 FS pump is available in various models that differ in the high vacuum flange. The TwisTorr 304 FS pump models are: Model X3500-64000 with ISO 100 high vacuum flange with water cooling; Model X3500-64001 with ConFlat 6” external diameter high vacuum flange with water cooling;...
Page 242 Technical Information Description of the TwisTorr 304 FS Figure 4 Model X3500-64000 Figure 5 Model X3500-64001 242/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Page 243 Technical Information Description of the TwisTorr 304 FS Figure 6 Model X3500-64002 Figure 7 Model X3500-64003 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 243/304...
Page 244 Technical Information Description of the TwisTorr 304 FS Figure 8 Model X3500-64004 Figure 9 Model X3500-64005 244/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Page 245 Technical Information Description of the TwisTorr 304 FS Figure 10 Model X3500-64006 Figure 11 Model X3500-64007 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 245/304...
Page 246 Technical Information Description of the TwisTorr 304 FS Figure 12 Model X3500-64010 Pump Description The TwisTorr 304 pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 8 bladed stages and 3 TwisTorr drag stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end.
Page 247 Technical Information Description of the TwisTorr 304 FS During normal operation, the motor is fed with a voltage of 54 Vac three-phase at 1010 Hz. To reduce losses during start-up to a minimum, the frequency increases according to a ramp with a higher initial voltage/frequency ratio.
Page 248 Technical Information Technical Specification Technical Specification Max gas throughput:  water cooling (water temperature=25°C; backing pump 5 m air cooling (ambient temperature 25°C; backing pump 5 m Tab. 3 Technical Specification Pumping speed ISO 100 / CF 6” ISO 160 / CF 8” 250 l/s 250 l/s 255 l/s...
Page 249 Technical Information Technical Specification Operating position Operating ambient temperature +5 °C to +35 °C Relative humidity of air 0 – 90 % (not condensing) Bakeout temperature 80 °C at inlet flange max. Lubricant Permanent lubrication Cooling requirements Natural convection (only with no gas load) Forced air (5- 35 °C ambient temperature) Water (mandatory if ambient temperature >...
Page 250 Technical Information Technical Specification Tab. 4 Split Flow (X3500-64010) Technical Specification Pumping speed * Main Flange (ISO 100) Side Port (KF40) 220 l/s 5 l/s 215 l/s 6.5 l/s 215 l/s 7 l/s 210 l/s 4 l/s Compression ratio Total Foreline/Side Port >1 ...
Page 251 Technical Information TwisTorr 304 FS Outline TwisTorr 304 FS Outline The following figures show the TwisTorr 304 FS (dimensions are in mm [inches]). Figure 13 TwisTorr 304 FS ISO 100, WATER COOLING (X3500-64000) TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 251/304...
Page 252 Technical Information TwisTorr 304 FS Outline Figure 14 TwisTorr 304 FS ISO160, water cooling (X3500-64002) 252/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Page 253 Technical Information TwisTorr 304 FS Outline Figure 15 TwisTorr 304 FS CFF6, water cooling (X3500-64001) TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 253/304...
Page 254 Technical Information TwisTorr 304 FS Outline Figure 16 TwisTorr 304 FS CFF8, water cooling (X3500-64003) 254/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Page 255 Technical Information TwisTorr 304 FS Outline Figure 17 TwisTorr 304 FS, water cooling (X3500-64010) TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 255/304...
Page 256 Technical Information TwisTorr 304 FS Outline Figure 18 TwisTorr 304 FS + air cooling kit (X3500-64004 + X3500-68011) 256/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Page 257 Technical Information TwisTorr 304 FS Outline Figure 19 TwisTorr 304 FS + air cooling kit (X3500-64005 + X3500-68011) TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 257/304...
Page 258 Technical Information TwisTorr 304 FS Outline Figure 20 TwisTorr 304 FS + air cooling kit (X3500-64006 + X3500-68011) 258/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Page 259 Technical Information TwisTorr 304 FS Outline Figure 21 TwisTorr 304 FS + air cooling kit (X3500-64007 + X3500-68011) TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 259/304...
Page 260 Technical Information TwisTorr 304 FS Outline Figure 22 Graph of Pumping Speed vs. Inlet Pressure for TwisTorr 304 FS pump 260/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Page 261 Technical Information TwisTorr 304 FS Outline Figure 23 Graph of Compression ratio vs. Foreline Pressure for TwisTorr 304 FS pump TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 261/304...
Page 262 Technical Information TwisTorr 304 FS Outline Figure 24 Graph of Iso Flow – Iso Power TwisTorr 304 FS pump: Nitrogen 262/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Page 263 Technical Information TwisTorr 304 FS Outline Figure 25 Graph of Iso Flow – Iso Power TwisTorr 304 FS pump: Argon TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 263/304...
Page 264 Technical Information TwisTorr 304 FS Outline Figure 26 Graph of Iso Flow – Iso Power TwisTorr 304 FS pump: Helium 264/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Page 265 Technical Information TwisTorr 304 FS Outline Figure 27 Graph of Iso Flow TwisTorr 304 FS pump: Hydrogen TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 265/304...
Page 266 Technical Information TwisTorr 304 FS Outline Figure 28 Split Flow (X3500-64010): Graph of Pumping Speed (Main Flange ISO100) 266/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Page 267 Technical Information TwisTorr 304 FS Outline Figure 29 Split Flow (X3500-64010): Graph of Pumping Speed (Side Port KF4) TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 267/304...
Page 268 Technical Information TwisTorr 304 FS Outline Figure 30 Split Flow (X3500-64010): Graph of Compression Ratio (Total) 268/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Page 269 Technical Information TwisTorr 304 FS Outline Figure 31 Split Flow (X3500-64010): Graph of Compression Ratio (Foreline/Side port) TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 269/304...
Page 270 Technical Information Interconnections Interconnections The following figure shows the TwisTorr 304 FS interconnections. Figure 32 Earth (Ground) Connection We recommend that you fit a separate earth (ground) conductor to the TwisTorr 304 FS. Use a separate insulated green/yellow conductor, and use a M5 x 10 screw and shake proof washer (fitted to the earth hole on the pump) to secure the earth conductor to the pump.
Page 271 Technical Information Interconnections Connection C – Electrical Figure 33 The turbopump is connected to the controller through an 6-pin connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pins A and F are connected to the temperature sensor (NTC type, 30 KΩ resistance at 25 °C) and pin E is connected to the pump ground.
Page 272 Technical Information Soft Start Soft Start “Soft Start” mode is provided to start the pump after a protracted stop of the TwisTorr 304 FS. This allows a better grease distribution in the bearings. The “Soft Start” mode is disabled by default. To enable the “Soft Start”...
Page 273 Technical Information Inlet screen installation Inlet screen installation Figure 34 Model 9699302 and 9699303 Figure 35 Model X3500-68000 and X3500-68001 The inlet screens mod. • X3500-68000 (ISO 100) • X3500-68001 (ISO 160) TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 273/304...
Page 274 Technical Information Inlet screen installation • 9699302 (CFF 6’’) • 9699304 (CFF 8’’) prevent the blades of the pump from being damaged by debris. The inlet screen, however, does reduce the pumping speed as followed: Reduction in pumping speed (%) X3500-68000 X3500-68001 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in...
Page 275 Technical Information Inlet screen installation Figure 37 The overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump do not change as the inlet screen remains integrated into the center-ring. TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 275/304...
Page 276 Technical Information Air Cooling Kit Installation Air Cooling Kit Installation An air cooling kit (X3500-68011) is available to improve the TwisTorr 304 FS cooling during operational conditions. Fan specifications: air flow: 147 m   input voltage: 24 Vdc dimensions: 119 x 119 x 32 mm (4.7 x 4.7 x 1.3 in.) ...
Page 277 Technical Information Air Cooling Kit Installation To fix the fan to the TwisTorr 304 FS case execute the following procedure (see the following figure): Fix the fan to the suitable bracket by means of the furnished screws; Fix the bracket to the pump body between the pump and the controller;...
Page 278 Technical Information Water Cooling Kit Connection Water Cooling Kit Connection Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient. The two model part numbers are: 9699337 (metallic model), and 9699347 (plastic model).
Page 279 Technical Information Water Cooling Kit Connection The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following CAUTION! figure Figure 42 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm. The metallic model is assembled as shown in the figure.
Page 280 Technical Information Water Cooling Kit Connection Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles. These hoses must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid NOTE that the tube(s) gets loose or disconnected during operation.
Page 281 Technical Information Vent Accessories Vent Accessories The vent valve and vent device allow to avoid undesired venting of the pump during temporary power failure and enables an automatic vent operation. TwisTorr 304 FS on board controller compatible Vent Valve mod. 9699834 Figure 44 This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec.
Page 282 Technical Information Vent Accessories Figure 45 Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm. Figure 46 282/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Page 283 Technical Information Vent Accessories Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump. CAUTION! Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller. TwisTorr 304 AG Rack Controller Compatible Vent Valve mod.
Page 284 Technical Information Vent Accessories Figure 48 Screw the flange mod. 9699108 on the pump, taking care of the oring right position. Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp. Figure 49 284/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Page 285 Technical Information Vibration Isolator Installation Vibration Isolator Installation Four vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accessories. The four model part numbers are the following: model 9699344 for ISO 100 flange;  model 9699345 for ISO 160 flange; ...
Page 286 Technical Information Purge Valve Installation Purge Valve Installation A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump. To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure, Figure 50 and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as...
Page 287 Technical Information Purge Valve Installation Figure 51 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B) 287/304...
Page 288 Technical Information TwisTorr 304 FS On-board Controller Installation TwisTorr 304 FS On-board Controller Installation The controller can be mounted in two position: bottom mounting (as per the complete system)  side mounting.  To install the controller execute the following procedures. Bottom Mounting See the following figure.
Page 289 Technical Information TwisTorr 304 FS On-board Controller Installation Figure 52 Mounting 1 Side Mounting The L-shaped bracket (P/N X3500-68012) is available as an option. NOTE See the following figure. Screw the 4 fixing studs (provided with the accessories bag) in the holes on the L-shaped bracket;...
Page 290 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Rotate the bracket until the controller is on the chosen position; Tighten the screws properly; Turn the pump again; 10 Plug the line cord and connect the pump cable to the pump; 11 Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump.
Page 291 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange WARNING! It is mandatory to connect the pump in such a way to withstand the torque specified in the "INSTRUCTION FOR USE" section. Specifically pay attention to clamp design, material of clamps and bolts and bolt fixing torque. WARNING! If the pump is fastened on a vacuum chamber with different flange Agilentts there exists the chance of twisting or tearing-off in case the rotor is suddenly...
Page 292 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Figure 54 Use the required number of claw clamps: 4 for ISO 100 flange  4 for ISO 160 flange  Tighten the claw clamps with a torque of 22 Nm. Installation of ConFlat Flange For ConFlat flange connections, fix the two flanges with the screws as shown in the following figures (a protective screen can optionally be used).
Page 293 Technical Information Connection of the High Vacuum Flange Figure 55 Use the required number of screws: 16 for CFF 6”  20 for CFF 8”  Attach the units and tighten each screw in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces meet. Tighten the screws with a torque of 20 Nm.
Page 294 Technical Information Connection of the Fore-Vacuum Pump Connection of the Fore-Vacuum Pump A flange KF 16 NW is available to connect the TwisTorr 304 FS pump to the forevacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
Page 295 Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Pump Used with Corrosive Gases To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump.
Page 296 Technical Information Pump Used with Corrosive Gases Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Forevacuum pump Turbopump Vent valve Figure 56 Purge layout 296/304 TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Page 297 Technical Information Pump Used in Presence of Magnetic Fields Pump Used in Presence of Magnetic Fields Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor.
Page 298 Technical Information Accessories and Spare Parts Accessories and Spare Parts Tab. 5 Accessories and spare parts DESCRIPTION PART NUMBER 9699958 Mains cable NEMA Plug, 3m long 9699957 Mains cable European Plug, 3m long 9699883 Serial cable and Navigator Software X3500-68000 Inlet screen, ISO 100 9699302 Inlet screen CFF 6’’...
Page 300 ...
Page 301 ...
Page 303 ...
Page 304 Agilent Vacuum Products Division/Sales and Service Offices United States India Southeast Asia Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd 121 Hartwell Avenue Unit Nos 105-116 Unit 201, Level 2 uptown 2, Lexington, MA 02421 - USA...

Ce manuel est également adapté pour:

Twistorr 304 fs X3500-64001 X3500-64002 X3500-64003 X3500-64004 X3500-64005 ... Afficher tout

Agilent Technologies X3500-64000 Mode D'emploi

Les langues disponibles

Liens rapides

Manuels Connexes pour Agilent Technologies X3500-64000

Sommaire des Matières pour Agilent Technologies X3500-64000

Ce manuel est également adapté pour: