Agilent Technologies X3500-64000 Mode D'emploi page 39

Verwendung TwisTorr 304 FS
Alle Anweisungen für den korrekten Betrieb der Turbopumpe sind
im Handbuch der Kontrolleinheit enthalten. Bitte lesen Sie das
Handbuch aufmerksam vor dem Gebrauch. Für den Erhalt besserer
Grenzdruckwerte ist es möglich, das System zu erhitzen.
Bei einer eventuellen Erhitzung der Vakuumkammer darf die
Temperatur an dem Eintrittsflansch bei einem Flansch ConFlat nicht
über 120 °C und bei einem ISO-Flansch nicht über 80 °C liegen.
Während der Erhitzungsvorgänge immer die Abkühlung mit Wasser
verwenden.
WARNUNG! Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit
dem Verschlussflansch verschlossen ist. Während des Aufheizens dürfen
weder die Pumpe noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es
besteht Verbrennungsgefahr.
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie
VORSICHT!
Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt
werden könnten. Für die Belüftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie
Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll
unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen. Zum Pumpen von
Gasen mit Partikeln oder aggressiven Verunreinigungen sind die Pumpen mit
einer Öffnungsklappe (Sperrgas/Belüftung integriert) ausgestattet, über die zum
Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff, Helium oder Argon) zuzuleiten ist (siehe
Anhang "Technical Information").
TwisTorr 304 FS User Manual / 87-901-027-01(B)
Gebrauchsanleitung
Verwendung TwisTorr 304 FS
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