Table des Matières
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TriScroll
Dry Scroll
Vacuum Pump
Manual No. 699904265
Revision S
October 2009
300 Series
TM
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.
vacuum technologies
INSTALLATION AND
OPERATION MANUAL
INSTALLATIONS- UND
BETRIEBSHANDBUCH
MANUEL D'INSTALLATION
ET D'OPÉRATION
MANUAL DE INSTALACIÓN Y
FUNCIONAMIENTO
MANUALE
D'INSTALLAZIONE E D'USO
取付と操作仕様書
安装和操作手册
설치 및 조작안내서
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Table des Matières
Manuels Connexes pour Agilent Technologies TriScroll 300 Série
Sommaire des Matières pour Agilent Technologies TriScroll 300 Série
- Page 1 NOTICE: This document contains references to Varian. Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent Technologies. For more information, go to www.agilent.com/chem. vacuum technologies TriScroll 300 Series INSTALLATION AND OPERATION MANUAL Dry Scroll INSTALLATIONS- UND Vacuum Pump BETRIEBSHANDBUCH MANUEL D'INSTALLATION ET D'OPÉRATION MANUAL DE INSTALACIÓN Y...
- Page 2 ™ TriScroll 300 Series Dry Scroll Vacuum Pump TriScroll is a trademark of Varian, Inc. Copyright 2009 Varian, Inc.
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Page 3: Table Des Matières
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Table of Contents Declaration of Conformity Istruzioni per l'uso .............17 Informazioni generali ..........17 Warranty ..............viii Conservazione ...........17 Warranty Replacement and Adjustment....viii Disimballaggio ed ispezione ........17 Instructions for Use ............. 1 Requisiti per l'installazione ........18 General Information .......... - Page 4 TriScroll 300 Series Vacuum Pump Technical Information ..........33 Electrical Connections..........36 Single Phase Motor Connection......36 Three Phase Motor Connection ......37 Mechanical Connections........38 Pump Location ........... 38 Rotation of the Pump Inlet with Respect to the Motor Frame ......38 Pump Inlet............
- Page 5 TriScroll 300 Series Vacuum Pump List of Figures List of Tables Figure Caption Page Table Title Page Interface Drawing with Dimensions ..34 Pump Models and Power Cords ..... 3 Pumping Speed Curves ....34 Circuit Breaker Requirements......
- Page 6 TriScroll 300 Series Vacuum Pump This page intentionally left blank.
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Page 7: Declaration Of Conformity
Declaration of Conformity Declaration of Conformity Konformitätserklärung Déclaration de Conformité Declaración de Conformidad Verklaring de Overeenstemming Dichiarazione di Conformità Varian, Inc. Nous 121 Hartwell Avenue Nosotros Lexington, MA, 02421-3133 USA declare under our sole responsibility that the product, erklären, in alleniniger Verantwortung, daß dieses Produkt, déclarons sous notre seule responsabilité... -
Page 8: Warranty
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Warranty Warranty Replacement and Adjustment Products manufactured by Seller are warranted against defects in materials and workmanship for twelve (12) All claims under warranty must be made promptly after months from date of shipment thereof to Customer, and occurrence of circumstances giving rise thereto, and must Seller’s liability under valid warranty claims is limited, at be received within the applicable warranty period by... -
Page 9: Instructions For Use
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Instructions for Use General Information Unpacking and Inspection This equipment is designed for use by professionals. The The shipping container is a double carton. user should read this instruction manual and any other 1. After opening the outer box, remove the foam packing. additional information supplied by Varian before operating 2. -
Page 10: Installation Requirements
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Installation Requirements During operation, the following environmental conditions should not be exceeded: Safety Temperature: +5 °C to +40 °C (+41 °F to +104 °F) Do not remove or modify any safety or insulating Relative humidity: 50 to 80% (non-condensing) equipment from the pump. -
Page 11: Pump Models And Power Cords
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Table 1 lists the available TS-300 pump models and Three phase pumps are shipped without a power cord. A indicates the power cord to be used with each particular three phase power cable kit, Varian part number pump. -
Page 12: Operation
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Operation Maintenance In order to reach ultimate vacuum, the pump must be left Personnel responsible for pump operation and running for about one hour with the inlet sealed. maintenance must be well-trained and aware of the accident prevention rules. -
Page 13: Anleitungen Zur Benutzung
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Anleitungen zur Benutzung Allgemeine Informationen Auspacken und Inspektion Dieses Gerät ist zur Benutzung durch Fachkräfte Beim Versandbehälter handelt es sich um einen bestimmt. Der Benutzer muss vor der Bedienung des doppelten Karton. Gerätes das Anleitungshandbuch und alle zusätzlichen 1. -
Page 14: Installationsanforderungen
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Installationsanforderungen Während des Betriebes dürfen die folgenden Umgebungsbedingungen nicht überschritten werden: Sicherheit Temperatur: + 5 °C bis + 40 °C (41 °F bis 104 °F) Sicherheits- oder Isoliervorrichtungen dürfen nicht von Relative der Pumpe entfernt oder modifiziert werden, da sonst Feuchtigkeit: 50 bis 80% (nicht kondensierend) schwerwiegende Sicherheitsrisiken entstehen und die... - Page 15 TriScroll 300 Series Vacuum Pump In Tabelle 3 sind die lieferbaren TS-300 Pumpenmodelle Dreiphasenpumpen werden ohne aufgeführt. Die Tabelle enthält außerdem Informationen Spannungsversorgungskabel geliefert. Ein zu den Spannungsversorgungskabeln, die mit jeder Dreiphasen-Kabelsatz, Varian Teilenummer S4789001, ist einzelnen Pumpe verwendet werden müssen. lieferbar.
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Page 16: Betrieb
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Betrieb Wartung Um ein optimales Vakuum zu erreichen, muss die Pumpe Das für den Betrieb und die Wartung der Pumpe für etwa eine Stunde mit abgedichtetem Einlass laufen. zuständige Personal muss gut geschult und mit den Regeln zur Unfallvermeidung vertraut sein. -
Page 17: Instructions D'utilisation
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Instructions d'utilisation Informations générales Ce manuel utilise le protocole des normes de sécurité suivant: Cet équipement est conçu pour être utilisé par des ADVERTISSEMENT Les messages d'avertissement visent professionnels. L'utilisateur est tenu de lire ce manuel à... -
Page 18: Déballage Et Inspection
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Déballage et Inspection Exigences d'installation Le conteneur d'expédition est un carton double.. Sécurité 1. Après l'ouverture de la boîte extérieure, retirez le Ne retirez pas ni ne modifiez l'équipement de sécurité ou bourrage de mousse. d'isolation de la pompe. - Page 19 TriScroll 300 Series Vacuum Pump Pendant l'opération, les conditions environnementales ATTENTION Lorsqu'elle est fournie par l'usine, la suivantes ne doivent pas être dépassées : pompe est configurée tel qu'indiqué Température : +5 °C à +40 °C (41 °F à 104 °F) dans le tableau suivant.
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Page 20: Opération
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Opération Entretien Afin d'atteindre le vide complet, la pompe doit Le personnel responsable de l'opération et de l'entretien fonctionner pendant environ une heure avec l'entrée de la pompe doit être parfaitement formé et conscient des hermétiquement fermée. -
Page 21: Instrucciones De Uso
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Instrucciones de uso Información general Almacenaje Cuando se transporte o almacene la bomba, no deberán Este equipos está diseñado para que lo utilicen superarse las siguientes condiciones ambientales: profesionales. El usuario debería leer este manual de instrucciones y cualquier otra información adicional −... -
Page 22: Requisitos De Instalación
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Requisitos de instalación Durante su funcionamiento, las siguientes condiciones ambientales no deben superarse: Seguridad Temperatura: +5 °C a +40 °C (41 °F a 104 °F) No desmonte ni modifique ninguno de los equipos de Humedad relativa: 50 a 80% (sin condensación) seguridad o aislamiento presentes en la bomba. - Page 23 TriScroll 300 Series Vacuum Pump La Tabla 7 enumera los modelos de bombas TS-300 Las bombas trifásicas se envían sin cable de corriente. disponibles e indica el cable de corriente que debe Está disponible un kit de cable de corriente trifásico, con utilizarse con cada bomba en concreto.
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Page 24: Funcionamiento
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Funcionamiento Mantenimiento Para alcanzar el vacío máximo, la bomba debe dejarse en El personal responsable del funcionamiento y funcionamiento durante aproximadamente una hora con mantenimiento de la bomba debe estar cualificado y ser la admisión a la misma sellada. consciente de las normativas de seguridad e higiene en el trabajo. -
Page 25: Istruzioni Per L'uso
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Istruzioni per l'uso Informazioni generali Disimballaggio ed ispezione Quest'attrezzatura è stata progettata per personale Il contenitore di spedizione consiste in un doppio specializzato. Prima di mettere in funzione l'attrezzatura, scatolone. l'utente deve leggere questo manuale di istruzioni e le 1. -
Page 26: Requisiti Per L'installazione
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Requisiti per l'installazione Durante il funzionamento, è opportuno rispettare i seguenti requisiti ambientali: Sicurezza Temperatura: da +5 °C a +40 °C (da 41 °F a 104 °F) Non rimuovere o modificare i sigilli di sicurezza o di Umidità... - Page 27 TriScroll 300 Series Vacuum Pump Nella tabella 9 sono elencati i modelli di pompe TS-300 e Le pompe trifasi vengono spedite senza il cavo di sono indicati i cavi di alimentazione da utilizzare con alimentazione. È disponibile un kit di cavi di ogni particolare pompa.
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Page 28: Funzionamento
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Funzionamento Manutenzione Al fine di raggiungere il vuoto massimo, la pompa deve Il personale responsabile del funzionamento e della funzionare per circa un'ora con l'ingresso sigillato. manutenzione della pompa deve essere ben addestrato e deve conoscere le regole per la prevenzione di incidenti. A differenza delle pompe convenzionali a tenuta d'olio, le pompe a coclea a secco della Varian non hanno un AVVERTENZA... -
Page 29: 使用仕様
TriScroll 300 Series Vacuum Pump 使用仕様 概況概要 開梱と点検 この設備は専門者に向っている。 ユーザーはこの設備を 梱包箱は二重ダンボールである。 操作する前にこの取付仕様書及び Varian の提供する他 1. 外部梱包箱を開けた後、フォームプラスチックを の追加情報を良く読まなければならない。 これらの仕様 取外す。 に遵守しないこと、 訓練されていない人に間違って使用 2. 内部梱包箱を切り開く。 されること、許可されずにこの設備の運転を妨げるこ と、 或は特定の国家標準にある操作規範と相違して操作 3. ベニヤ板の台座でポンプを内部梱包箱から取外す。 することによる如何なる事故に対して、 Varian は責任を 4. ポンプフレームをしっかりと固定する為のベニヤ 負わない。 板にある四つのボルトを取外す。 この TriScroll™ 300 はスクロール型ドライ真空ポンプ 5. NW16 排気管のコネクターを見出して、傍に置く。 である。このようなポンプは空気と希ガスに適用する。... -
Page 30: 取付要求
TriScroll 300 Series Vacuum Pump 取付要求 操作する時は以下の環境要求を適わなければならない。 温度： +5 °C ～ +40 °C （5.00 °C ～ 40.00 °CÅj 安全 相対湿度： 50 ～ 80%（凝結物なし） 安全設備と絶縁設備を取外す或は修正しないでくださ 空気回路を塞げないでください。塞が 注意 い。そうすると、重大の安全危険と修理保証の無効を誘 るとポンプの温度が高すぎるようにな 発する可能性がある。 る。 ポンプの表面温度が 55 C (131 ° ° F) 以上になると損害を誘発する可能 このポンプは空気と希望ガスのみに 警告 ❑... - Page 31 TriScroll 300 Series Vacuum Pump 表 11 に利用可能な TS-300 ポンプの型式を示す。ま 三相誘発ポンプは電源コードが付かないが、 Varian 部品 た、特定ポンプの電源コードを指定する。 の番号が S4789001 である三相電源コードキットを配 置する。このキットにはプラグを含まない。 表 11 ポンプ型式と電源コード ポンプ型 電動機電圧 プラグ型式 溶解切断 コンダクター コードマーク コード長さ サイズ PTS03001UNIV 100-115 VAC NEMA 5-15P 14 Gage UL/CSA 2.5 m PTS03001UNIVEU 200-230 VAC CEE 7/7 3x1.50 mm2...
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Page 32: スタートアップ手順
TriScroll 300 Series Vacuum Pump 操作 保守 到達真空を実現する為に、 ポンプの入口を密封した場合 操作と保守の担当者は厳しく訓練されなければならな にポンプに約１時間ほど続いて運転さてください。 い。そして、事故防止規則を精通しなければならない。 従来の油回転（真空）ポンプと違って、Varian のスク 高圧と接すると電撃死亡になる可能 警告 ❑ ロール型ドライ真空ポンプ は液体で蓄積される塵と破 性があるので、いつも有効的の事故防 片を浄化する必要がない。 空気の環境で一分或は二分ほ 止規則を遵守しなければならない。 どポンプを運転するとポンプのクリーニングを実現で 通電した後、部品を移動する場合は ❑ きる。定期的にポンプを浄化してください。特定の情況 よく注意して、特に高圧を注意してく に応じて、この時間を調整してください。 ださい。 警告 ポンプの運転中、モータハウジングの ポンプが長時間ほど運転した後に保 ❑ 外面が高温になる場合があります。ポ 守しないと、その表面温度が 55 ° ンプの運転中はモータハウジングに触 (131 F) 以上になる可能性があるの... -
Page 33: 使用说明
TriScroll 300 Series Vacuum Pump 使用说明 一般信息 开箱和检查 本设备供专业人员使用。用户在操作本设备之前应阅读 包装箱为双层纸箱。 此安装手册以及 Varian 提供的任何其它附加说明。对于 打开外包装箱后，取出泡沫包装。 因不遵照这些说明、未经培训人员不当地使用、未经授权 切开内包装箱。 而擅自干扰本设备操作或执行与特定国家标准要求的操 作相违反的操作而导致的任何事故， Varian 概不负责。 通过胶合板基座将泵抬出内包装箱。 TriScroll™ 300 为干涡管真空泵。此泵适用于泵送空气或 卸下将泵架紧固至胶合板基座的四颗螺栓。 惰性气体。该泵不用于泵送有毒气体、腐蚀性气体、爆炸 找到 NW16 排气管接头并将其置于一边。 性气体或含颗粒状物质气体。 检查泵是否在运输中遭受损坏。 以下章节提供使用本设备时确保操作人员安全的所有必 如果发现任何运输中造成的损坏，请立即与承运商 需信息。有关详细信息，请参阅第 25 页 “Technical 和您当地的 Varian 销售办事处联系。 Information”... -
Page 34: 安装要求
TriScroll 300 Series Vacuum Pump 安装要求 操作期间，不应超出以下环境条件： 温度： +5 °C 至 C (41 °F 至 104 °F) 安全 相对湿度： 50 至 80% ( 不冷凝 ) 请勿拆卸或改动泵中的任何安全或绝缘装置。否则，可能 注意 请勿阻塞风道，否则可能会造成泵的温 会造成严重的安全隐患并可能使保修失效。 度过高。 泵的表面温度若超过 55 (131 °F) 就有可能造成损坏。如果观察到此类情 警告 此泵仅用于泵送空气和惰性气体，不 ❑ 况，请关闭泵并允许其冷却。必要时， 用于泵送爆炸性气体、易燃气体、有毒 请拆卸泵、检查是否损坏并进行修理。... - Page 35 TriScroll 300 Series Vacuum Pump 表 13 列出了可用的 TS-300 泵型号，并指出每种特定泵 三相泵未随附电源电缆。可向客户提供 Varian 部件号为 使用的电源电缆。 S4789001 的三相电源电缆套件。此套件不包括插头。 表 13 泵型号和电源电缆 泵型号 电动机 电压 插头类型 熔断 导体尺寸 电缆标记 电缆长度 PTS03001UNIV 100-115 VAC NEMA 5-15P 14 号标准直径 UL/CSA 2.5 米 PTS03001UNIVEU 200-230 VAC CEE 7/7 3x1.50 mm2 <HAR>...
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Page 36: 启动过程
TriScroll 300 Series Vacuum Pump 操作 维护 为了实现极限真空，必须在密封泵吸入口的情况下使泵 负责操作和维护泵的人员必须经过严格的培训，并且熟 保持运行大约一小时的时间。 悉事故预防规则。 与传统油封泵不同的是， Varian 的干涡管泵无需使用液 警告 接触高压可能会遭受电击而致死。应 ❑ 体清洗其中所沉积的灰尘和碎屑。在大气环境中定期运 始终格外小心并遵循有效的事故预防 行泵一或两分钟即可实现对泵的清洁。定期清洗泵并根 规程。 据特定情况调整此时间安排。 机器通电后，须特别小心移动部件并 ❑ 警告 注意高压。 如果必须在泵操作相当长的时间之后 ❑ 对其进行维护，请等其冷却后再操作， 因为外表面的温度可能超过 ℃ 。 (131 °F) ❑ 在开始维护工作之前，始终断开泵的 电源。 启动过程 确保关闭真空系统隔离阀。 注释 将泵返回工厂维修之前，必须填写本说... -
Page 37: 사용설명
TriScroll 300 Series Vacuum Pump 사용설명 일반정보 포장 열기 및 검사 본 설비는 전문인원 사용으로 제공합니다 . 사용자는 본 포장 박스는 두 층으로 된 종이 박스입니다 . 설비를 조작하시기 전에 본 설치 안내서 및 Varian 에서 제 겉 포장을 연 후 플라스틱 발포 포장을 꺼냅니다 . 공한... -
Page 38: 설치요구
TriScroll 300 Series Vacuum Pump 설치요구 조작기간에 하기의 환경요구를 넘지 말아 주십시오 : 온도： +5 °C 에서 +40 °C 까지 안전장치 (41 °F 에서 104 °F 까지 ) 상대습도： 50 에서 80% 까지 펌프의 임의의 안전 및 절연장치를 뜯어내거나 고치지 말 （응축하지... - Page 39 TriScroll 300 Series Vacuum Pump 표 15 에서는 사용이 가능한 TS-300 펌프 모델과 매개 특 삼상펌프에는 코드가 함께 들어있지 않고 Varian 부품번 정 펌프에 사용되는 코드를 기록하였습니다 . 호가 S4789001 인 삼상전원 케이블공구세트를 제공하였 습니다 . 이 세트에는 플러그가 포함되지 아니합니다 . 표...
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Page 40: 시동과정
TriScroll 300 Series Vacuum Pump 조작 유지 펌프를 조작 , 유지하는 인원은 엄격한 훈련을 거쳐야 하 극한 진공을 실현하기 위하여 반드시 펌프 흡입구를 밀폐 한 상태에서 펌프를 약 한 시간 가량 운행하여야 합니다 . 고 사고 방지 규칙에 익숙하여야 합니다 . 전통적인... -
Page 41: Technical Information
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Technical Information Table 17 Specifications Model TriScroll™ 300 Series Dry Scroll Vacuum Pump Interface dimensions See Figure 1 on page 34 Peak pumping speed 50 Hz: 210 l/m, 12.6 m /hr (7.4 cfm) 60 Hz: 250 l/m, 15 m /hr (8.8 cfm) Media Clean air. - Page 42 TriScroll 300 Series Vacuum Pump Figure 1 Interface Drawing with Dimensions Figure 2 Pumping Speed Curves...
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Page 43: (Single Phase Pump Shown)
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Cowling Screws; M5 (3) Cowling Inlet (NW25) Inlet Screen NW16 Exhaust Adapter Bearing Purge Port (1/4" National Pipe Thread) Pump Frame Frame Screws; M6 (4) Gas Ballast Port (1/4" National Pipe Thread) 10. Mounting Holes; 11 mm diameter thru (8) 11. -
Page 44: Electrical Connections
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Electrical Connections Wire the motor and electrical interlocks (if applicable) in accordance with local electrical codes and the relevant electrical component manufacturer’s instructions. Table 18 lists the full load motor currents at various voltages. Table 18 Full Load Motor Currents, Amperes 1 phase motor 100 V... -
Page 45: Three Phase Motor Connection
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Three Phase Motor Connection The pump can be configured for low voltage, 200 VAC to 230 VAC, or for high voltage, 380 VAC to 415 VAC and 460 VAC. As supplied from the factory, the pump is configured for low voltage. Figure 5 shows the electrical connections for three phase motor. -
Page 46: Mechanical Connections
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Mechanical Connections Optional Isolation Valve Scroll pumps return to atmospheric pressure quickly Pump Location when shut off, thus the installation of a fast acting, automatic, normally closed isolation valve is strongly Locate the pump on a firm, level surface. recommended to prevent pump debris from being Mounting holes provided in the frame can be used to transported back into the vacuum chamber when the... -
Page 47: Gas Ballast
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Wiring 1. Remove the three screws (item 12 in Figure 3 on page 35) that are holding the motor electrical cover Using the data in Table 19, verify that the VPI Valve (item 13 in Figure 3). chosen is compatible with the TriScroll supply voltage 2. -
Page 48: Troubleshooting
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Troubleshooting Table 20 contains a list of possible problems, their probable causes, and corrective actions. Table 20 Troubleshooting Chart Problem Probable Cause Corrective Action Pump won’t start Circuit breaker open Close breaker. Identify cause of overload. Motor thermal protector open Allow motor to cool. -
Page 49: Maintenance
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Maintenance General Information Varian TriScroll 300 series pumps are designed to provide years of trouble-free service if maintenance procedures and intervals are observed. Bearing grease replenishment and tip seal replacement is recommended when pump base pressure has risen to an unacceptably high level for your application. -
Page 50: Factory Service Options
TriScroll 300 Series Vacuum Pump Factory Service Options Table 23 lists the factory-rebuild service and advance exchange of complete TriScroll Pumps, as well as factory service options that Varian offers. Table 23 Factory Service Options Factory Service Options Part Number Advance Exchange TriScroll 300 Single Phase EXPPTS03001 Advance Exchange TriScroll 300 Three Phase... - Page 51 IMPORTANT Instructions for returning products Dear Customer, Please follow these instructions whenever one of our products needs to be returned: 1. Complete the Request for Return form on our website (www.varianinc.com) and send it to Varian (see below), taking particular care to identify all products that have pumped or been exposed to any toxic or hazardous materials.
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Page 52: Triscroll 300 Series Vacuum Pump
TriScroll 300 Series Vacuum Pump This page intentionally left blank. - Page 54 Sales and Service Offices Canada Italy United States Central coordination through: Varian, Inc. Varian, Inc Varian, Inc. via F.lli Varian 54 121 Hartwell Avenue 121 Hartwell Avenue 10040 Leini, (Torino) Lexington, MA 02421 Lexington, MA 02421 Italy Tel.: +39 011 997 9111 Tel.: +1 781 861 7200 Tel.: +1 781 861 7200 Toll-Free: 00 800 234 234 00...