Table des Matières
Publicité
Použití
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická
připojení.
Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí
překročit 80 °C.
Za chodu vývěvy nesmí teplota rotoru nikdy přesáhnout 120 °C.
Uživatel musí zadat podle odčerpávaného plynu příslušný plynový
režim: 1 pro dusík a lehčí plyny, 0 pro argon (výchozí nastavení) v
seriálním povelu 157. Viz podrobné informace v příloze "Technical
Information".
NEBEZPEČÍ!
Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba připojená k
vakuové komoře. Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a prudkými pohyby. Mohly
POZOR!
by se poškodit ložiska. Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn,
který je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než
1 bary (nad atmosférickým tlakem). Pro čerpání plynů s obsahem částic nebo
znečišťujících látek, agresivních vůči ložiskům, jsou tyto vývěvy vybaveny
speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního plynu (dusík nebo
helium) pro ochranu ložisek vývěvy (viz Technical Information").
Nikdy nepoužívejte vývěvu v přítomnosti korozivních plynů nebo výparů, které by
POZOR!
mohly poškodit materiály použité uvnitř vývěvy.
Turbo-V 3K-G Pumping System User Manual / 87-901-011-01
Návod k Použití
Použití
(C)
13
237/374
Publicité
Table des Matières
