Anvendelse - Agilent Technologies TV 1001 SEM Notice De Mode D'emploi

Table des Matières

Publicité

7
Istruktionsbog

Anvendelse

Anvendelse

Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse
af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger
udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må
indløbsflangens temperatur ikke overstige 120 °C.
ADVARSEL!
Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet
vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af
lukkeflangen. Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med
opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i skade på
personer.
Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug
FORSIGTIG!
af turbopumpen. Der er risiko for beskadigelse af lejerne. Pumpen skal forsynes
med luft eller ædelgasser, der ikke indeholder støv eller faste partikler.
Indgangstrykket ved den specielle dør skal være mindre end 2 bar (over
atmosfærisk tryk). I forbindelse med pumpning af aggressive gasser er disse
pumper udstyret med en dør, igennem hvilken det er nødvendigt at forsyne
pumpen med ædelgasser (kvælstof eller argon) for at beskytte lejerne (se
bilaget "Technical Information")
Pumpen må aldrig bruges hvis der er gasser eller ætsende dampe, der kan
FORSIGTIG!
beskadige pumpens indvendige dele.
ADVARSEL!
Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser,
følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til
eksplosive gasser.
108/296
TV 1001 SEM User Manual / 87-900-973-01 (H)

Publicité

Table des Matières
loading

Ce manuel est également adapté pour:

7698931869893286989469698978

Table des Matières