Varian TV 801 Mode D'emploi page 47

Vývěvu TV 801 Navigator Bolted Flange se šroubovanou
přírubou umístěte do stabilní polohy a přívodní přírubu
turbomolekulární vývěvy připevněte
pomocí přípojky, která odolá točivému momentu 8900 Nm
kolem své osy. Tuto šroubovanou přírubu lze připevnit např.
vysokopevnostními ocelovými šrouby (třídy vyšší než 8.8).
Následující tabulka uvádí nezbytný počet šroubů a příslušný
utahovací moment.
PŘÍRUBA POČET
160 Bolted 8
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu
firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technické
informace".
Vývěva TV 801 Navigator Bolted Flange se šroubovanou
přírubou se může instalovat v libovolné poloze.
POZNÁMKA
Vývěvu TV 801 Navigátor se šroubovanou přírubou nelze
připevňovat využitím její základny.
!
VAROVÁNÍ
Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva TV 801 Navigátor se
šroubovanou přírubou do druhé elektroinstalační (nebo
přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě, která
splňuje uvedenou třídu.
Vývěva TV 801 Navigator Bolted Flange se šroubovanou
přírubou je vybavena vstupními a výstupními konektory a
konektory pro sériovou komunikaci, které se musí připojit
k externím obvodům tak, aby žádná elektrická součást nebyla
přístupná.
Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě TV 801
Navigator Bolted Flange se šroubovanou přírubou byla
přiměřená i v případě jediné poruchy podle směrnice EN
61010-1.
POUŽITÍ
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních
postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a
pneumatická připojení.
Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby nesmí
překročit 120 °C.

VÝSTRAHA!
Turbomolekulární vývěvu
přívodní příruba připojená k vakuové komoře.
Během zahřívání se turbomolekulární vývěvy ani jejího
příslušenství nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit
popáleniny.
!
VAROVÁNÍ
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a
prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska.
Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn,
který je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru
musí být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem).
Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto vývěvy vybaveny
speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního
plynu (např. N , Ar) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu
2
"Technické informace").

VÝSTRAHA!
Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro
likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
k protipřírubě systému
UTAHOVACÍ MOMENT
5 Nm
nikdy nepoužívejte, nebude-li
Zapnutí a používání vývěvy TV 801 Navigator
Bolted Flange
Pro uvedení vývěvy TV 801 Navigator Bolted Flange se
šroubovanou přírubou do provozu je nutné přivést síťové
napětí. Integrovaný kontrolér automaticky zjišťuje blokování,
přítomnost spouštěcích signálů a uvede vývěvu do provozu.
První spuštění vývěvy je v režimu "pozvolného rozběhu".
Jakmile bude rozběhový cyklus dokončen, režim "pozvolného
rozběhu" se automaticky vypne a další starty již budou probíhat
bez "pozvolného rozběhu". Chcete-li opět zapnout režim
"pozvolného rozběhu",
programovým příkazem (viz odstavec "POPIS KOMUNIKACE
RS 232/485" v příloze "Technické informace").
Zelená kontrolka umístěná na čelním panelu základny vývěvy
TV 801 Navigator Bolted Flange se šroubovanou přírubou
indikuje provozní stavy systému blikáním:
•
bez blikání: vývěva se otáč·í normálně;
•
pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna
rozbíhá nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu "č·ekání
na blokování";
•
rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.
Vypnutí vývěvy TV 801 Navigator Bolted
Flangese šroubovanou přírubou
Vývěva TV 801 Navigator Bolted Flange se šroubovanou
přírubou se vypne odpojením síťového napětí. Vestavěný
kontrolér vývěvu okamžitě zastaví.

Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být controller čerpadla
Turbo-V napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka
dílů, které lze doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně
schválenou). Používejte tento kabel se zástrčkou a patřičně
uzemněnou zásuvku, abyste předešli úrazu elektrickým
proudem a aby byly zaručené požadavky norem ES.
Vysoké napětí, které vzniká v controlleru může způsobit vážné
zranění, i smrtelné. Před prováděním zásahů údržby uvnitř
jednotky přívodní kabel odpojte.
Nouzové zastavení
Pro okamžité zastavení vývěvy TV 801 Navigator Bolted
Flange se šroubovanou přírubou v nouzové situaci je třeba
odpojit napájecí kabel ze síťové zásuvky.
ÚDRŽBA
Vývěva TV 801 Navigator Bolted Flange se šroubovanou
přírubou nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce na tomto
zařízení musí provádět oprávněné osoby.

Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte
jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu,
počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud
povrchová teplota vývěvy neklesne pod 50 °C.
V případě poruchy kontaktujte místní servisní středisko firmy
Varian, které může dodat náhradní repasované zařízení
výměnou za porouchané.
Než vrátíte zařízení výrobci na opravu nebo výměnu za
repasované zařízení,musíte vyplnit list
(Zdraví a bezpečnost) přiložený k tomuto návodu a zaslat jej
místní prodejní kanceláři. Před odesláním zařízení musíte
k zařízení přibalit kopii tohoto listu.
Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu
s konkrétními státními normami.
42
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
musíte jej aktivovat patřičným
VÝSTRAHA!
VÝSTRAHA!
POZNÁMKA
"Health and Safety"
87-900-980-01(B)