1. Manuels
  2. Marques
  3. Varian Manuels
  4. Contrôleurs
  5. Turbo-V 70
  6. Notice de mode d'emploi

Varian Turbo-V 70 Notice De Mode D'emploi

Masquer les pouces Voir aussi pour Turbo-V 70:
Table des Matières

Publicité

Liens rapides

Télécharger ce manuel
Turbo-V 70
Controller
Model 969-9506
87-900-870-01 (B)
APRIL 2002
vacuum technologies
MANUALE ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D'EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE ISTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
ISTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
Ο∆ΗΓΙΕΣ ΧΡΗΣΕΩΣ
INSTRUCTION MANUAL

Publicité

Table des Matières
loading

Manuels Connexes pour Varian Turbo-V 70

Sommaire des Matières pour Varian Turbo-V 70

  • Page 1 Turbo-V 70 MANUALE ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH Controller NOTICE DE MODE D’EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES Model 969-9506 MANUAL DE ISTRUÇÕES BEDRIJFSHANDLEIDING ISTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA Ο∆ΗΓΙΕΣ ΧΡΗΣΕΩΣ INSTRUCTION MANUAL 87-900-870-01 (B) APRIL 2002...
  • Page 2 Turbo-V 70 Controller...

  • Page 5: Table Des Matières

    BRUGSANVISNING...................... BRUKSANVISNING ...................... BRUKERVEILEDNING....................KÄYTTÖOHJEET......................ODHGIES CRHSEWS...................... INSTRUCTIONS FOR USE ..................TECHNICAL INFORMATION..................TURBO-V 70 CONTROLLER DESCRIPTION ................CONTROLLER SPECIFICATIONS ....................CONTROLLER OUTLINE........................ Line Voltage Change Over..................... Input/Output Connector ......................Mains and Input Signals ......................Output Signals ........................J16 Pump Connection ......................
  • Page 6 USE ..............................General..........................Startup........................... Monitor Mode ........................PROGRAM MODE .......................... FRONT / REMOTE / 232 Selection..................Monitor Relay Programming....................Reset Command ........................Operating the Pump ......................Low Speed Operation......................Pump Shutdown ........................Power Failure ........................Remote Control Mode Operation ..................ERROR MESSAGES........................

  • Page 7: Informazioni Generali

    Il controller pilota le pompe della serie Turbo-V 70 (con un processo suddiviso in dieci passi) durante la fase di avvio controllando la tensione e la corrente in rapporto alla velocità raggiunta dalla pompa.
  • Page 8 Il cavo può essere richiesto 1. Pulsante per la selezione del modo LOW SPEED. È come accessorio alla Varian; per ulteriori dettagli attivo solo quando è selezionato il modo di comando dal pannello frontale. Premendolo una volta, la pompa consultare il paragrafo "Accessories and spare parts"...

  • Page 9: Procedure Di Uso

    Pannello sinistro Pannelli destro e sinistro del Controller 969-9506 PROCEDURE DI USO MANUTENZIONE I controller della serie Turbo-V 70 non richiedono Accensione del Controller alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere Per accendere il controller ed avviare la pompa è eseguito da personale autorizzato.

  • Page 10: Messaggi Di Errore

    Premere due volte il pulsante START per alimentazione controller, riavviare la pompa. controller ha ricevuto un segnale spurio. Se il messaggio si ripresenta rivolgersi in Varian per la manutenzione. CONTROLLER FAILURE Interruzione fusibile sul secondario di Rivolgersi alla Varian per la Manuten- potenza. zione. 87-900-870-01 (B)

  • Page 11: Gebrauchsanleitung

    Frequenzwandler. Sie sind mit Festkörperbauteilen gefertigt und verfügen über ein Selbstdiagnose- und ein Selbstschutzsystem. Controller steuern Pumpen der Serie Turbo-V 70 (durch einen 10-Schritte- Prozeß) in der Startphase, indem sie die Spannung Stromstärke Verhältnis Pumpengeschwindigkeit kontrollieren. Sie enthalten alle für den automatischen Betrieb der Pumpenserie...

  • Page 12: Steuerungen, Anzeigen Und Verbinder Des Controllers

    Das Controller-Modell 969-9506 wird ohne Netzkabel 1. Taste für die Einstellung des Modus LOW SPEED. Sie geliefert. Es kann bei der Firma Varian als lieferbares ist nur aktiv, wenn der Steuermodus auf Fronttafel Zubehör bestellt werden. Für weitere Hinweise siehe eingestellt ist.

  • Page 13: Bedienung

    Linke Tafel Rechte und linke Tafel des Controllers 969-9506 BEDIENUNG WARTUNG Die Controller der Serie Turbo-V 70 sind wartungsfrei. Einschalten des Controllers und Pumpenstart Eventuell erforderliche Eingriffe müssen von dazu Zum Einschalten des Controllers un starten der Pumpe befugtem Fachpersonal ausgeführt werden. Bei einem muß...

  • Page 14: Fehlermeldungen

    Versorgungsbereich Die Pumpe durch zweimalige Betätigung Controllers bzw. der Controller hat ein der START-Taste neustar-ten. Erscheint falsches Signal erhalten. die Meldung wieder sollte der Varian- Wartungs-dienst gerufen werden. CONTROLLER FAILURE Unterbrechung der Schmelzsicherung Zur Instandhaltung an Varian wenden. am sekundären Leistungsstromkreis.

  • Page 15: Indications Generales

    83/399 matière protection contrôleur de la série Turbo-V 70 est un convertisseur l'environnement. de fréquence, contrôlé par un microprocesseur, réalisé avec des éléments à l'état solide et ayant des capacités d'autodiagnostic et d'auto- protection. Le contrôleur pilote les pompes de la série Turbo-V 70 (par un processus subdivisé...

  • Page 16: Commandes, Indicateurs Et Connecteurs Du Contrôleur

    à la pompe. Ce câble peut être demandé pompe tourne à 2/3 environ de la vitesse nominale. En le pressant une deuxième fois, on désactive le mode comme accessoire à Varian. Pour tous autres détails, LOW SPEED. se reporter au paragraphe "Accessories and spare 2.

  • Page 17: Procedures D'utilisation

    Tableau droit Tableaux droit et gauche du Contrôleur 969-9506 PROCEDURES D'UTILISATION ENTRETIEN Les contrôleurs de la série Turbo-V 70 n'exigent aucun Allumage du Contrôleur et Mise en marche de entretien. Toute opération doit être effectuée par un la Pompe personnel agréé. En cas de panne, il est possible de s'adresser au Service de réparation Varian ou bien au...

  • Page 18: Messages D'erreur

    Si le message se présente à nouveau, s'adresser à Varian pour l'entretien. CONTROLLER FAILURE Interruption du fusible sur le secondaire Contacter Varian pour l’entretien.

  • Page 19: Información General

    Los controlers pilotan las bombas de la serie Turbo-V 70 (con un proceso dividido en diez pasos) durante la fase de puesta en marcha, controlando la tensión y la corriente en relación a la velocidad alcanzada por la bomba.

  • Page 20: Mandos, Indicadores Y Conectores Del Controler

    2/3 aproximadamente de la de conexión a la bomba. El cable puede solicitarse velocidad nominal. Apretándolo una vez más se como accesorio a Varian; para más detalles consultar desactiva el modo LOW SPEED. el apartado “Accessories and spare parts” del anexo Pulsador para enviar los mandos de START, STOP “Technical Information”.

  • Page 21: Procedimientos De Uso

    Panel derecho Paneles derecho e izquierdo del Controler 969-9506 PROCEDIMIENTOS DE USO MANTENIMIENTO Los controlers de la serie Turbo-V 70 no necesitan Encendido del controler y puesta en marcha ningún mantenimiento. Cualquier operación ha de ser de la bomba efectuada por personal autorizado.

  • Page 22: Mensajes De Error

    Si el mensaje se vuelve a presentar espurio. dirigirse a Varian para el mantenimiento. CONTROLLER FAILURE Interrupción fusible sobre Contactar Varian para el Mantenimiento.

  • Page 23: Informações Gerais

    Incorporam todos os circuitos necessários para o funcionamento automático das bombas da série Turbo-V 70. A través de um conector auxiliar estão disponíveis os comandos para a activação e a paragem da bomba por controlo remoto, os sinais que indicam o estado operativo da bomba, os comandos para a activação e a paragem da bomba de pré-vácuo,...

  • Page 24: Instalação

    à bomba. O cabo pode ser solicitado de mando del panel frontal. Apretando una vez, la como acessório à Varian; para maiores detalhes bomba gira a 2/3 aproximada-mente de la velocidad nominal. Apretándolo una vez más se desactiva el consultar o parágrafo "Accessories and spare parts"...

  • Page 25: Procedimentos De Uso

    Painel esquerdo Painel direito Painéis direito e esquerdo do Controller 969-9506 PROCEDIMENTOS DE USO MANUTENÇÃO Os controllers da série Turbo-V 70 não requerem Acendimento do Controller e Activação da qualquer manutenção. Todas as operações devem ser Bomba efectuadas por pessoal autorizado.

  • Page 26: Mensagens De Erro

    Premer duas vezes o botão START para alimentação do controller, ou o controller reactivar a bomba. Se a mensagem se recebeu um sinal falso. reapresentar, dirigir-se à Varian para a manutenção. Interrupção fusível no secundário de Contactar a Varian para a manutenção.

  • Page 27: Algemene Informatie

    De controllers sturen de pompen van de serie Turbo-V 70 (met een proces bestaande uit tien stappen) tijdens de startfase, en controleren hierbij de spanning en de stroom in verhouding tot de door de pomp bereikte snelheid.

  • Page 28: Installatie

    SPEED. Is alleen actief wanneer de bedrijfswijze op het frontpaneel wordt geselecteerd. Door de knop een maal accessoire bij Varian worden besteld: raadpleeg voor in te drukken, draait de pomp op circa 2/3 van de meer informatie de paragraaf "Accessories and spare nominale snelheid.
  • Page 29 In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Om de controller in te schakelen en de pomp te starten Varian of de "Varian advanced exchange service" in te hoeft men slechts voedingsspanning op connector P17 schakelen:...
  • Page 30 Bedien twee maal de START-knop om de voedingssectie van de controller of de pomp weer op te starten. Als de melding controller heeft stoorsignaal weer verschijnt zich voor onderhoud tot ontvangen. Varian wenden. CONTROLLER FAILURE Doorgebrande zekering in secondaire Zich Varian voor onderhoud hoofdstroomkring.

  • Page 31: Brugsanvisning

    Varian, før udstyret emballagen viser tegn på skader, der kan være opstået anvendes. Varian tager ikke ansvar for skader helt eller under transporten.Sørg for at styreenheden ikke tabes delvis følge tilsidesættelse disse eller udsættes for stød ved udpakningen. Smid ikke...
  • Page 32 0 - 95% (ikke kondenserende). BEMÆRK Styreenheden model 969-9506 leveres uden kabel til tilslutning af pumpen. Kabel kan bestilles fra Varian som tilbehør. For yderligere information henvises til Trykknap til installering af LOW SPEED driftvalg. bilag "Technical Information". Dette kabel skal tilsluttes Trykknappen fungerer kun, når...

  • Page 33: Vedligeholdelse

    Venstre og højre panel p 969-9506 å Styreenheden INSTRUKTION VEDLIGEHOLDELSE Styreenhederne i Turbo-V 70-serien behøver ikke Start af styreenheden og pumpen nogen vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal Styreenheden og pumpen startes, ved at føre foretages af autoriseret personale. Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians reparations- spænding til P17-kontakten.
  • Page 34 Der er opstået fejl i styreenhedens Tryk to gange på START-knappen for at fødespænding eller styreenheden har starte pumpen igen. fået et falsk signal. Hvis meddelelsen kommer igen tag kontakt med Varian for nødvendig vedligeholdelse. CONTROLLER FAILURE Afbrydelse sikring sekundært Ret henvendelse til Varian vedrørende effektkredsløb.

  • Page 35: Allmän Information

    Kontakta det lokala försäljningskontoret om dokumentation från Varian före användning emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador som under transporten. Se till att styrenheten inte tappas helt eller delvis orsakats åsidosättande eller utsätts för stötar vid uppackningen.
  • Page 36 0 - 95% (utan kondens) OBSERVERA Styrenheten modell 969-9506 levereras utan kabel för anslutning av pumpen. Kabeln kan beställas från Varian som tillbehör. För ytterligare information 1. Tryckknapp för inställning av LOW SPEED driftsätt. hänvisas till avsnittet "Accessories and Spare Parts" i Tryckknappen...

  • Page 37: Instruktioner För Bruk

    Vänster och höger panel p Styrenheten 969-9506 å INSTRUKTIONER FÖR BRUK UNDERHÅLL Styrenheterna i Turbo-V 70-serien är underhållsfria. Allt Start av styrenheten och pumpen servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. Styrenheten och pumpen startas enkelt genom att ge styrenheten havererar,...
  • Page 38 Tryck två gånger på knappen START för uppstått eller styrenheten har fått en att starta om pumpen. falsk signal. Om meddelandet visas igen, ta kontakt med Varian för nödvändigt underhåll. Avbrott i säkring i den sekundära Kontakta Varian för underhåll. CONTROLLER FAILURE effektkretsen.

  • Page 39: Generell Informasjon

    Brukeren bør lese denne brukerveiledningen beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i som kan ha oppstått under transporten, må du ta bruk. Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser kontakt med det lokale salgskontoret.

  • Page 40: Kontroller, Indikatorer Og Kontakter På Styreenheten

    "Technical Information". MERK Styreenheten modell 969-9506 leveres uten kabel for tilkopling av pumpen. Kabelen kan bestilles fra Varian Trykknapp for innstilling av LOW SPEED drift. som ekstrautstyr. For ytterligere informasjon vises det Trykknappen fungerer kun når det er valgt styremåte til avsnittet "Accessories and Spare Parts"...

  • Page 41: Instruksjoner For Bruk

    Høyre panel Venstre og høyre panel på styreenheten 969-9506 INSTRUKSJONER FOR BRUK VEDLIKEHOLD Turbo-V 70 seriens styreenheter er vedlikeholdsfrie. Alt Starte styreenheten og pumpen arbeid på styreenheten må kun utføres av autorisert Styreenheten og pumpen startes enkelt ved å sette personell.
  • Page 42 OVERVOLTAGE Det har oppstått en feil i styreenhetens starte pumpen igjen. Vises feilmeldingen matedel, eller så har styreenheten fått et om igjen, må du ta kontakt med Varian for falskt signal. nødvendig vedlikehold. CONTROLLER FAILURE Avbrudd i sikringen til det sekundæra Kontakt Varian for vedlikehold.

  • Page 43: Yleisiä Tietoja

    Ennen laitteen käyttöönottoa käyttäjän tulee lukea pakkauksessa. Mikäli havaitsette mahdollisesti huolellisesti mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki kuljetuksen aikana sattuneita vaurioita, ottakaa yhteys muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei vastaa paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden yhteydessä huolehtikaa, että valvoja eipääse...
  • Page 44 KÄYTTÖOHJEET ASENNUS VAARA! VAARA! Mikäli pumppu on asetettu pöydälle, varmistakaa että se on vakaa. Näin vältytään vammoilta ihmisille sekä Sähköliitännät tulee suorittaa noudattaen voimassa itse koneelle. Älkää myöskään käyttäkö pumppua, olevia lakeja. Kytkekää aina maadoitusjohto mikäli sisääntulon laippaa ei ole kytketty järjestelmään asettakaa pistoke sellaisen pistorasiaan, jossa on tai mikäli sitä...
  • Page 45 KÄYTTÖOHJEET Oikea paneli Vasen paneli Valvojan 969-9506 vasen ja oikea paneli KÄYTTÖTOIMENPITEET HUOLTO Turbo-V 70-sarjan valvojat eivät kaipaa minkäänlaista Valvojan päälle pano ja pumpun käynnistys huoltoa. Mahdolliset valvojaan tehtävät toimenpiteet Valvojan päälle panemiseksi pumpun tulee jättää aina valtuutetun henkilön tehtäviksi.

  • Page 46: Vianetsintä

    OVERVOLTAGE Valvojan sähkövirran syötössä Painakaa painonappia START kaksi ilmennyt ongelma tai valvojan saama kertaa, jolloin pumppu käynnistyy. Mikäli signaali on väärä. viesti näkyy uudelleen kääntykää Varian huoltopalvelun puoleen. CONTROLLER FAILURE Sulake palanut toisiovirtapiirissä. Ota yhteys Varianiin huoltoa varten. 87-900-870-01 (B)

  • Page 47: Odhgies Crhsews

    Varian, prin metafor£ j , sumbouleutete to topikš tmŸma pwlŸsewn. Kat£ apov th crhsimopoiv h sh thÇ suskeuhv Ç . H Varian den fev r ei th di£ r keia tou anogmatoj thj suskeuasaj , dè s te idiaterh kamiv a euquv n h ov s on aforav thn olikhv hv merikhv aqev t hsh prosocŸ...
  • Page 48 ODHGIES CRHSEWS EGKATASTASH KINDUNOS KINDUNOS Gia na apofÐgete bl£ b ej se £ t oma Ÿ sth suskeuŸ, š t an h antla enai topoqethmnh se na trapzi sigoureutete š t i ndesh sto hlektrikš dktuo qa prpei na gnetai enai kal£...
  • Page 49 Se perptwsh bl£ b hj mporete na crhsimopoiŸsete thn sundetŸbra . Varian "Varian adv a nce uphresa episkeuè n thj Ÿ to exchange serv i ce", pou saj dnei th dunatš t hta na Stamav t hma thÇ...
  • Page 50 Varian gia sunthv r hsh. CONTROLLER FAILURE Apeuqunqeiv t e sth Varian gia th sunthv r hsh. Diakophv asfav l eiaÇ deutereuv o n iscuv o Ç.

  • Page 51: General Information

    They incorporate all the facilities required for the automatic operation of the Turbo-V 70 pump series. Remote start/stop, pump status signals, forepump start/stop, interlock control (for pressure switch, water flow switch, etc.) capability, are provided...
  • Page 52 INSTRUCTIONS FOR USE INSTALLATION WARNING! WARNING! To avoid injury to personnel and damage to the equipment, if the pump is laying on a table make sure it Connection to the mains must be made in accordance is steady. Never operate the Turbo-V pump if the pump with the local law.

  • Page 53: Use Procedure

    When a To startup the controller and the pump apply mains to P17 connector. fault has occurred it is possible to use the Varian repair service. Replacement controllers are available on an advance exchange basis through Varian.

  • Page 54: Error Messages

    Press the START push-button twice to start faulty, or the Controller received a spike. the pump. Should the message still be present, call the Varian service. CONTROLLER FAILURE Fuse blown power supply Contact Varian for Maintenance. secondary of the transformer. 87-900-870-01 (B)

  • Page 55: Technical Information

    TECHNICAL INFORMATION TURBO-V 70 CONTROLLER DESCRIPTION The microcomputer generates the variable output frequency and controls the 3-phase output voltage The controller, factory set for 120 Vac, 50-60 Hz input according to the software and the gas load condition of voltage, is a solid-state frequency converter which is the pump.

  • Page 56: Controller Specifications

    0 °C to +40 °C CONTROLLER OUTLINE temperature Storage temperature -20 °C to +70 °C The outline dimensions for the Turbo-V 70 controllers Fuse (mains) T3.15 A (slow blow) are shown in the following figure. disregarding the mains Controller outline...

  • Page 57: Line Voltage Change Over

    TECHNICAL INFORMATION Inspect the controller for any shipping damage. Line Voltage Change Over The controller is factory-set for 120 Vac operation. If a change in line voltage operation is desired, proceed WARNING! as follows: High voltage developed in the controller can cause −...

  • Page 58: Mains And Input Signals

    TECHNICAL INFORMATION Mains and Input Signals Output Signals DESCRIPTION DESCRIPTION GROUND power connection SIGNAL COMMON connection for all input/output signals. MAINS neutral connection b6-a5 ANALOG OUTPUT SPEED signal 0 to MAINS line connection +10 Vdc proportional to pump rotational SIGNAL COMMON connection for all speed 0 to 75 KRPM.

  • Page 59: Use

    O V E R T I M E NOTE When the Turbo-V 70 pump is baked by a membrane where X = the step number from 0 to 9 indicating pump, the Soft Start mode should be deselected. the step number not passed.

  • Page 60: Program Mode

    TECHNICAL INFORMATION • Press the CYCLE NUMBER and the display shows: N O R M A L O P E R A T I O N K R P M X X X X C Y C L E X X X X X m P U M P X X X X X h where:...
  • Page 61 TECHNICAL INFORMATION If necessary, select the desired value by pressing the CYCLE NUMBER, then enter the value by pressing the NOTE PUMP CURRENT push-button. The display shows: The Soft Start mode may be deselected/selected only when the pump is stopped. R S 2 3 2 H O S T P R I...

  • Page 62: Monitor Relay Programming

    TECHNICAL INFORMATION The controller is factory-set to HOST. Select the first number by pressing the CYCLE NUMBER push-button, then enter the value by • pressing the PUMP CURRENT push-button. Do the Confirm the selection by pressing the PUMP same for the second number. After pressing the CURRENT push-button.

  • Page 63: Reset Command

    TECHNICAL INFORMATION Select the run-up time according to the chamber If YES is selected when R2 deenergizes the controller, volume and/or operating cycle feature by pressing and the interconnecting devices are automatically the CYCLE NUMBER push-button to select the switched off. desired number, then press the PUMP CURRENT push-button to enter the data.

  • Page 64: Low Speed Operation

    TECHNICAL INFORMATION After starting, a LS appears on the right bottom corner Low Speed Operation of the following displays: NOTE S O F T S T A R T With the FRONT panel operation selected, the remote and RS 232 operations are inoperative; conversely, the CYCLE NUMBER and PUMP CURRENT pushbuttons are always active, even when the operating mode P U M P...

  • Page 65: Pump Shutdown

    TECHNICAL INFORMATION Pump Shutdown Remote Control Mode Operation With the FRONT panel operation, press the front panel If remote signals are used to operate the controller, it STOP pushbutton; the power from the turbopump is must be programmed for remote operation (see removed and the pump will begin to slow down.

  • Page 66: Error Messages

    TECHNICAL INFORMATION ERROR MESSAGES The message will stay on until the temperature decreases below threshold value. Press the STOP For a certain type of failure, the controller will self- RESET pushbutton twice to start the pump. diagnose the error and the following messages will be displayed if the hand-held terminal is connected.

  • Page 67: Controller Test

    − 54 Vdc ±10% between TP3(-) and TP5(+) − 24 Vdc ±15% on the fan connector. Since no operation can be carried out, contact VARIAN. b) AC three-phase output voltage test Connect P16 and on the pump connector connect the DVM in turn between: pins B and C, B and D, C CONTROLLER TEST and D.

  • Page 68: Test With Dummy Load

    TECHNICAL INFORMATION Test with Dummy Load Pump over-Temperature Test − Connect the 48Ω or the 78Ω dummy loads to the − Disconnect the potentiometer, set it to 5KΩ, and pump connector pins B, C, D, as shown in the then reconnect it. previous figure.

  • Page 69: Accessories And Spare Parts

    TECHNICAL INFORMATION ACCESSORIES AND SPARE PARTS DESCRIPTION PART NUMBER Input/output mating connector 969-9855 OPTIONS DESCRIPTION PART NUMBER Controller to pump cable (3 m extension) 969-9863L0300 Hand held terminal 969-9860 87-900-870-01 (B)
  • Page 70 TECHNICAL INFORMATION 87-900-870-01 (B)

  • Page 71: Customer Information

    NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
  • Page 72 Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Power: Rotational Speed: Does not start Noise Vertical Current: Inlet Pressure: Does not spin freely Vibrations Horizontal Temp 1: Foreline Pressure: Does not reach full speed Leak Upside-down Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2:...
  • Page 73 Tel: (39) 011 997 9111 Tel: (39) 011 997 9111 Fax: (39) 011 997 9350 Brazil Fax: (39) 011 997 9350 Varian Industria e Comercio Ltda. Japan Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644 Internet Users: Varian Vacuum Technologies Vila Olimpia Customer Service &...

Ce manuel est également adapté pour:

969-9506

Table des Matières