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Inficon Modul1000 Mode D'emploi page 40

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Système de remplissage d'hélium
5.4.2
Déroulement du processus de contrôle
5-6
Modes de fonctionnement
Le système de remplissage d'hélium se compose de la pompe à vide, des vannes
V30-V34, d'un point de mesure de pression et de l'alimentation en hélium.
Vannes V30, V31, V32, V33, V34
Le processus de contrôle du logiciel Commander comprend la commande de toutes
les vannes nécessaires au remplissage de l'hélium de la pièce à tester. Le port
« VALVES » est utilisé pour la commande des vannes.
Avertissement:Nous recommandons l'utilisation de vannes pneumatiques.
Point de mesure de pression
L'alimentation en hélium de la pièce à tester et un test de grosse fuite compris dans
le processus de contrôle sont pilotés en fonction de la pression et nécessitent un
point de mesure de pression couvrant une plage de mesure de < 50 mbar jusqu'à la
pression de charge maximale de la pièce à tester. La courbe caractéristique et la
plage de mesure du point de mesure sont paramétrées sur le Modul1000. Le port
« PRESSURE GAUGE » est utilisé pour le raccordement du point de mesure de
pression sur le côté droit de l'appareil.
Pompe à vide
Pour évacuer le maximum d'air contenu dans le composant la pompe est utilisée
pour faire le vide dans la pièce à tester avant le remplissage d'hélium. Nous recom-
mandons une pompe avec une pression finale de < 50 mbar.
1
La pièce à tester est située dans la chambre à vide raccordée à l'entrée du
Modul1000. L'échantillon est connecté par le biais d'un couplage approprié au
système de remplissage d'hélium.
2
Après le déclenchement du signal START, le Modul1000 commence à évacuer l'air
de la chambre à vide. Si une pompe à flux partiel est connectée au Modul1000, la
vanne à flux partiel V20
par l'intermédiaire de la pompe à flux partiel conformément au paramétrage du flux
partiel.
3
Avant le véritable contrôle d'hélium, un test de grosse fuite est exécuté pour déceler
d'éventuelles fuites importantes sur l'échantillon ou le dispositif de détection de
fuites. Lorsque la chambre atteint une pression de 100 mbar, une vérification
détermine si la pression de l'échantillon a diminué et si elle est inférieure à la
pression paramétrée p_A_ test de grosse fuite. Si c'est le cas, le cycle de mesure
s'interrompt et le message d'erreur 91 s'affiche.
4
Si le système passe le test de grosse fuite, la vanne V30 s'ouvre et l'air est évacué
de la pièce à tester. Si la pression de l'échantillon est inférieure à la pression
prescrite p_B_pression de pompage durant le temps t_a_temps de pompage
paramétré, la vanne V30 se ferme. Dans le cas contraire, le cycle de mesure est
interrompu et le message d'erreur 92 s'affiche.
5
Si la pression de la chambre est abaissée à la pression de commutation pendant le
temps paramétré t_F_prêt à mesurer, l'appareil passe en mode mesure. Cette
pression de commutation est réglable dans le menu :
(Fig.
5-1) est activée puis le processus de contrôle s'exécute

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