Inficon Modul1000 Manuel Technique
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Inficon Modul1000 Manuel Technique

Module détecteur de fuites
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M A N U E L
T r a d u c t i o n d u m o d e d ' e m p l o i o r i g i n a l
jinb80f1-i (1309)
Modul1000
Module Détecteur de fuites
T E C H N I Q U E
N° de Catalogue
550-300A
550-310A
550-330A
Du logiciel version V1.74

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Table des Matières
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Sommaire des Matières pour Inficon Modul1000

  • Page 1 T r a d u c t i o n d u m o d e d ‘ e m p l o i o r i g i n a l jinb80f1-i (1309) N° de Catalogue 550-300A 550-310A 550-330A Du logiciel version V1.74 Modul1000 Module Détecteur de fuites...
  • Page 2 Mentions légales INFICON GmbH Bonner Straße 498 50968 Cologne Allemagne © Copyright 2010 INFICON GmbH, Cologne. Il est interdit de reproduire ce document sans le consentement de INFICON GmbH, Cologne.
  • Page 3: Table Des Matières

    Table des matières Indications pour l'utilisateur Utilisation de ce Manuel d‘instructions Signaux d'avertissement et symboles de danger Conventions de représentation Explication des notions Avis de sécurité importants Utilisation conforme Exigences requises pour l'utilisateur Limites d'utilisation Risques lors de l'utilisation conforme Description de l'appareil Le boîtier Les interfaces...
  • Page 4 Info 6-31  6.12.8 Menu principal Autorisation utilisateur 6-32 Travaux d'entretien Entretien et service auprès d'INFICON Instructions générales pour l'entretien Plan d'entretien Intervalles de d'entretien Description des travaux d'entretien 7.5.1 Ouverture de l'appareil Remplacer le réservoir de la TMH 071...
  • Page 5 Transport et évacuation Transport après contamination Recyclage Données techniques Données de l'appareil 9.1.1 Alimentation électrique 9.1.2 Poids / dimensions 9.1.3 Caractéristiques 9.1.4 Conditions ambiantes Commande par les entrées et les sorties PLC 9.2.1 Entrées PLC 9.2.2 Sorties PLC Les sorties numériques des vannes Sortie analogique 9.4.1 Configuration de la sortie analogique...
  • Page 6 Table des matières...
  • Page 7: Indications Pour L'utilisateur

    Indications pour l'utilisateur Utilisation de ce Manuel d‘instructions • Veuillez lire ce manuel avant mise en service du Modul1000. • Conservez ce manuel de manière à l'avoir sous la main à tout moment. • En cas de transfert de l'appareil, veuillez y joindre le présent manuel.
  • Page 8: Conventions De Représentation

    Cette fonction est activée durant le processus de calibration ou en appuyant sur la touche Start, si le Modul1000 se trouve en "Standby" ou "Aérer" depuis au moins 20 secondes. Si, ensuite, le fond d'hélium atténué...
  • Page 9 Standby et déduit du signal mesuré. (voir plus haut: Réglage automatique du point zéro Taux de fuite décelable minimum Le taux de fuite décelable minimum que le Modul1000 peut capter avec certitude  (5x10 mbar l/s).
  • Page 10 Indications pour l'utilisateur...
  • Page 11: Avis De Sécurité Importants

    Exigences requises pour l'utilisateur Le Modul1000 ne doit être utilisé que par du personnel averti et formé à cette fin. • Il convient de se familiariser avec le mode d'emploi de l'appareil. Vous ne pouvez monter l'appareil et l'utiliser qu'après avoir lu et compris le mode d'emploi.
  • Page 12: Limites D'utilisation

    Tenez la pointe du renifleur à l'écart des parties sous tension. Danger S TOP Danger de mort par décharge électrique! Raccordez le Modul1000 correctement à l'aide d'un câble de réseau à 3 pôles et mettez-le à la terre à l'aide d'un raccord PE. Avis de sécurité importants...
  • Page 13 Danger de mort par implosion. Les pièces qui ne sont pas résistantes à la pression peuvent voler en éclats par implosion. Ne raccordez à la bride d'entrée du Modul1000 que des récipients et des compo- sants qui sont compatibles pour le vide. Danger S TOP Danger de mort par un aimant permanent puissant.
  • Page 14 Avertissement Risque de blessures dues à l'aspiration par la bride d'entrée Si la fonction de vide du Modul1000 est activée, des parties des corps qui bouche- raient la bride d'entrée peuvent être aspirées. Gardez les parties du corps à l'écart de la bride d'entrée.
  • Page 15 Lorsque l'on présume que le fonctionnement de la machine n'est plus sans danger, il faut mettre l'appareil hors service et le sécuriser contre toute remise en service inopinée. Dans ce cas, contactez le SAV INFICON. Avertissement: Ceci peut survenir dans les cas suivants : •...
  • Page 16 Attention Le Modul1000 peut être rendu inutilisable par des substances inappropriées. Utilisez l'appareil pour détecter de l'hélium et de l'hydrogène uniquement. Le filtre sur l'entrée du Modul1000 doit éviter l'infiltration de saleté dans le système de vide. Attention L'électronique du Modul1000 peut être endommagée par une tension de secteur erronée.
  • Page 17 Veillez à ce que les ouïes d'entrée et de sortie de l'air soient toujours dégagées Attention Le Modul1000 peut être endommagé s'il y a une infiltration d'eau. S'il y a eu une infiltration d'eau dans le Modul1000, veuillez ne pas utiliser le Modul1000 et contacter le SAV INFICON. Attention Le Modul1000 peut être détruit s'il est stocké...
  • Page 18: Description De L'appareil

    Description de l'appareil Le Modul1000 est un appareil de contrôle d'étanchéité d'hélium conçu pour l'utilisa- tion dans un emplacement pour contrôles d'étanchéité. Un boîtier compact contient le système d'analyse avec la pompe turbomoléculaire ainsi que l'électronique de contrôle complète. Selon le mode prédéfini, le Modul1000 peut se charger de fonctions de contrôle de niveau supérieur d'un dispositif de...
  • Page 19 Pompe de prévide et/ou conduite de Filtres à air renifleur Raccord DN 25 KF pour 11 Interfaces électriques Pompe de prévide Fig. 3-3 Détail du dessous du Modul1000 Pos. Description Raccordement pour pompe de prévide (bride de vissage) Description de l'appareil...
  • Page 20: Les Interfaces

    1 et 16, près des vannes sur les contacts 3 et 14. Utilisations possibles Le Modul1000 peut être commandé soit par l'unité de commande pour table soit par la commande d'appareil à intégrer dans l'armoire de commande. Le Modul1000 dispose d'un vaste menu de logiciel par lequel il peut être commandé...
  • Page 21: Utilisation Sur Table

    3.3.1 Utilisation sur table Cette unité de commande peut être installée sur des plans de travail plats desquels elle ne risque pas de glisser. Fig. 3-5 Unité de commande pour l'utilisation sur une table Pos. Description Pos. Description Écran LCD Touche N°...
  • Page 22: Télécommande Rc1000

    3.3.3 Télécommande RC1000 La télécommande sans fil RC1000 permet d'utiliser l'HLD5000 depuis une distance jusqu'à 100 m. La télécommande permet de commander les fonctions START, STOP/VENT (STOP/aération), ZERO (fond), elle affiche les taux de fuite mesurés sur l'écran sous la forme d'un graphique à barres, de valeurs numériques ou de diagramme (voir le manuel technique de la télécommande RC1000).
  • Page 23: Fourniture

    - Câble de rallonge, 8 m, pour RC1000C 14022 3.5.1 Conduite de renifleur SL200 Le Modul1000 version détecteur de fuites sous vide et par reniflage nécessite la conduite de reniflage SL200 pour le mode renifleur. 3.5.2 Chambre de test TC1000 La chambre à...
  • Page 24: Jeu De Connecteurs Pour Interfaces

    3.5.3 Jeu de connecteurs pour interfaces Le jeu de connecteurs contient les connecteurs suivants : PLC IN / AUDIO, PLC OUT, RECORDER, PRESSURE GAUGE, VALVES ACCESSORIES Description de l'appareil...
  • Page 25: Installation

    Ne transportez le Modul1000 qu'à deux ou à l'aide d'un dispositif de levage. Installation mécanique Le Modul1000 peut être monté sous ou sur un poste de travail. L'appareil de contrôle de l'étanchéité ne doit être utilisé que sur une surface horizontale. Lors du montage, il faut faire attention à...
  • Page 26: Installation Électrique

    Installez l’appareil de manière à toujours pouvoir accéder à la fiche secteur. 4.2.2 Interfaces électriques Toutes les interfaces électriques du Modul1000 se trouvent dans un panneau de connecteurs sur le côté droit de l'appareil (voir Chap. Fig. 3-2). Les raccordements...
  • Page 27 Points de mesure de pression extérieurs Si le Modul1000 est utilisé en mode Commander, il faut raccorder deux points de mesure de pression supplémentaires au raccordement PRESSURE GAUGE. Les points de mesure de pression doivent être raccordés à la prise Phoenix "PRESSURE GAUGE"...
  • Page 28 D'abord mettez l'appareil de contrôle de l'étanchéité hors tension, puis ouvrez le boîtier Le Modul1000 peut traiter des valeurs de mesure sous la forme de courant et de tension. A la livraison, l'entrée 1 est configurée pour mesurer un courant 4 ... 20 mA , l'entrée 2 pour mesurer une tension 0...
  • Page 29 Signal Sortie analogique 2 Interface RS232 Un PC peut être connecté au Modul1000 par l'intermédiaire de l'interface RS232. Le contrôle du Modul1000 se fait alors par des commandes comme décrit dans la description des interfaces. Contact Signal 24V enfichable par le jumper XT2, consommation de courant max. 0,3A (broche 2 et 3 raccordées).
  • Page 30 Pos. Description Broche 1 Broche 2 Broche 3 Installation...
  • Page 31: Raccordements Pour Vide

    Pompe de prévidage Le raccord pour la pompe de prévide requis se trouve à gauche à l'avant ou sur la partie inférieure de l'appareil. Sur la version à vide du Modul1000, il est également possible de raccorder la pompe du côté droit.
  • Page 32 Le raccord pour la conduite de renifleur n'est disponible que pour la version renifleur du Modul1000 (numéro de catalogue 550-310). La conduite de renifleur SL200 en option peut être branchée sur ce raccord. Le raccord électrique du SL200 se fait par la prise ACCESSORIES.
  • Page 33 Installation...
  • Page 34: Modes De Fonctionnement

    • Renifleur. Vide Dans le mode à vide normal, le Modul1000 est opéré en tant qu'appareil de contrôle d'étanchéité "Stand Alone" (indépendant)/ La pièce à tester/la chambre à vide ne sont évacuées que par la bride d'entrée de l'appareil de contrôle d'étanchéité. La capacité d'aspiration à l'entrée de l'appareil de contrôle d'étanchéité...
  • Page 35: Mode Flux Partiel

    à flux partiel sur la sortie de vanne V20. La capacité d'aspiration augmentée accélère les processus d'évacuation et le temps de réponse du signal du Modul1000. Selon le réglage, la pompe à courant partiel peut être activée par une vanne à...
  • Page 36: Auto Leak Test

    Au terme du temps de mesure, le résultat s'affiche. Niveau trigger Si le niveau trigger 1 réglé est dépassé durant le temps de mesure, le Modul1000 émet le message "FAIL" et signale un échantillon qui fuit. Numéros de pièces Dans le menu du logiciel, il est possible d'activer un compteur de pièces qui attribue...
  • Page 37: Mode Commander

    Mode Commander Si le Modul1000 est intégré à une installation de détection de fuites, il peut contrôler l'intégralité du processus de contrôle de la chambre durant le mode Commander. Toutes les vannes nécessaires au remplissage d'hélium de l'objet du contrôle, ainsi que le point de mesure de pression nécessaires peuvent être connectés directement...
  • Page 38: Montage D'une Installation De Détection De Fuites

    Le montage d'une installation de détection de fuites avec la fonction Commander du Modul1000 correspond en général à celui d'une installation de contrôle d'étanchéité intégrale traditionnelle.  La chambre à vide est évacuée par l'intermédiaire du Modul1000, au choix même e, mode flux partiel (Fig. 5-1 Mode flux partiel).
  • Page 39: Déroulement Du Processus De Contrôle

    < 50 mbar. 5.4.2 Déroulement du processus de contrôle La pièce à contrôler se trouve dans la chambre à vide reliée à l'entrée du Modul1000. L'échantillon est relié au dispositif de remplissage d'hélium par l'intermédiaire d'un accouplement approprié.
  • Page 40 Si la pression d'échantillon p_A_test de fuite grosse n'est pas atteinte à temps, le cycle de mesure est interrompu avec le message d'erreur 97. Enfin, la chambre à vide est aérée à pression atmosphérique par le Modul1000 (et la vanne de flux extérieure V21(Fig.
  • Page 41: Mode Renifleur

    Afin de pouvoir l'utiliser comme renifleur il faut connecter la conduite de reniflage SL200 au raccord "Sniff" sur le côté droit du Modul1000. En mode mesure le module aspire un flux de gaz constant par la conduite de reniflage. L'hélium contenu dans ce flux de gaz est indiqué...
  • Page 42: Service

    Cathode active • Un affichage sous forme de barres, indique l'état d'avancement du démarrage A la fin du démarrage, le Modul1000 se trouve en mode "Standby". LED d'état Les LED indiquent l'état de fonctionnement actuel de l'appareil : État de fonctionnement...
  • Page 43: Commande

    (voir Chap. 3.3.3). En outre, il est possible de modifier le volume. Si "LOCK" est affiché, la commande du Modul1000 par l'intermédiaire de la télécom- mande a été verrouillée sous l'option de menu "Site de commande".
  • Page 44: Instructions De Contrôle

    Instructions de contrôle Les instructions de contrôle suivantes peuvent être transmises au Modul1000 par les touches correspondantes sur l'unité de commande / la télécommande en option, par les entrées de contrôle PLC ou par l'interface RS232. START Si l'unité de commande/la télécommande est raccordée, la LED dans la touche START clignote pendant le processus d'évacuation.
  • Page 45 Fig. 6-1 Fonction zéro (suppression du fond) Pos. Description Pos. Description Signal de taux de fuite sans ZERO Fuite 5E-10 mbarl/s avec ZERO Activation de ZERO adaptation coulissante au point zéro Suppression de deux décades pas d'adaptation au point zéro Fuite 5E-10 mbarl/s sans ZERO MENU La touche MENU active l'affichage du menu de sélection sur l'écran.
  • Page 46 position d'entrée de la valeur numérique complète est mise en surbrillance et peut être changée.  Si la dernière valeur numérique est atteinte, il faut confirmer toutes les corrections en appuyant sur la touche "OK". Fig. 6-2 Exemple d'une entrée numérique du trigger niveau 1 Afin de changer le seuil du trigger de 1.0x10 mbar l/s à...
  • Page 47: Afficheur

    Démarrage Après la mise en marche du Modul1000, différentes informations d'état s'affichent sur l'écran. Ligne d'état Après le démarrage du Modul1000, la ligne d'état sur bord inférieur de l'écran indique les informations suivantes. Symboles Signification Explication de l'écran...
  • Page 48 Fig. 6-3 Évacuation Mesure Dès que la pression à l'entrée du Modul1000 tombe en dessous de la limite de pres- sion réglée, l'appareil passe en mode de mesure. Fig. 6-4 Mesure Service...
  • Page 49 Affichage des valeurs de mesure En mode mesure il est possible de choisir entre deux représentations différentes pour l'affichage des valeurs mesurées. • L'affichage numérique avec des chiffres grand format ou l'affichage sous forme de barres Fig. 6-5 • Affichage graphique comme fonction du temps de mesure Fig.
  • Page 50: Calibration En Mode Vide

    à l'entrée. Calibration interne manuelle Après le démarrage de la calibration, le Modul1000 ouvre la fuite de test interne et pompe l'entrée. La période transitoire de signal de la fuite de test se prolonge par rapport au volume connecté....
  • Page 51: Calibration En Mode Renifleur

    Modul1000. Avant la calibration il faut entrer la valeur correspondante de la fuite de calibration, avec laquelle le Modul1000 peut être calibré, dans l'appareil. Ceci peut se faire par l'intermédiaire de l'unité de commande en option ou par l'interface RS232.
  • Page 52: Calibration En Mode Autoleaktest

    Calibration en mode Autoleaktest Vous pouvez sélectionner 4 types de calibration : • automatique interne • manuelle interne • automatique externe • manuelle externe Pour une calibration externe, il est nécessaire d'utliser une fuite de test séparée à la chambre. Lors du mode à...
  • Page 53: Facteur Machine

    6.10 Facteur machine Le facteur machine respecte le fait que le Modul1000 est utilisé parallèlement à un système de pompe (procédure à flux partiel). Vu que lors d'une telle configuration de l'installation seule une partie du flux de gaz de la fuite atteint l'appareil de contrôle d'étanchéité et est détectée, sur la base d'une calibration interne, le Modul1000 indique d'abord des valeurs de mesure plus petites autour du rapport du flux partiel.
  • Page 54: Structure Du Menu

    6.11 Structure du menu Échelle linéaire / logarithmique Plage d´affichage automatique/manuel Affichage Axe du temps Contraste Base en mode Standby Limite inférieure d'affichage Mode d‘ utilisation Niveau 1 trigger Niveau 2 trigger Niveau 3 trigger Volume Trigger & Alarmes Unités Retard d´alarme Type alarme audio Automatique interne...
  • Page 55 Site de commande RS232 Caractéristique Appareil de mesure de Point Zero pression externe Graduation maximale Interfaces Définir sorties PLC Définir entrées PLC enregistreur Sortie d´enregistreur Graduation sortie d´enregistreur Sortie gaz ballast Date / Heure Paramètres Langue Filtre de coefficient de fuite Numéros de pièces Période transitoire CAL Réinitialiser intervalle de...
  • Page 56: Description Des Points Du Menu

    6.12 Description des points du menu Les points du menu auxquels se réfère la description sont imprimés en lettres grasses. En actionnant la touche MENU l'affichage du menu de sélection sur l'écran s'effec- tue. Le menu du logiciel s'ouvre au niveau du menu dans lequel vous vous trouviez avant.
  • Page 57: Menu Principal  Triggers Et Alarmes

    Durant le démarrage actionner les touches n° 3 et 7 simultanément jusqu'à ce que l'écran soit bien lisible. Ce réglage n'est sauvegardé que si ce réglage est confirmé dans le menu de contraste. Si n'y a pas de confirmation le Modul1000 charge les vieilles valeurs de contraste au prochain lancement. ...
  • Page 58 Après changement d'évacuation en mode mesure le Modul1000 retarde l'alarme à activer. Trigger 1 ne s'active que lorsque le retard d'alarme est écoulé ou si la valeur de mesure du taux de fuite est temporaire- ment plus petite que la valeur trigger 1.
  • Page 59: Menu Principal  Calibration (Cal) Mode Vide

    Après avoir entré la valeur de la fuite de test il faut actionner la touche "start" pour lancer le processus de calibration. Après que le processus de calibration a été lancé, le Modul1000 évacue l'entrée. Dès que la pression d'entrée maximale du Modul1000 est atteinte le Modul1000 affiche d'abord un signal de mesure faible en forme d'affichage à...
  • Page 60 En appuyant sur "Oui", le nouveau facteur de calibration est appliqué. En appuyant sur "Non", le nouveau facteur de calibration est rejeté. Le Modul1000 préserve l'ancien facteur de calibration.
  • Page 61 Gaz ballast manuel  Retard de l'aération En actionnant la touche "Stop/Vent" le Modul1000 passe du mode mesure au mode Standby. En actionnant la touche "Stop/Vent" un peu plus longtemps la bride d'entrée de l'appareil est aussi aérée. Le temps d'actionnement de la touche Stop/Vent, pour faire aérer l'entrée du Modul1000, dépend du temps réglé...
  • Page 62: Réglages  Réglages Du Vide

        Menu principal Réglages Réglages du vide Fonctions Commander Sous le point du menu du logiciel "Fonctions Commander" peuvent être configurés tous les paramètres de la fonction Commander.  Timing Commander Ici il est possible de configurer tous les temps pour chaque processus.  La plage de réglage se trouve entre 0,1 et 95 secondes.
  • Page 63 Facteur machine Après la calibration interne, le "facteur machine" prend en considération le rapport entre la capacité d'aspiration effective du Modul1000 et l'état de la pompe d'installa- tion en mode mesure. Le facteur machine respecte le fait qu'un système de pompe extérieur est utilisé...
  • Page 64: Menu Principal

    Sous le menu du logiciel "Interfaces" il est possible de régler les interfaces élec- triques du Modul1000.    Menu principal Réglages Interfaces Site de commande  Le Modul1000 est commandé par l'entrée digitale. Les touches START, STOP et ZERO sur l'appareil sont désactivés. 6-23 Service...
  • Page 65 Tous Fonctions de contrôle PLC, RS232 et local.  Local et PLC Le Modul1000 se commande aussi bien à l'aide des touches START, STOP et ZERO sur l'appareil qu'à travers des entrées digitales.  Local et RS232 Le module se commande aussi bien à l'aide des touches START, STOP et ZERO sur l'appareil qu'à...
  • Page 66 Appareil externe de mesure de la pression Dans le mode Commander le Modul1000 doit être connecté à un point de mesure de pression externe. Dans le menu de logiciel "Appareil de mesure de pression exté- rieur" il faut entrer la courbe caractéristique et le point Zero ainsi que la pleine échelle de l'appareil de mesure de pression.
  • Page 67: 6.12.6.5 Menu Principal

    La langue anglaise est le réglage usine. Si la langue que l'on a préselectionnée s'avère être une langue erronée lors du démarrage du Modul1000, il est possible de passer à la langue "anglais" en appuyant simultanément sur les touches 2 et 6. ...
  • Page 68 De plus I•CAL élimine les pointes de perturbations qui n'ont aucune relation avec les signaux de taux de fuite et délivrent des temps de réaction inhabituellement courts même avec des signaux de taux de fuite minimes. L'algorithme utilisé offre une sensibilité et constante de temps de réaction excellente, l'utilisation de ce réglage est vivement recommandé.
  • Page 69: Réglages  Chargement/Mémorisation Des

    Enregistrer sous “PARA SET 3” En actionnant les touches "Enregistrer PARA SET 1" jusqu'à "Enregistrer PARA SET 3", vous pouvez enregistrer les réglages actuels du menu du Modul1000.  Il est possible de changer la désignation du jeu de paramètres sauvegardé en action- nant la touche "Changer désignation"...
  • Page 70: Menu Principal

     Protection anti-contamination Si ce mode est activé, le Modul1000 ferme toutes les vannes dès que le taux de fuite mesuré dépasse la valeur limite de la protection anti-contamination. De cette manière le moins possible d'hélium arrive au spectromètre de masse. Ceci empêche une contamination à...
  • Page 71: Menu Principal  Info

    Ici, vous pouvez afficher l'historique des erreurs, des entretiens et des contrôles. (voir ci-dessous)  Facteurs de calibration Les facteurs de calibration pour les différentes masses ou modes et le facteur machine s'affichent.  Service Seul le personnel d'INFICON peut accéder à cette option du menu. 6-30 Service...
  • Page 72: Menu Principal  Autorisation Utilisateur

    L'accès au Modul1000 peut être limité par entrée ou modification du PIN de l'appa- reil. Si le PIN de l'appareil n'est pas 0000, le Modul1000 demande le PIN immédia- tement après la mise sous tension. Si vous n'entrez pas le PIN d'appareil, vous ne pouvez pas utiliser le Modul1000.
  • Page 73: Travaux D'entretien

    Les composants et sous-ensembles utilisés répondent aux normes de qualité les plus élevées et sont en principe sans entretien. Afin de respecter les recommandations pour la garantie du Modul1000 il est cepen- dant nécessaire de respecter les intervalles d'entretien mentionnés ci-dessous.
  • Page 74 Sert à l'entretien de la pompe turbomoléculaire TMH 071. Si un des intervalles d'entretien est atteint un message d'avertissement est affiché sur l'unité de contrôle du Modul1000 à chaque lancement. Le message est affiché jusqu'à ce que l'intervalle d'entretien soit acquitté. Le compteur d'entretien 2 n'est libéré...
  • Page 75: Plan D'entretien

    • en fonction de l'environnement et de l'application • en fonction du processus Intervalles de d'entretien Le plan d'entretien pour le Modul1000 peut être divisé en trois niveaux d'entretien pour une vue plus simple. • Entretien 1500 heures • Entretien 5000 heures •...
  • Page 76 Entretien 5000 heures L'entretien des 5000 heures devrait être fait par un technicien de maintenance de chez INFICON ou par une personne autorisée par INFICON. Toutes les 5000 heures de service il faut contrôler, nettoyer les entraînements des vannes et remplacer les joints de vannes et/ou. les clapets de vannes. Il faut contrô- ler les filtres de ventilation selon usage toutes les 5000 heures, mais il faut les remplacer au plus tard après 15000 heures de service.
  • Page 77: Description Des Travaux D'entretien

    TMH 071 L'entretien semi-annuel du réservoir de la pompe turbomoléculaire TMH 071 devrait être fait par un technicien de service de INFICON ou par une personne autorisée par INFICON. Les clients ayant reçu une formation d'une personne autorisée, peuvent réaliser cet entretien sous leur propre responsabilité.
  • Page 78: Ouverture De L'appareil

    S TOP Débranchez impérativement l'appareil de contrôle d'étanchéité avant d'ôter le capot de l'appareil! Pour ouvrir le Modul1000 procédez comme suit. Désactiver l'interrupteur d'alimentation et ôter le câble d'alimentation. Ôter l'anneau de serrage rapide du raccord de test. Ouvrir les fermetures (ROTO-LOCK) sur les deux côtés du capot de l'appareil avec une clé...
  • Page 79: Remplacer Le Réservoir De La Tmh

    Pour ventiler la TMH 071, il faut déconnecter le raccord de prévide vers Modul1000 et activer l'appareil pendant env. 10 à 25s. Après env. 10s la vanne V2 s'ouvre et le spectromètre de masse et la pompe turbomoléculaire sont ventilés.
  • Page 80 Fig. 7-3 Remplacement du réservoir Pos. Description Pos. Description Raccord de prévidage Couvercle de fermeture réservoir TMH Intervention outil spécial Logement de révision Dévisser le couvercle de fermeture sur la partie inférieure de la TMH 071 avec un outil spécial (clé à douille frontale articulée). Le réservoir est accessible après que le couvercle de fermeture ait été...
  • Page 81 Fig. 7-4Remplacer le réservoir Pos. Description Pos. Description Réservoir Joint torique Travaux d'entretien...
  • Page 82: Remplacement Des Fusibles

    Remplacement des fusibles 7.7.1 Aperçu des fusibles Interrupteur d'alimentation châssis: Désignation Données techniques Fusibles pour Interrupteur d'alimentation 2x T 6,3 A Protection pour bloc d'alimentation (2-phases OFF) Niveau de câblage: Désignation Données techniques Fusibles pour T 6,3 A Alimentation en courant TC 600 T 0,8 A Ventilateurs Bloc d'alimentation ZWS240PAF-24/TA:...
  • Page 83: Remplacer Le Fusible Secteur

    Remplacer le fusible secteur Danger S TOP Danger de mort par décharge électrique. Avant de remplacer les fusibles, débranchez la fiche secteur du Modul1000 Utilisez uniquement des fusibles avec les valeurs indiquées pour le Modul1000. Outil nécessaire • Tournevis Gr.1 Matériel nécessaire...
  • Page 84: Remplacer Les Fusibles De La Carte D'interface

    Matériel nécessaire • Jeu de fusibles complet N° de commande: 200 000 641 L'accès aux fusibles n'est possible que si le capot de l'appareil du Modul1000 est enlevé. Pour ce faire suivez les instructions dans 7.5.1 Ouverture de l'appareil. Avertissement: Veuillez respecter les consignes de sécurité...
  • Page 85: Remplacer La Mémoire De Paramètres (I•Stick)

    • Tournevis Gr.1 Matériel nécessaire • I•STICK L'accès à l'I•STICK n'est possible que si le capot de l'appareil du Modul1000 est enlevé. Pour ce faire suivez les instructions dans 7.5.1 Ouverture de l'appareil. Avertissement: Veuillez respecter les consignes de sécurité correspondantes dans le présent Chapitre.
  • Page 86: Remplacer Filtre De Ventilation

    Filtre de rechange (2 pc.) N° de commande: 200 000 683 L'accès au filtre de ventilation n'est possible que si le capot de l'appareil du Modul1000 est enlevé. Pour ce faire suivez les instructions dans 7.5.1 Ouverture de l'appareil. Avertissement: Veuillez respecter les consignes de sécurité...
  • Page 87: Transport Et Évacuation

    Transport après contamination Si vous envoyez un appareil chez INFICON ou un représentant autorisé par INFICON, signalez si l'appareil est exempt de substances nocives pour la santé ou s'il a été contaminé. Si l'appareil a été contaminé, indiquez le type de danger.
  • Page 88: Données Techniques

    Alarme acoustique dB (A) Degré de salissure (selon IEC 60664-1) Classe de surtension (selon IEC 60664-1) Cable d'alimentation 9.1.3 Caractéristiques Pression d'entrée max. (Modul1000) 0,4 mbar Pression d'entrée max. (Modul1000) 3,0 mbar Taux de fuite d'hélium minimum décelable en mode vide (ULTRA) <...
  • Page 89: Conditions Ambiantes

    9.1.4 Conditions ambiantes Pour l'utilisation à l'intérieur Température ambiante admise (en service) +10° C … +40° C 50° F … 104° F Température de stockage admise 0° C … +60° C 32° F … 140° F 80% à 31°C / 88°F,  Humidité...
  • Page 90: Commande Par Les Entrées Et Les Sorties Plc

    Commande par les entrées et les sorties PLC Si vous commandez le Modul1000 par l'intermédiaire des entrées et des sorties PLC, vous devez sélectionner le site de commande "PLC", "Tous" ou "Local et PLC" (voir chapitre ou SB). 9.2.1 Entrées PLC Attention L'électronique du Modul1000 peut être endommagée par une tension excessive.
  • Page 91 START / STOP Entrée à fonctionnement par transition Passage de LOW à HIGH : Exécuter START. Passage à LOW : Exécuter STOP. START Entrée à fonctionnement par transition Passage de LOW à HIGH : Exécuter START STOP Entrée à fonctionnement par transition Passage de LOW à...
  • Page 92: Sorties Plc

    CAL EXT Entrée à fonctionnement par transition Passage de LOW à HIGH : Démarrer une calibration manuelle externe. CYCLE (entrée START / STOP à fonctionnement par transition) Entrée en fonctionnement à niveau Passage de LOW à HIGH : START est exécuté à l'état Standby et STOP à l'état mesure.
  • Page 93 Contact Signal 24V, protégé par le fusible F4 sur la carte d'interface (1,6A, débit de courant maximum sur ce contact ensemble avec le contact 1 sur le contact VALVES) Contacteur vers contact 15 p.ex. TRIGGER1 (réglage usine) Contacteur vers contact 15 p.ex.
  • Page 94 ERROR Fermé s'il n'y a aucune erreur. Ouvert s'il y a une erreur. WARNING Fermé s'il n'y a aucun avertissement. Ouvert s'il y a un avertissement. CAL ACTIVE Fermé si une routine de calibration est en cours. CAL REQUEST Calibration externe, manuelle active : Ouvert si la fuite de test externe doit être fermée.
  • Page 95: Les Sorties Numériques Des Vannes

    Celle-ci doit être dotée d'un isolement galvanique avec le secteur et doit être de max 30V. L'alimentation 24V du Modul1000 peut être utilisée pour alimenter les vannes. Les contacteurs de vanne commutent vers l'alimentation 24V du contact 3. Chaque contacteur de vanne peut être chargé...
  • Page 96: Sortie Analogique

    Les sorties d'enregistreur sont isolées électriquement par rapport aux autres raccords. Toutefois, si des problèmes de ronflement devaient survenir, il est recommandé d'utiliser le Modul1000 et l'enregistreur sur la même phase de réseau. Si cela n'est pas possible, il faut s'assurer que les masses des deux appareils ont le même potentiel.
  • Page 97 Fig. 9-1 Ligne caractéristique de TPR (P1, P2 ; sortie d'enregistreur) p1 (pression de d'entrée) / p2 (pression de prévidage) UL200 La pression d'entrée p1 ou la pression de prévidage p2 est émise. Cette attribution correspond à la sortie d'enregistreur logarithmique du détecteur de fuites UL200. Pression logarithmique: U = 1 à...
  • Page 98 Exposant LR L'exposant de taux de fuite est émis sous la forme d'une fonction échelonnée :  U = 1 … 10 V par incréments de 0,5 V par décade en commençant à 1 V = 1×10 -(11-E) LR=10(V-E)*10 LR log. H. LR = taux de fuite V = tension de sortie E = tension de sortie arrondie à...
  • Page 99: Affectation Des Broches

    Affectation des broches 9.5.1 PLC IN / AUDIO Toutes les entrées sont à potentiel séparé avec optocoupleur +24V +24V GND 24V SPG GND AUDIO OUT GND 24V Fig. 9-2 Connexion externe, p.ex. PLC avec alimentation externe Pos. Description Haut-parleur externe actif 9-12 Données techniques...
  • Page 100 +24V +24V GND 24V SPG GND AUDIO OUT GND 24V Fig. 9-3 Connexion externe, p.ex. PLC avec alimentation interne Pos. Description Haut-parleur externe actif 9-13 Données techniques...
  • Page 101: Plc Out

    9.5.2 PLC OUT +24V n.c. Fig. 9-4 PLC Out PIN 3 - 12 : Contacts de relais max. 60V DC / 25V AC / 1A PIN 13, 14 : Relais de semi-conducteur, max. 30V DC / 1A 9-14 Données techniques...
  • Page 102: Pressure Gauge

    4 … 20mA Input 1 GND 1 Input 2 GND 2 Fig. 9-5 Alimentation interne +24V Pos. Description Capteurs de pression Modul1000 +24V, 0.8 A GND 24V 4 … 20 mA Input 1 GND 1 Input 2 GND 2 Fig. 9-6 Alimentation externe (24V) avec GND commune Pos.
  • Page 103 +24V, 0.8 A 4 … 20 mA GND 24V Input 1 GND 1 Input 2 GND 2 Fig. 9-7 Alimentation de capteur externe 24V avec masse séparée La différence de tension entre la Pin 2 et les Pin 4 et 5 doit être de maximum ±4 V. Raccordement de capteur avec 0 …...
  • Page 104 +24V, 0.8 A GND 24V Input 1 GND 1 Input 2 GND 2 Fig. 9-9 Raccordement avec masse séparée La différence de tension entre la Pin 2 et les Pin 4/6 doit être de maximum ±4 V. 9-17 Données techniques...
  • Page 105: Valves

    9.5.4 Valves Alimentation interne +24V +24V Fig. 9-10 Exemple de raccordement Pos. Description Vannes I max < 0,2 A, maximum 8 vannes Vannes I max < 1A 9-18 Données techniques...
  • Page 106 Alimentation externe +24V +24V Fig. 9-11 Exemple de raccordement Pos. Description Vannes I max < 0,2 A, maximum 8 vannes Vannes I max < 1A 9-19 Données techniques...
  • Page 107: Recorder

    9.5.5 Recorder Analog Out1 Analog Out2 Fig. 9-12 Résistance de charge >10k Précision de la sortie analogique : Valeur finale : 10V : 1,2% de la valeur finale Offset ±1% de la valeur finale. 9-20 Données techniques...
  • Page 108: Schéma De Montage De L'unité De Commande Pour Le Montage En Rack

    Schéma de montage de l'unité de commande pour le montage en rack Fig. 9-13 Découpe du tableau de commande pour le montage de l'unité de commande 9-21 Données techniques...
  • Page 109: Mode Commander

    Mode Commander Fig. 9-14 Diagramme opérationnel 9-22 Données techniques...
  • Page 110: Certificat Ce

    Certificat CE 9-23 Données techniques...
  • Page 111: Messages D'erreur Et Avertissements

    Contacter le service INFICON. Tension de sortie du bloc d'alimentation TC 600 trop basse. Bloc d'alimentation TMP Contrôler la tension de sortie du bloc d'alimentation 24 V du Modul1000 défectueux Remplacer la TMP, y compris le TC 600. 15 min. après le démarrage, la vitesse de rotation de la TMP est inférieure à la vitesse de rotation de <1200Hz...
  • Page 112 MC 68 défectueux. Problème logiciel. Dépassement de la file d'attente des paramètres EEPROM Veuillez contacter le Service INFICON! Entrée de surveillance de l'alimentation AD24 AVB > 11,5V. Alimentation externe (24V) Alimentation externe sur une des sorties 24V du connecteur de la carte excessive d'interface.
  • Page 113 N° Message affiché Description et remède possible Signal MVPZN sur platine MSV actif. Tension 24 V sur carte MSV insuffisante, U < 18,3 V. Fusible F1 sur carte MSV grillé. Tension 24 V sur carte MSV Tension de référence UREF sur la platine MSV XT7/1 trop haute, U > 5 V. insuffisante ! Convertisseur DC/DC de carte MSV défectueux.
  • Page 114 Connecteur ou câble de source d'ions défectueux. Signal MSIBE sur platine MSV inactif. L'émission de la cathode 1 ne peut pas être activée. Le Modul1000 se branche sur la cathode 2. Commandez une source d'ions neuve. L'émission de la cathode 1 ne Cathode 1 défectueuse.
  • Page 115 N° Message affiché Description et remède possible La température ambiante est trop haute. Position défavorable de l'appareil de détection de fuites. (accumulation thermique) Température sur le composant électronique trop haute! (60°C) Défaillance du ventilateur. Filtre à air très sale. Sonde de température défectueuse. La sonde de température au niveau du câblage indique une T <...
  • Page 116 N° Message affiché Description et remède possible En mode renifleur, la pression d'entrée de la conduite de reniflage est surveillée. Si la pression dépasse une valeur maximale prédéfinie, l'écoulement de gaz à travers les capillaires est trop élevé. La valeur maximale peut être réglée par le Capillaire brisé...
  • Page 117 N° Message affiché Description et remède possible Le signal maximum n'a pas pu être détecté pendant la plage d'équilibrage des masses. Le signal maximum s'est déplacé vers les limites pour l'équilibrage des masses. Mauvais réglage de base de la tension anodique. Effectuer un équilibrage des Le signal maximum se situe en masses manuellement par le menu de service et redéterminer la tension dehors de la plage d'équilibrage...
  • Page 118 N° Message affiché Description et remède possible Un paramètre manquant ou modifié dans l'EEPROM et un nouveau numéro de version du logiciel ont été identifiés. Paramètres EEPROM initialisés Une mise à jour du logiciel a été exécutée et un ou plusieurs nouveaux après mise à...
  • Page 119 N° Message affiché Description et remède possible Temps t1 > au temps fixé pour le temps de remplissage t_E. Le remplissage au gaz de test La vanne d'entrée pour gaz de test V33 ne s'ouvre pas. de l'échantillon dure trop Temps d'entrée du gaz de test t_C trop court.
  • Page 120: Informations Pour Les Commandes De Pièces

    Informations pour les commandes de pièces Description Cat. N° Unité de commande pour l'utilisation sur une table 551-100 Console de lecture pour utilisation en rack 551-101 Cordon pour unité de commande 1 m 551-103 Cordon pour unité de commande 5 m 551-102 Conduite de reniflage SL200 140 05...
  • Page 121: Centres Sav Dans Le Monde Entier

    +33.160137695 Cologne Fax: +49 221 56788-9112 tel : +33.4.76.72.52.15 Canada reachus@vpcinc.ca Grande-Bretagne et Irlande reach.unitedkingdom@inficon.com Vacuum Products Canada Fax : +1 905 672 7704 INFICON Ltd. Tél. : +44 1254 678 250 Ltd. Ontario Fax : +1 905 672 2249...
  • Page 122 Tél. : +49 221 56788-112 Castelnuovo Fax : +39 045 6 40 24 21 Cologne Fax: +49 221 56788-9112 Japon reach.japan@inficon.com Singapour reach.singapore@inficon.com INFICON Co. Ltd. Tél. : +81.45.471.3396 Tél. : +65890.6250 INFICON PTE LTD. Singapour Yokohama Fax : +81.45.471.3387 Fax : +65890.6266 Lettonie leakdetection.service@inficon.com...
  • Page 123: Index

    INDEX Pompe primaire voir pompe 6-27 Date Déclaration de contamination Accessoires 6-30 Demande de calibration Accessories Démarrage 6-21 Aération 6-24 Détermination de fond de la zone d'entrée 9-12 Affectation des broches Dimensions 6-16 Affichage Données 6-17 Alarme • internes 6-31 –...
  • Page 124 Mode courant partiel Mode vide 6-17 Haut-parleur Modes de fonctionnement 6-27 Heure 6-28 Numéros de pièces I•STICK 7-13 • remplacer 6-31 Info Ouvrir 11-1 Informations pour les commandes de pièces • appareil Installation à tester – outils Interface • RS232 6-28 Intervalles de d'entretien Paramètres...
  • Page 125 suppression du fond 6-30 Surveillance Rack Système de remplissage d'hélium • montage 9-21 – schéma 9-20 Recorder Réglage des masses Taux de fuite • réglage automatique • décelable minimum Réglage du point zéro Taux de fuite d'hélium • automatique Télécommande 6-24 Réglages 6-31...
  • Page 126 .c o m Due to our continuing pr ogram of produc t impr oveme nts, specifi catio ns are subject to chan ge wit hout notic e. All trademarks are the property of their respective owners. jinb80f1-h ©2013 INFICON...

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