Table des Matières
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7.3
Plan d'entretien
Composant
Système à vide
Bloc de vannes
nettoyer vannes, remplacer joints des vannes
Démonter et nettoyer le bloc de vannes
Remplacer conduite de gaz de ventilation
Aligner Pirani
Recaliber fuite de test interne
TMH 071
Remplacer le réservoir
Remplacement
mandé)
Appareillage
électrique
Composants venti-
Remplacer inserts de filtre capot de châssis
lateurs
Nettoyer le ventilateur, châssis et turbopompe
Légende du plan d'entretien
7.4
Intervalles de d'entretien
Travaux d'entretien
Modul1000
des
roulements
•
I
Niveau de service I
•
II
Niveau de service II
•
III
Niveau de service III
•
X
Effectuer les travaux d'entretien en fonction des heures de service et les
temps d'arrêt
•
X
Effectuer les travaux en fonction des heures de service
1
•
X
Effectuer les travaux en fonction des temps d'arrêt
2
•
1
en fonction de l'environnement et de l'application
•
2
en fonction du processus
Le plan d'entretien pour le Modul1000 peut être divisé en trois niveaux d'entretien
pour une vue plus simple.
•
Entretien 1500 heures
•
Entretien 5000 heures
•
Entretien 2 ans
Heures de service/années
1500
5000 15000
1/4
1
X
1
1
X
2
(recom-
1
X
1
1
X
1
Client
Client avec formation INFICON
Technicien de service autorisé par INFICON
Niveau
de
service
2
3
III
200000594
X
III
200002002
1
X
I, II,III
200000683
1
X
III
X
I, II et III
200000577
2
X
III
2
I
200001552
I
Travaux d'entretien
Pièce de
rechange
no.
7-3
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