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N°
Message affiché
Fréquence trop basse de la
E52
turbopompe.
Température du module
W53
électronique trop élevée. (55°C)
Température du module
E54
électronique trop élevée. (60°C)
Température du module
W55
électronique trop basse (<2 °C).
E56
Pression d'entrée p1 trop faible.
Pression de pré-vide p2 trop
E58
faible.
p2>10 mbar, 5 minutes après la
E60
mise en marche.
E61
Émission défectueuse.
Description et élimination des causes de défaillance
La vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire est trop faible après 5 min de
temps de démarrage.
La pression d'alimentation de la pompe turbomoléculaire est trop élevée.
La pompe turbomoléculaire est défectueux.
Le convertisseur de TMP est défectueux.
La température ambiante est trop élevée.
Emplacement inapproprié du détecteur de fuite. (accumulation thermique)
Ventilateur en panne.
Filtre à air fortement encrassé.
Sonde de température défectueuse.
La température ambiante est trop élevée.
Emplacement inapproprié du détecteur de fuite. (accumulation thermique)
Ventilateur en panne.
Filtre à air fortement encrassé.
Sonde de température défectueuse.
La sonde de température au niveau du câblage indique une T < 2 °C. Respecter
le temps de démarrage prolongé de la pompe à pré-vide externe.
Température ambiante trop basse
Sonde de température défectueuse.
Tension de sortie Pirani p1 U < 0,27 V.
Capteur Pirani p1 défectueux.
Électronique sur carte E/S défectueuse.
Raccord de câble défectueux.
Tension de sortie Pirani p2 U < 0.27 V ;
Capteur Pirani p1 défectueux.
Électronique sur carte E/S défectueuse.
Raccord de câble défectueux.
p2 > 10 mbar, t > 5 minutes après mise en marche du détecteur de fuite.
Pression finale de la pompe à pré-vide trop élevée.
Fuite dans système de vide poussé ou au niveau du raccord de pré-vide.
Pompe primaire défectueuse.
La vanne V2 ne s'ouvre pas, car la vitesse de rotation de 6 Hz de la pompe
turbomoléculaire n'est pas dépassée.
Mesure de pression défectueuse
L'émission devrait être activée. Le module MSV indique une erreur. Courant
d'émission MENB hors de la plage admissible.
Les deux cathodes sont défectueuses. Remplacer la source d'ions.
Connecteur de source d'ions non enfiché.
Carte MSV défectueuse
Messages d'erreur et avertissements
10-5
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